一种用于红外光谱的衬底的制作方法

文档序号:11638799阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种用于红外光谱的衬底,这种衬底的结构包括窗口层和支撑基底,窗口层位于支撑基底之上,选用单原子至1000个原子层厚度的二维材料;支撑基底的横向切面形状为圆形、椭圆形、三角形、正方形、矩形、五角形结构、正六边形、八角形,所述支撑基底的几何尺寸为500μm‑5cm,厚度为1μm‑5cm;支撑基底其上设置有若干通孔结构,通孔以阵列形式排布,通孔阵列的中心与基底的几何中心基本保持一致,通孔之间的间距为1μm‑4cm;所述通孔对应的窗口层部位形成悬空的窗口层;其中所述二维材料选自石墨烯,二硫化钼,氮化硼,MX2,黑磷。

技术研发人员:胡海;胡德波;刘瑞娜;白冰;杨晓霞;戴庆
受保护的技术使用者:国家纳米科学中心
文档号码:201610605777
技术研发日:2016.07.28
技术公布日:2016.12.07

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