用于在测试设备中传输信号的同轴结构的制作方法

文档序号:11161494阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种系统,包括:

包括电气元件的电路板;

包括触点的晶片;并且

在所述电气元件和所述触点之间路由信号的互连件,所述互连件包括多个层,所述多个层中的每一者包括柔性电路,所述柔性电路包括设置在其上的导电迹线,所述互连件还包括所述多个层中的相邻层之间的屏蔽件,所述屏蔽件电连接到地。

2.根据权利要求1所述的系统,其中所述柔性电路包括电介质,所述导电迹线的端延伸超过所述电介质;并且

其中所述互连件包括第二电介质,所述导电迹线的所述端围绕所述第二电介质弯曲,所述导电迹线的所述端包括电触点。

3.根据权利要求1所述的系统,其中用于每条导电迹线的所述屏蔽件包括所述导电迹线上方的导电层和所述导电迹线下方的导电层,所述导电迹线上方的所述导电层和所述导电迹线下方的所述导电层中的每一者均具有切除部分,所述导电迹线上方的所述导电层和所述导电迹线下方的所述导电层中的每一者均被布置成使得所述导电迹线的至少一部分介于不同导电层的切除部分之间。

4.根据权利要求1所述的系统,其中所述屏蔽件包括:

布置在所述互连件内的多层屏蔽件,使得每条导电迹线介于两层屏蔽件之间,所述两层屏蔽件中的每一者均具有与对应的导电迹线相邻的切除部分。

5.根据权利要求4所述的系统,其中所述两层屏蔽件中的每一者的切除部分可相对于所述导电迹线布置,使得在所述导电迹线和所述两层屏蔽件中的每一者之间存在空气。

6.根据权利要求1所述的系统,其中所述互连件中的至少一些导电迹线包括弯曲或蜿蜒部分,所述弯曲或蜿蜒部分被配置为在所述互连件中不同导电迹线之间实现实质上匹配的电通路长度和渡越时间、阻抗以及信号衰减。

7.根据权利要求1所述的系统,其中所述电气元件以第一间距布置,所述触点以第二间距布置;并且

其中所述互连件被配置为在所述第一间距和所述第二间距之间转换。

8.根据权利要求1所述的系统,还包括:

所述互连件和所述电路板之间的内插器,所述内插器包括所述电气元件和所述触点之间的电通路的一部分。

9.根据权利要求8所述的系统,还包括:

所述内插器上的导电且机械顺应的触点,所述触点在所述内插器和所述晶片上的所述对应触点之间提供机械顺应性电连接。

10.根据权利要求1所述的系统,其中所述电路板还包括:

与每个所述电气元件相关联的电子器件,其中与对应的电气元件相关联的电子器件用于支持所述对应的电气元件的操作。

11.根据权利要求1所述的系统,还包括:

所述互连件和所述晶片之间的引脚,所述引脚用于提供所述触点和所述互连件之间的电气通道的至少一部分;并且

所述引脚和所述互连件之间的接口板,所述接口板是所述触点和所述互连件之间的所述电气通道的至少一部分,所述接口板包括所述电气通道中的电子部件。

12.根据权利要求11所述的系统,其中所述电子部件为无源电子部件。

13.根据权利要求12所述的系统,其中所述电子部件包括电容器、平衡—不平衡转换器或开关中的至少一者。

14.根据权利要求11所述的系统,其中所述电子部件包括有源电子部件。

15.根据权利要求1所述的系统,其中每个所述电气元件包括射频(RF)探针卡的一部分。

16.根据权利要求1所述的系统,其中所述电气元件包括端接在所述电路板上的电缆。

17.根据权利要求1所述的系统,其中所述触点在所述晶片上按平行的行布置;并且

其中所述系统还包括:

在所述互连件和所述触点的子集之间进行电接触的测试器。

18.一种系统,包括:

包括电气元件的电路板;

包括触点的晶片;并且

在所述电气元件和所述触点之间路由信号的互连件,所述互连件包括多个层,所述多个层中的每一者包括由电介质围绕的导体,所述互连件还包括在所述多个层中的相邻层之间的屏蔽件,所述屏蔽件电连接到地。

19.根据权利要求18所述的系统,其中所述导体的端延伸超过所述电介质;并且

其中所述互连件包括第二电介质,所述导体的所述端围绕所述第二电介质弯曲,所述导体的所述端包括电触点。

20.根据权利要求18所述的系统,其中所述导体的端延伸超过所述电介质并接触包括电触点的导电钉头。

21.根据权利要求18所述的系统,其中每个导体的所述屏蔽件包括所述导体上方的导电层和所述导体下方的导电层,所述导体上方的所述导电层和所述导体下方的所述导电层中的每一者均具有切除部分,所述导体上方的所述导电层和所述导体下方的所述导电层中的每一者均被布置成使得所述导体的至少一部分在不同导电层的切除部分之间。

22.根据权利要求18所述的系统,其中所述屏蔽件包括:

布置在所述互连件内的多层屏蔽件,使得每个导体介于两层屏蔽件之间,所述两层屏蔽件中的每一者均具有与导体相邻的切除部分。

23.根据权利要求22所述的系统,其中所述两层屏蔽件中的每一者的切除部分相对于所述导体布置,使得在所述导体和所述两层屏蔽件中的每一者之间存在空气。

24.根据权利要求18所述的系统,其中所述互连件中的至少一些导体可包括弯曲或蜿蜒部分,所述弯曲或蜿蜒部分被配置为在所述互连件中不同导体之间实现实质上匹配的电通路长度和渡越时间、阻抗以及信号衰减。

