技术总结
本实用新型公开了一种适用于管式PECVD的石墨舟，包括石墨舟舟片，石墨舟舟片上沿石墨舟舟片的长度方向间隔开设有复数个卡槽，每个卡槽的外边缘均设置有卡点，卡点包括位于卡槽的一侧部的第一卡点、位于卡槽的另一侧部的第二卡点及位于卡槽的底部的第三卡点，其中，第一卡点位于区域d，区域d为第一卡点对应的硅片的侧边的边长从下至上的[1/2，3/4]之间的区域；第二卡点位于区域c，区域c为第二卡点对应的硅片的侧边的边长a从下至上的[1/2，1)之间的区域；第三卡点位于区域b，区域b为第三卡点对应的硅片的底边的边长a从左至右的[1/2，1)之间的区域。其能够提高硅片在石墨舟内和石墨舟舟片的贴合紧密程度，从而保证镀膜均匀性，提高导电性。
技术研发人员：袁中存;党继东
受保护的技术使用者：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
文档号码：201621076172
技术研发日：2016.09.23
技术公布日：2017.05.03