基体材料处理装置和基体材料处理方法与流程

本发明涉及用于对主面供给有处理液的基体材料进行处理的技术。

背景技术：

例如，已知如下技术，即，在制造锂二次电池时，在向铝箔等基体材料的一个主面供给电极液等涂敷液后，一边搬运该基体材料，一边对该基体材料上的涂敷液进行干燥。

专利文献1中公开了如下技术，即，一边以辊对辊形式搬运基体材料，一边利用干燥部对供给至该基体材料的主面的涂敷液进行干燥。在此，干燥部包括第一部分和第二部分，所述第一部分在搬运路径的上游侧向基体材料吹送热风，所述第二部分在搬运路径的下游侧向基体材料吹送干燥空气。因此，在被搬运的基体材料经过第一部分时，向基体材料吹送热风，从而在基体材料的主面上促进涂敷液中的溶剂的蒸发。此后，在被搬运的基体材料经过第二部分时，向基体材料吹送干燥空气，从而使基体材料的温度下降。而且，经过了干燥部的基体材料与周围的环境接触来进行冷却，被卷绕辊回收。

专利文献1：日本特开2012-202600号公报

通常，经过干燥部后的基体材料的温度比常温高。因此，在位于干燥部的搬运路径的下游侧的常温的辊和比该辊的温度高的基体材料接触时，有时因温度差而使基体材料收缩，从而在该基体材料产生褶皱。

技术实现要素：

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种能够抑制干燥后的基体材料中产生的褶皱，以良好的状态处理基体材料的技术。

为了解决上述问题，第一方式的基体材料处理装置，具有：搬运部，将主面供给有涂敷液的基体材料，沿着搬运路径搬运，以及，干燥部，通过对被上述搬运部搬运的上述基体材料实施包括加热处理的处理，对供给至上述主面的上述涂敷液进行干燥；上述搬运部具有：第一搬运构件，沿着上述搬运路径设置于上述干燥部的上游侧，且用于搬运上述基体材料，以及，第二搬运构件，沿着上述搬运路径设置于上述干燥部的下游侧，且用于隔着气体层搬运上述基体材料。

第二方式的基体材料处理装置在第一方式的基体材料处理装置的基础上，上述搬运部还具有第三搬运构件，该第三搬运构件沿着上述搬运路径设置于上述干燥部的下游侧，且上述第三搬运构件与上述基体材料之间的接触面积大于上述第二搬运构件与上述基体材料之间的接触面积；上述第三搬运构件沿着上述搬运路径位于上述第二搬运构件的下游侧。

第三方式的基体材料处理装置在第一方式的基体材料处理装置的基础上，上述第二搬运构件包括能够以轴为中心旋转的辊，该轴与上述主面平行，且沿着与上述基体材料的搬运方向交叉的交叉方向延伸；还包括驱动部，该驱动部以使上述辊的周速大于被上述搬运部搬运的上述基体材料的搬运速度的方式，使上述辊旋转。

第四方式的基体材料处理装置在第一方式的基体材料处理装置的基础上，上述搬运部包括多个辊，该多个辊能够在上述干燥部的下游侧，分别以沿着上述交叉方向延伸的轴为中心进行旋转来搬运上述基体材料，且在上述搬运路径的一区间内排列设置；上述一区间的前后的上述搬运路径的延伸方向的角度差为，将上述多个辊相对于上述基体材料的夹角相加而得到的合计值。

第五方式的基体材料处理装置在第一方式的基体材料处理装置的基础上，上述第二搬运构件包括供气辊，上述供气辊能够以轴为中心进行旋转，该轴与上述主面平行，且沿着与上述基体材料的搬运方向交叉的交叉方向延伸，该供气辊具有设置有供气口的外周部和与该供气口连接的供气路径；还具有气体供给部，该气体供给部用于向上述供气路径供给气体。

第六方式的基体材料处理装置在第五方式的基体材料处理装置的基础上，上述气体的温度比上述基体材料中的被上述供气辊搬运的部分的温度低。

第七方式的基体材料处理装置在第一至第六方式中任一方式的基体材料处理装置的基础上，上述干燥部在对被上述搬运部搬运的上述基体材料实施上述加热处理之后实施冷却处理，从而对供给至上述主面的涂敷液进行干燥，该冷却处理是对通过上述加热处理加热的上述基体材料进行冷却的处理。