25.根据权利要求18所述的系统,其中所述电气元件以第一间距布置,所述触点以第二间距布置;并且

其中所述互连件被配置为在所述第一间距和所述第二间距之间转换。

26.根据权利要求18所述的系统,还包括:

所述互连件和所述电路板之间的内插器,所述内插器包括所述电气元件和所述触点之间的所述电通路的一部分。

27.根据权利要求18所述的系统,还包括:

所述内插器上的导电且机械顺应的触点,所述触点在所述内插器和所述晶片上的所述对应触点之间提供机械顺应性电连接。

28.根据权利要求18所述的系统,其中所述电路板还包括:

与每个所述电气元件相关联的电子器件,其中与对应的电气元件相关联的电子器件用于支持所述对应的电气元件的操作。

29.根据权利要求18所述的系统,还包括:

所述互连件和所述晶片之间的引脚,所述引脚用于提供所述触点和所述互连件之间的电气通道的至少一部分;并且

所述引脚和所述互连件之间的接口板,所述接口板是所述触点和所述互连件之间的所述电气通道的至少一部分,所述接口板包括所述电气通道中的电子部件。

30.根据权利要求29所述的系统,其中所述电子部件为无源电子部件。

31.根据权利要求20所述的系统,其中所述电子部件包括电容器、平衡—不平衡转换器或开关中的至少一者。

32.根据权利要求31所述的系统,其中所述电子部件包括电容器、平衡—不平衡转换器和开关。

33.根据权利要求29所述的系统,其中所述电子部件包括有源电子部件。

34.根据权利要求18所述的系统,其中每个所述电气元件包括射频(RF)探针卡的一部分。

35.根据权利要求18所述的系统,其中所述电气元件包括端接在所述电路板上的电缆。

36.根据权利要求18所述的系统,其中所述触点在所述晶片上按平行的行布置;并且

其中所述系统还包括:

在所述互连件和所述触点的子集之间进行电接触的测试器。

37.一种用于传输电信号的结构,包括:

多个层,所述多个层中的每一者包括:

柔性电路,所述柔性电路包括设置在其上的用于传输所述电信号的导电迹线;并且

所述多个层中的相邻层之间的屏蔽件,所述屏蔽件电连接到地并且包括所述导电迹线的返回路径,所述屏蔽件与所述导电迹线分开。

38.根据权利要求37所述的结构,其中每个柔性电路包括电介质,所述导电迹线的端延伸超过所述电介质;并且

其中所述结构还包括第二电介质,所述导电迹线的所述端围绕所述第二电介质弯曲,所述导电迹线的所述端包括电触点。

39.根据权利要求37所述的结构,其中用于每条导电迹线的所述屏蔽件包括所述导电迹线上方的导电层和所述导电迹线下方的导电层,所述导电迹线上方的所述导电层和所述导电迹线下方的所述导电层中的每一者均具有切除部分,所述导电迹线上方的所述导电层和所述导电迹线下方的所述导电层中的每一者均被布置成使得所述导电迹线的至少一部分介于不同导电层的切除部分之间。

40.根据权利要求37所述的结构,其中所述屏蔽件包括:

布置在所述结构内的多层屏蔽件,使得每条导电迹线介于两层屏蔽件之间,所述两层屏蔽件中的每一者均具有与对应的导电迹线相邻的切除部分。

41.根据权利要求40所述的结构,其中所述两层屏蔽件中的每一者的切除部分相对于所述导电迹线布置,使得在所述导电迹线和所述两层屏蔽件中的每一者之间存在空气。

42.根据权利要求37所述的结构,其中所述结构中的至少一些导电迹线包括弯曲或蜿蜒部分,所述弯曲或蜿蜒部分被配置为在不同导电迹线之间实现实质上匹配的电通路长度和渡越时间、阻抗以及信号衰减。

43.一种用于传输电信号的结构,包括:

多个层,所述多个层中的每一者均包括:

由电介质围绕的导体,所述导体用于传输所述电信号;并且

所述多个层中的相邻层之间的屏蔽件,所述屏蔽件电连接到地并且包括所述导体的返回路径。

44.根据权利要求43所述的系统,其中所述导体的端延伸超过对应的电介质;并且

其中所述结构包括第二电介质,所述导体的所述端围绕所述第二电介质弯曲,所述导体的所述端包括电触点。

45.根据权利要求43所述的系统,其中所述导体的端延伸超过所述电介质并接触包括电触点的导电钉头。

46.根据权利要求43所述的系统,其中每个导体的所述屏蔽件包括所述导体上方的导电层和所述导体下方的导电层,所述导体上方的所述导电层和所述导体下方的所述导电层中的每一者均具有切除部分,所述导体上方的所述导电层和所述导体下方的所述导电层中的每一者均被布置成使得所述导体的至少一部分在不同导电层的切除部分之间。

47.根据权利要求43所述的系统,其中所述屏蔽件包括:

布置在所述结构内的多层屏蔽件,使得每个导体介于两层屏蔽件之间,所述两层屏蔽件中的每一者具有与导体相邻的切除部分。

48.根据权利要求47所述的系统,其中所述两层屏蔽件中的每一者的切除部分相对于所述导体布置,使得在所述导体和所述两层屏蔽件中的每一者之间存在空气。

49.根据权利要求43所述的系统,其中所述结构中的至少一些导体包括弯曲或蜿蜒部分,所述弯曲或蜿蜒部分被配置为在所述结构中不同导体之间实现实质上匹配的电通路长度和渡越时间、阻抗以及信号衰减。

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