技术特征：
技术总结
本发明实施例公开了一种热处理设备及其处理晶圆的方法，该热处理设备包括：炉体；横置在所述炉体内部的炉管，所述炉管的管口具有可拆卸密封盖且用于作为装入晶圆的入口，所述炉管的管尾作为输气口用于接收外部充气设备输入的氢气，所述炉管的管侧设置有排气管；与所述炉管的排气管连接的气体处理部件，用于对传输至所述排气管的炉管内过量气体进行处理并排出至所述炉体外。本发明中热处理设备的炉管结构及气体处理部件的配套使用，确保了氢气处理过程的安全性，以及该热处理设备采用纯氢工艺替代现有的氮气工艺，改善了晶圆表面态、降低了晶圆表面漏电流、提高了晶圆的电学特性和稳定性。
技术研发人员：崔严匀;季勇
受保护的技术使用者：无锡华润华晶微电子有限公司
技术研发日：2015.12.31
技术公布日：2017.07.07