第八方式的基体材料处理装置，具有：搬运部，将主面供给有涂敷液的基体材料，沿着搬运路径搬运，以及，干燥部，通过对被上述搬运部搬运的上述基体材料实施包括加热处理的处理，对供给至上述主面的涂敷液进行干燥；上述搬运部具有辊，该辊沿着上述搬运路径设置于上述干燥部的下游侧，能够以轴为中心进行旋转，而且该轴与上述主面平行，且沿着与上述基体材料的搬运方向交叉的交叉方向延伸；还包括驱动部，该驱动部以使上述辊的周速大于被上述搬运部搬运的上述基体材料的搬运速度的方式，使上述辊旋转。

第九方式的基体材料处理方法，包括：干燥工序，通过对主面供给有涂敷液的基体材料实施包括加热处理的处理，对供给至上述主面的上述涂敷液进行干燥；以及，搬运工序，利用搬运构件隔着气体层搬运实施了上述干燥工序的处理的上述基体材料。

利用第一方式至第八方式的基体材料处理装置和第九方式的基体材料处理方法中的任一个，都能够使用于搬运干燥后的基体材料的构件和基体材料之间的接触面积变小，从而能够抑制褶皱的发生。

附图说明

图1是示出基体材料处理装置1的整体结构的图。

图2是示出加热部42的概略性的内部结构的图。

图3是示出第二辊82和第三辊83的周边部的图。

图4是示出第二辊82搬运基体材料5时的情形的图。

图5是示出比较例的辊821搬运基体材料5时的情形的图。

图6是示出变形例的辊822的图。

图7是示出变形例的辊822搬运基体材料5时的情形的图。

其中，附图标记说明如下：

1：基体材料处理装置

5：基体材料

11：涂敷喷嘴

40：干燥部

41：预热部

42：加热部

43：冷却部

80：搬运部

81：第一辊

82：第二辊

83：第三辊

90：控制部

100、101：气体层

820：驱动部

821、822；辊

s1：主面

v：搬运速度

v2：周速

具体实施方式

以下，参照附图，对实施方式进行说明。在附图中，对具有同样的结构和功能的部分标注相同的附图标记，并省略重复说明。需要说明的是，以下实施方式是将本发明具体化的一例，本发明的技术范围并不限定于此。此外，附图中，有时放大或简化示出各部的尺寸、数量。此外，附图中，有时为了说明方向而标注有xyz正交坐标轴。坐标轴的+z方向为铅垂上方向，xy平面为水平面。

〈第一实施方式〉

〈1.1基体材料处理装置1的结构〉

图1是示出本实施方式的基体材料处理装置1的整体结构的图。

基体材料处理装置1向作为金属箔的基体材料5的一个主面供给涂敷液后，进行该涂敷液的干燥处理，从而在基体材料5上形成涂敷膜。由此，例如制造锂离子二次电池的电极。

基体材料5例如由用作锂离子二次电池的集电体的材料构成。在基体材料处理装置1制造锂离子二次电池的正极的情况下，可以使用铝箔(al)来作为基体材料5。此外，在基体材料处理装置1制造锂离子二次电池的负极的情况下，可以使用铜箔(cu)来作为基体材料5。

基体材料5为长片状(长带状)的金属箔，对其宽度和厚度并不做特别限定。例如，可以使用宽度为600mm～700mm左右、厚度为10μm～20μm左右的基体材料。在本说明书中，有时特别将基体材料5的两个主面中的被供给涂敷液的一侧的主面称为主面s1。

基体材料处理装置1主要包括：搬运部80，沿着搬运路径搬运基体材料5；涂敷部，包括涂敷喷嘴11；干燥部40，对被搬运的基体材料5上的涂敷液实施干燥；以及，控制部90，控制装置各部。

搬运部80包括：卷出辊88，卷出基体材料5；以及，卷绕辊89，卷绕基体材料5；从卷出辊88朝向向卷绕辊89搬运基体材料5。此外，搬运部80在卷出辊88和卷绕辊89之间具有三个第一辊81、第二辊82、第三辊83及支撑辊87。

