LDMOS晶体管的制作方法

文档序号:11409864阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
一种MOS晶体管,包括:衬底、第一区域、第二区域、源极区、漏极区、有源栅极堆叠件和伪栅极堆叠件。衬底具有第一导电性。具有第一导电性的第一区域形成在衬底中。具有第二导电性的第二区域形成在衬底中并且与第一区域相邻。具有第二导电性的源极区形成在第一区域中。具有第二导电性的漏极区形成在第二区域中。有源栅极堆叠件设置在第一区域上。伪栅极堆叠件设置在第二区域上,并且伪栅极堆叠件电连接至可变电压。本发明实施例涉及LDMOS晶体管。

技术研发人员:吴俊庆;王柏仁
受保护的技术使用者:台湾积体电路制造股份有限公司
技术研发日:2016.12.29
技术公布日:2017.09.01
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