硅片自动插片机用放片工装的制作方法

文档序号:12121392阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种硅片自动插片机用放片工装,其特征在于:包括工装本体,所述工装本体包括底板,所述底板的左端设置有左限位板,且底板的右端设置有右限位板,所述左限位板与右限位板之间的距离与硅片的宽度相匹配,所述底板的前端设置有支撑板,所述支撑板的内侧面为斜面,且支撑板的前端设置有感应杆。

2.根据权利要求1所述的硅片自动插片机用放片工装,其特征在于:所述左限位板、右限位板上均设置有把手。

3.根据权利要求1所述的硅片自动插片机用放片工装,其特征在于:所述底板、左限位板、右限位板上均设置有通孔。

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