1.一种镍锌铁氧体基氮化钽薄膜微波负载,包括镍锌铁氧体基片、氮化钽电阻薄膜层、前端匹配电极、后端匹配电极和接地电极,其特征在于:
还包括制备于镍锌铁氧体基片上的氮化铝薄膜缓冲层,该氮化铝薄膜缓冲层位于镍锌铁氧体基片和氮化钽电阻薄膜层之间,并隔断镍锌铁氧体基片和氮化钽电阻薄膜层,其厚度在2微米到100微米;
前端匹配电极一端实现与氮化钽电阻薄膜层和氮化铝薄膜缓冲层的良好接触,另一端完成与外界微波电路的匹配连接;
后端匹配电极与氮化钽电阻薄膜层和氮化铝薄膜缓冲层形成良好的接触,又要与接地电极实现导通。
2.如权利要求1所述镍锌铁氧体基氮化钽薄膜微波负载,其特征在于:额定功率在10瓦到30瓦之间,应用于高频段的微波通信系统。
3.如权利要求1所述镍锌铁氧体基氮化钽薄膜微波负载的制备方法:
首先对镍锌铁氧体基片进行表面处理,即利用中频磁控溅射的方法在基片表面镀上一层2-100微米厚的氮化铝薄膜缓冲层后;再进行后续氮化钽电阻薄膜层、前端匹配电极、后端匹配电极和接地电极的制备,即可完成整个镍锌铁氧体基氮化钽薄膜微波负载的制备。