在本说明书中，搬运路径是指，利用搬运部80搬运的基体材料5的通过路径。有时将搬运路径中的卷出辊88侧称为搬运上游侧，将搬运路径中的卷绕辊89侧称为搬运下游侧。此外，搬运方向是指，基体材料5在搬运路径的某个区间中移动的方向。例如，在卷出辊88和位于搬运上游侧的第一辊81之间的区间，搬运方向为图1所示的箭头方向。

搬运部80所具有的各个辊构成为，能够以与基体材料5的主面s1平行且沿着与基体材料5的搬运方向交叉的交叉方向延伸的轴为中心旋转。在本实施方式中，交叉方向与y方向一致，但是交叉方向也可以相对于y方向稍微倾斜。

在搬运部80所具有的各个辊中的至少一部分(例如，第二辊、卷出辊88及卷绕辊89)，设置有用于驱动这些辊的驱动部。另一方面，在搬运部80所具有的其他辊(例如，第一辊81和第三辊83)，没有设置驱动部。因此，上述一部分的辊借助驱动部的驱动力而进行主动旋转，从而沿着搬运路径搬运基体材料5。而且，上述其他辊也借助与该基体材料5之间的摩擦力进行从动旋转。通过使搬运部80所具有的各个辊旋转，使基体材料5沿着搬运路径向x方向和z方向搬运。

此外，本说明书中，有时对搬运部80所具有的各个搬运构件(在本实施方式为各个辊)概念性地进行区别。

有时将沿着搬运路径设置于干燥部40的上游侧且用于搬运基体材料5的构件，称为第一搬运构件。在本实施方式中，第一辊81、支撑辊87及卷出辊88包含于第一搬运构件。

此外，有时将沿着搬运路径设置于干燥部40的下游侧且经由气体层搬运基体材料5的构件，称为第二搬运构件。在本实施方式中，第二辊82包含于第二搬运构件。

此外，有时将沿着搬运路径设置于干燥部40的下游侧且与基体材料5接触的接触面积比第二搬运构件的情况更大的构件，称为第三搬运构件。在本实施方式中，第三辊83和卷绕辊89包含于第三搬运构件。

涂敷喷嘴11为具有沿着基体材料5的宽度方向(图1的y轴方向)的狭缝开口的狭缝喷嘴。涂敷喷嘴11从狭缝开口喷出泵单元15所输送的涂敷液，来向基体材料5的主面供给。

在隔着搬运路径的涂敷喷嘴11的相反一侧，设置有支撑辊87。这样，能够向基体材料5中的被支撑辊87支撑的部位供给涂敷液，因此能够防止因供给涂敷液时的液压引起的基体材料5的波动。与涂敷喷嘴11向主面供给涂敷液的动作并行地，基体材料5沿着搬运路径被搬运。由此，在主面s1上涂敷涂敷液的液膜(涂敷膜)。

作为涂敷液，可以使用包含作为电极材料的活性物质的液体(电极浆料)。在利用基体材料处理装置1制造正极的情况下，作为涂敷液，例如可以使用作为正极活性物质的钴酸锂(licoo2)、作为导电助剂的碳(c)、作为粘接剂的聚偏二氟乙烯(pvdf)、作为有机溶剂的n-甲基-2-吡咯烷酮(nmp)的混合液。需要说明的是，涂敷液的具体种类不限于此。例如，也可以使用镍酸锂(linio2)、锰酸锂(limn2o4)、磷酸铁锂(lifepo4)作为正极活性物质，来代替钴酸锂。

另一方面，在利用基体材料处理装置1制造负极的情况下，作为涂敷液，例如可以使用作为负极活性物质的石墨(graphite)、作为粘接剂的pvdf、作为有机溶剂的nmp的混合液。需要说明的是，涂敷液的具体种类不限于此。例如，也可以使用硬碳、钛酸锂(li4ti5o12)、硅合金、锡合金等作为负极活性物质，来代替石墨。需要说明的是，在正极材料和负极材料这两者的涂敷液中，在使用苯乙烯-丁二烯橡胶(sbr)代替pvdf来作为粘接剂的情况下，也可以使用水代替nmp来作为溶剂。

