用于晶圆退火的载片盘及退火装置的制作方法

技术总结
本实用新型提供一种用于晶圆退火的载片盘和退火装置，载片盘包括基板和位于基板上的多个凸起。退火装置包括：上述载片盘；加热腔，具有保温层，腔内设置有热辐射加热器。载片盘在晶圆退火过程中，通过晶圆自身重力对载片盘凸起的作用减缓晶圆的翘曲。退火装置采用热辐射方式加热且具有保温层，防止晶圆快速降温和升温。

技术研发人员：杨翠柏;杨光辉;方聪
受保护的技术使用者：珠海鼎泰芯源晶体有限公司
文档号码：201621147177
技术研发日：2016.10.21
技术公布日：2017.05.31