二极管阳极结构、纵向二极管以及横向二极管的制作方法

文档序号:12370434阅读:来源:国知局
技术总结
本发明实施例公开了一种二极管阳极结构、纵向二极管以及横向二极管,涉及半导体技术领域,其中,所述二极管阳极结构包括:半导体层;至少两个第一肖特基金属层,位于所述半导体层上,与所述半导体层形成肖特基接触,得到第一肖特基势垒高度;至少一个第二肖特基金属层,位于所述半导体层上,且位于所述第一肖特基金属层之间,与所述半导体层形成肖特基接触,得到第二肖特基势垒高度。采用上述技术方案,在阳极区域与半导体形成两种势垒高度,在二极管反向关断时,第一肖特基势垒高度可以降低反向漏电,在二极管正向开启时,第二肖特基势垒高度可以降低正向开启电压,采用上述二极管阳极结构,可以保证提高二极管使用效率。

技术研发人员:邓光敏;裴轶
受保护的技术使用者:苏州捷芯威半导体有限公司
文档号码:201610944884
技术研发日:2016.10.26
技术公布日:2017.01.04

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