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基座及基质加工设备的制作方法
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来源:国知局
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基座及基质加工设备的制作方法与工艺
技术总结
基座包括板状部件、用于加热所述板状部件的第一部的第一加热器、用于加热所述板状部件的第二部的第二加热器以及用于使所述第一部和所述第二部在所述板状部件的上表面侧彼此绝热的绝热部。
技术研发人员:
森幸博;梅尔文·韦尔巴斯
受保护的技术使用者:
ASMIP控股有限公司
文档号码:
201610607367
技术研发日:
2016.07.28
技术公布日:
2017.03.01
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