干燥部40沿着搬运路径串联有预热部41、加热部42及冷却部43。基体材料5在沿着搬运路径被搬运的过程中，依次经过预热部41、加热部42及冷却部43的内部。干燥部40是如下部分，即，对被搬运部80搬运的基体材料5实施包括加热处理的处理，使供给至主面s1的涂敷液干燥。

预热部41、加热部42及冷却部43，在腔室内进行供气和排气来使涂敷液干燥这一点是共同的。以下，首先对加热部42进行详细说明。之后，对预热部41和冷却部43，省略与加热部42共同的部分来进行说明。

图2是示出加热部42的概略的内部结构的xz侧视图。在图2中，通过箭头示意性地表示腔室410内的气流。

在加热部42的腔室410的内侧主要具备气体供给部45、气体供给部55、吸气部46及吸气部56。

腔室410是在搬运上游侧形成有搬入口411、且在搬运下游侧形成有搬出口412的框体，在图2中以点划线表示。搬运路径是经由搬入口411和搬出口412经过腔室410内的路径。对于腔室410的长度并不做特别限定，在本实施方式中为3000mm。此外，对于搬入口411和搬出口412的大小也并不做特别限定，但是在本实施方式中，在搬运路径的上方和下方能够分别确保大约5mm间隔(即，铅垂方向的大小大约为10mm)。

在腔室410的内侧的搬运路径的上侧，沿着搬运路径交替地配置有多个(在本实施方式为五个)气体供给部45和多个(在本实施方式为六个)吸气部46。在五个气体供给部45的下方分别设置有整流板47。整流板47为设置成与搬运路径平行的板状构件。在整流板47设置有沿着基体材料5的宽度方向(y方向)延伸的狭缝状的供气口，该供气口朝向被搬运的基体材料5的主面s1打开。

气体供给部45与导风管35连接，将通过导风管35供给的热风从整流板47的供气口朝向搬运路径的基体材料5喷出。导风管35的基端侧与气体供给源34连接，并且导风管35的前端侧被分支为五个来分别与气体供给部45连通连接。在被分支为五个的导风管35分别插入有流量调整阀36。气体供给源34具备加热器和送风机，将加热的空气作为热风向气体供给部45供给。通过对应的各流量调整阀36，对用于向各气体供给部45供给的热风的流量单独地进行调整。而且，通过导风管35向气体供给部45供给的热风，从整流板47的供气口朝向主面s1上的涂敷液的液膜p(涂敷膜)喷出。

此外，针对五个气体供给部45设置有六个吸气部46，在x方向相邻配置的吸气部46之间设置有气体供给部45。在各吸气部46的下面设置有沿着基体材料5的宽度方向延伸的吸气口。各吸气口46经由排气管57与排气部58连通连接。即，排气管57的基端侧与排气部58连接，并且排气管57的前端侧被分支为六个来分别与吸气部46连接。在被分支为六个的排气管57分别插入有流量调整阀91。排气部58具备吸引用的鼓风机，经由排气管57向吸气部46提供负压。由此，吸气部46吸引吸气口周边的环境气体来向排气管57排出。各吸气部46吸入的流量被对应的各流量调整阀91单独地进行调整。

另一方面，在腔室410的内侧的搬运路径的下侧，配置有多个(在本实施方式为五个)气体供给部55和多个(在本实施方式为两个)吸气部56。

五个气体供给部55分别具备朝向上侧的省略图示的多个喷出孔。气体供给部55经由导风管52与气体供给源53连通连接。即，导风管52的基端侧与气体供给源53连接，并且导风管52的前端侧被分支为五个来分别与气体供给部55连接。在被分支为五个的导风管52分别插入有流量调整阀54。气体供给源53具备加热器和送风机，将加热的空气作为热风向气体供给部55供给。向各气体供给部55供给的热风的流量被对应的各流量调整阀54单独地进行调整。而且，通过导风管52向气体供给部55供给的热风，从喷出孔朝向被搬运的基体材料5的下侧主面喷出。

