技术总结
本文说明了包括光纤温度控制的基板温度控制装置。基板温度控制装置包括基部、在该基部近处的热接触元件、及适于侧向延伸于该基部与该热接触元件之间且提供以光为基础的加热的多个光纤。本文也以其它多种构想说明了包括光纤温度控制的方法、基板温度控制系统与电子器件处理系统。
技术研发人员：马修·巴斯彻;小温德尔·博伊德;维贾伊·D·帕克赫;迈克尔·R·赖斯;利昂·沃尔福夫斯基
受保护的技术使用者：应用材料公司
文档号码：201580029541
技术研发日：2015.05.21
技术公布日：2017.02.22