薄膜晶体管及其制作方法与流程

技术总结
本发明提供薄膜晶体管。上述薄膜晶体管包括：基板；活性图案，配置于上述基板上，包括氮化物；保护图案，配置于上述活性图案上，包括非氮化物；栅电极，与上述活性电极重叠；以及栅极绝缘膜，形成于上述栅电极及上述活性图案之间。

技术研发人员：朴镇成;玉敬喆;郑贤浚
受保护的技术使用者：汉阳大学校产学协力团
文档号码：201580049981
技术研发日：2015.09.14
技术公布日：2017.05.31