此外，针对五个气体供给部55设置有两个吸气部56。在各吸气部56的上面设置有沿着基体材料5的宽度方向延伸的吸气口。各吸气口56经由排气管92与排气部93连通连接。即，排风管92的基端侧与排气部93连接，并且排风管92的前端侧被分支为两个来分别连接在吸气部56。在被分支为两个的排风管92分别插入有流量调整阀94。排气部93具备用于吸引的鼓风机，经由排气管92向吸气部56提供负压。由此，吸气部56吸引上端的吸气口周边的环境气体来向排气管92排出。各吸气部56吸入的流量被对应的各流量调整阀94单独地进行调整。

气体供给部45从基体材料5的上方吹送热风，由此涂敷在基体材料5的主面s1的液膜p被直接加热。如图2所示，从气体供给部45向基体材料5的上面吹送的热风，沿着x方向在与搬运路径平行设置的整流板47和基体材料5之间流动，被设置在气体供给部45的两侧的吸气部46回收。因为热风在整流板47和基体材料5之间流动，因此基体材料5上的液膜p会与湿度小的热风持续接触，从而高效地对液膜p进行干燥。此外，气体供给部55从基体材料5的下方喷吹热风，由此基体材料5被直接加热，通过来自该基体材料5的热传导，对液膜p进行加热。从气体供给部55向基体材料5的下面吹送的热风被吸气部56回收。

此外，五个气体供给部55从基体材料5的下方朝向上方吹送热风，在发挥间接加热液膜p的作用之外，还发挥通过热风的风压使基体材料5向上浮起的作用。因此，即使在腔室410内没有设置固有的辊，也能够抑制基体材料5大幅度地弯曲。

预热部41设置在加热部42的搬运上游侧。预热部41也与加热部42同样地，通过向腔室内供给气体来促进基体材料5上的液膜p的干燥。在预热部41中，对基体材料5供给的气体的温度例如设定为，比常温高且比加热部42供给的热风的温度低。此外，作为另一例子，在预热部41中，如专利文献1记载那样，也可以通过紫外线照射加热基体材料5。无论在哪种情况下，在通过加热部42加热基体材料5之前，通过预热部41预热基体材料5，从而不仅能够使基体材料5上的涂敷液的表层干燥，还能够使基体材料5的内部干燥。

冷却部43设置在加热部42的搬运下游侧。冷却部43也与加热部42同样地，通过向腔室内供给气体来促进基体材料5上的液膜p的干燥。在冷却部43中，例如向基体材料5供给常温的干燥空气。

通过供给干燥空气来对基体材料进行冷却，但是不必在冷却部43的内部将基体材料5冷却至常温。基体材料5只要在最终被卷绕辊89回收的时刻为止达到常温即可，为实现该目的，冷却部43发挥将基体材料5冷却至特定温度(比被加热部42刚刚加热后的温度低、且比常温高的温度)的作用。

而且，通过干燥部40实施了干燥工序的基体材料5，沿着搬运路径被设置在干燥部40的下游侧的第二搬运构件和第三搬运构件搬运(搬运工序)。

具体地，通过干燥部40的基体材料5，在经由第二辊82和第三辊83搬运后，被卷绕辊89回收。被回收的基体材料5，在被搬运至基体材料处理装置1的外部的加工处理部(未图示)，且在该加工处理部被切割成所希望的大小后，加工成电极板。

控制部90控制设置于基体材料处理装置1的各部的机构，其硬件结构与一般的计算机相同。即，控制部90包括：cpu，进行各种运算处理；rom，作为用于存储基本程序的读取专用的存储器；ram，作为用于存储各种信息的可自由读写的存储器；以及，磁盘，存储控制用软件、数据等。通过使控制部90的cpu执行规定的处理程序，进行基体材料处理装置1的处理。

〈1.2装置尺寸和基体材料5中发生褶皱之间的关系〉

在此，整理装置尺寸和基体材料发生褶皱之间的关系。

如上所述，冷却器43发挥将基体材料5冷却至上述特定温度的作用，而并不发挥将基体材料5冷却至常温的作用。当设置为使冷却部43发挥将基体材料5冷却至常温的作用时，搬运方向的冷却部43的尺寸变大，进而导致基体材料处理装置1的尺寸变大。

