技术特征:
技术总结
本发明提供了一种双向开关晶体管的制作方法和双向开关晶体管,其中双向开关晶体管包括:基底、第一欧姆接触层、第二欧姆接触层、第一栅极连接金属层、第二栅极连接金属层、保护层、在第一栅极连接金属层上形成的第一栅极金属层和所述第二栅极连接金属层上形成的第二栅极金属层,其中,第一栅极连接金属层和第二栅极连接金属层均位于所述第一欧姆接触层和第二欧姆接触层之间,本发明提供的双向开关晶体管的制作方法和双向开关晶体管,可以视为包括两个晶体管,由于两个晶体管共用了第一欧姆接触层和第二欧姆接触层,并且该晶体管结构上相互对称,因此没有导通电压的偏移,导通损耗小。
技术研发人员:刘美华;孙辉;林信南;陈建国
受保护的技术使用者:北京大学;北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
技术研发日:2016.03.04
技术公布日:2017.09.12