但是，冷却部43仅将基体材料5冷却至特定温度的方式，与冷却部43将基体材料5冷却至常温的其他方式相比，基体材料5更容易发生褶皱。

这基于以下原理。在高温的基体材料5被冷却的情况下，因其温度变化而使收缩力作用于基体材料5。此时，因在基体材料5的延伸方向上被施加搬运部80的张力，因此基体材料5尤其在宽度方向上收缩。例如，在冷却部43内那样基体材料5被流动(flow)搬运的情况下，基体材料5因作用于基体材料5的收缩力而弯曲。此时，在之后的工序中施加用于使基体材料5沿着宽度方向拉伸的力时，基体材料5能够恢复到弯曲之前的状态。另一方面，作为另一例子，在基体材料5与常温的辊接触来被搬运的状态下，可在作用于辊和基体材料5之间的摩擦力与作用于基体材料5的收缩力抵抗的情况下，在基体材料5产生褶皱。此时，即使在之后的工序中施加用于使基体材料5在宽度方向上拉伸的力，基体材料5也恢复不到弯曲之前的状态，从而可能在基体材料5上留下折痕。

这样，本说明书中，褶皱是指，即使在其发生后在宽度方向上施加张力也难以除去的折痕。发生褶皱的基体材料5在产品阶段成为不良品的情况很多，从成品率的角度来说，需要抑制褶皱的发生。

此外，因冷却基体材料5而产生的褶皱，容易发生在干燥部40的搬运下游侧的区间(即，基体材料5被加热后的区间)中的尤其是上游侧的位置(即，基体材料5刚被加热后的高温状态的位置)。

以下，对根据基体材料搬运处理抑制褶皱发生的技术，进行详细说明。

〈1.3基体材料搬运处理的详细说明〉

图3是示意性地示出第二辊82和第三辊83的周边部的xz侧视图。图4是示意性地示出第二辊82搬运基体材料5时的情形的yz侧视图。图5是示意性地示出比较例的辊821搬运基体材料5时的情形的yz侧视图。

需要说明的是，在图3中，用箭头表示基体材料5的搬运方向、第二辊82和第三辊83的旋转方向。此外，在图3中，分别用细线示出了用于表现第二辊82和第三辊83相对于基体材料5的夹角(includedangle，抱き角)的扇形区域。

基体材料处理装置1包括用于使第二辊82旋转的驱动部820(例如，马达)。此外，控制部90以使第二辊82的周速v2比基体材料5的搬运速度v大的方式，控制驱动部820。在此，例如将搬运速度v和周速v2之间的关系设定为v＜v2≦1.03v。因此，作为具体例，在搬运速度v为10(m/分)的情况下，满足10＜v2≦10.3(m/分)。需要说明的是，除了第二辊82以外的各搬运构件的搬运速度(具体为各辊的周速)与基体材料5的搬运速度v大致相同。例如，第三辊83的周速与搬运速度v大致相同。以下，有时将这样用于使第二辊82相对快速旋转的控制称为牵引控制(drawcontrol，ドロ制御)。

由此，在相对快地移动的第二辊82的外周面和相对慢地移动的基体材料5的背面(与主面s1一侧相反的一侧的面)之间，发生滑动。这样发生滑动的原因在于，在第二辊82的外周面附近，产生伴随第二辊82的旋转而引起的空气的边界层，该边界层向基体材料5施加浮力。结果，如图4所示，第二辊82隔着气体层100搬运基体材料5。

另一方面，在如图5所示的比较例中，假设代替本实施方式的第二辊82，来设置以与搬运速度v相同的周速进行旋转的辊821的情况。该情况下，在以等速移动的第二辊82的外周面和基体材料5的背面之间难以发生滑动。此外，辊821的周速比第二辊82的周速v2小，因此因边界层而向基体材料5施加的浮力也成为小的值。结果，在图5所示的比较例中，与图4所示的本实施方式的情况相比，在辊821的外周面和基体材料5的背面之间的接触面积更大的状态下，辊821搬运基体材料5。

在本实施方式中，隔着气体层100搬运基体材料5的第二搬运构件(具体为第二辊82)设置于干燥部40的下游侧。因此，利用干燥部40的加热后的基体材料5和常温的第二辊82之间的接触面积变小，从而上述摩擦力也变小。结果，能够抑制基体材料5的褶皱的发生。

进行牵引控制的情况(图4)与不进行牵引控制的情况(图5)相比，基体材料5和第二辊82之间的接触面积变得更小。在本说明书中，将这种基于接触面积变小而产生的气体的层称为气体层100。因此，气体层100是，不仅包括在基体材料5的整个背面侧形成的层(后述的图7)，还包括在基体材料5的背面侧的一部分形成的层(图4)的概念。在图4所示的例子中，气体层100包括－y侧的宽度大的部分和+y侧的宽度小的部分。

此外，在本实施方式中，第三搬运构件沿着搬运路径设置于第二搬运构件的下游侧。由此，能够在特别容易产生褶皱的位置(基体材料5被加热后的区间中的基体材料5刚被加热后的部分)隔着气体层100搬运基体材料5，从而能够有效地抑制褶皱的发生。

此外，在本实施方式中，搬运部80包括多个辊(具体为第二辊82和第三辊83)，多个辊(具体为第二辊82和第三辊83)能够分别通过以向交叉方向延伸的轴为中心进行旋转来搬运基体材料5，并且在搬运路径的一区间内排列设置。而且，第二辊82的相对于基体材料5的夹角θ2、第三辊83相对于基体材料5的夹角θ3，分别设为阈值(例如，30度)以下。而且，该一区间前后的搬运路径延伸方向的角度之差为，第二辊82和第三辊83的各自的夹角的合计值(θ2+θ3)。

如上所述，在高温的基体材料5被冷却的情况下，因该温度变化而引起的收缩力作用于基体材料5，从而容易在基体材料5发生褶皱。在本实施方式中，能够使在干燥部40的下游侧排列设置的多个辊分担夹角，从而能够使各辊相对于高温的基体材料5的夹角变小(进而，能够使高温的基体材料5和各辊之间的接触面积变小)，由此抑制褶皱的发生。

此外，在本实施方式中，用于分担夹角的搬运构件集合中的上游侧的搬运构件(即，搬运温度最高的基体材料5的构件)为第二搬运构件。因此，能够在因基体材料5和搬运构件之间的温度差而容易发生褶皱的位置，隔着气体层100搬运基体材料5，从而能够有效地抑制褶皱的发生。此外，在本实施方式中，用于分担夹角的搬运构件的集合中的下游侧的搬运构件(即，搬运温度相对低的基体材料5的构件)为第三搬运构件。因此，在基体材料5和搬运构件之间温度差小的位置，通过第三搬运构件搬运基体材料5，从而即使第三搬运构件没有隔着气体层100搬运基体材料5也不容易发生褶皱。

此外，在本实施方式中，第二搬运构件为在搬运方向上向基体材料5施加力的部分。因此，本实施方式与具有浮起支撑部来代替第二辊82的比较例(未图示)相比，能够实现装置尺寸的小型化，其中，上述浮起支撑部向基体材料5的背面侧供气来支撑该基体材料5。若像该比较例那样，在冷却部43的下游侧设置浮起支撑部，则等同于扩大冷却部43的搬运方向的尺寸，从而导致装置尺寸的大型化。

〈2变形例〉

以上，对本发明的实施方式进行了说明，本发明能够在不脱离本发明宗旨的范围内进行上述以外的各种变更。

图6是示意性地示出变形例的辊822的立体图。图7是示意性地示出变形例的辊822搬运基体材料5时的情形的yz侧视图。

辊822包括：本体部823，形成为圆筒状；外周部824，配置有用于向基体材料5供气的供气口；以及，内周部825，具有与外周部824的供气口连接的开口。需要说明的是，在图6和图7中，以点图案表示了外周部824的多个供气口和内周部825的多个开口。

因此，在从未图示的气体供给部向辊822的筒内空间供给气体时，该气体从内周部825的多个开口朝向外周部824的多个供气口流动，从而从该多个供气口朝向基体材料5的背面供给气体。这样，辊822发挥如下供气辊的作用，即，该供气辊具备设置有供气口的外周部824和与该供气口连接的供气路径。

在本变形例中，在基体材料处理装置1设置辊822，来代替上述实施方式的第二辊82。更具体地，辊822能够以如下轴为中心进行旋转来设置于基体材料处理装置1，即，所述轴与主面s1平行，且沿着与基体材料5的搬运方向交叉的交叉方向延伸。而且，通过未图示的驱动部，使辊822向用于搬运基体材料5的方向旋转。结果，如图7所示，辊822利用供气隔着气体层101搬运基体材料5。该气体层101不同于上述实施方式的气体层100，是形成于基体材料5的整个背面侧的层。

本变形例中，辊822发挥第二搬运构件的作用，使利用干燥部40的加热后的基体材料5和辊822之间的接触面积减小，从而能够抑制基体材料5的褶皱的发生。这样，除上述实施方式的牵引控制之外，能够将各种机构用作第二搬运构件。此外，也可以将隔着气体层搬运基体材料5的原理不同的多种第二搬运构件(例如，第二辊82和辊822)进行组合，来设置于基体材料处理装置1。

此外，在本变形例中，供给的气体的温度设定为，比基体材料5中的被辊822搬运的部分的温度低。此时，配合基体材料5的搬运处理还能够执行基体材料5的冷却处理，从而能够实现装置的小型化。

此外，在上述实施方式中，对第三搬运构件位于第二搬运构件的搬运下游侧的方式进行了说明，但也可以使第二搬运构件位于第三搬运构件的搬运下游侧。

此外，在上述实施方式中，对搬运部80包括第三辊83且用第二辊82和第三辊83分担相对于基体材料5的夹角的方式进行了说明，其中，上述第三辊83在搬运路径的一区间内设置于第二辊82的下游侧，但不限于此。作为通过在干燥部40的下游侧的一区间内排列设置的多个辊分担夹角的方式，也可以使用三个以上的辊(例如，一个第二辊82和两个以上的第三辊83)。此外，也可以将辊以外的多个搬运构件排列设置于干燥部40的下游侧的一区间内，通过这些搬运构件分担基体材料5的夹角。此外，也可以不使用这样的分担技术。

此外，在上述实施方式中，对于在利用加热部42对基体材料5实施加热处理后，实施利用冷却部43冷却经过加热处理被加热的基体材料5的冷却处理的方式进行了说明，但不限于此。例如，也可以采用干燥部40不具有冷却部43而不实施冷却处理的方式。

此外，在上述实施方式中，对基体材料5的一个主面s1涂敷涂敷液的方式进行了说明，但也可以采用对基体材料5的两个主面涂敷涂敷液的方式。

此外，成为干燥处理对象的液膜p不限于上述实施方式的例(锂离子二次电池的电极材料膜)。干燥对象的液膜，例如也可以是太阳电池材料的薄膜、电子材料的保护膜、颜料或粘接剂的液膜等。

此外，对于向基体材料5的主面s1供给涂敷液的供给方式不做特别限定。除了像上述实施方式那样使用狭缝喷嘴向主面s1供给涂敷液的方式之外，例如也可以采用利用喷射喷嘴向基体材料5的主面s1供给涂敷液的方式(所谓，喷射涂敷)。此外，除了像上述实施方式那样从一个狭缝开口向主面s1的一个区域供给涂敷液的方式之外，例如还可以采用从在基体材料5的宽度方向上隔开间隔设置的多个狭缝开口向主面s1上的多个区域供给涂敷液的方式(所谓，条状涂敷)。

此外，关于搬运部80具有的搬运构件的种类、搬运构件的数量和配置，并不限于上述各实施方式的例，可以根据需要适当进行变更。

以上，对实施方式和该变形例的基体材料处理装置和基体材料处理方法进行了说明，但这些是本发明的优选实施方式的例，不是用于限定本发明的实施范围的。本发明能够在本发明的范围内，对各实施方式自由进行组合，或者对各实施方式的任意构成构件进行变形，或者对各实施方式的任意结构构件进行增减。