一种纵向高压双极结型晶体管及其制造方法与流程

文档序号:11252723阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种纵向高压双极结型晶体管及其制造方法;具体是在一种常规的纵向双极结型集体管的基础上,在紧贴集电极一侧的基区边缘加上第一层金属,使基极第一层金属边缘覆盖于基区之上,尺寸超出基区结深的一到五倍,而发射极金属通过远离集电极一侧引出。理论分析在器件处于反向耐压工作状态下,紧贴集电极一侧的基区CB结边缘由于金属场板的覆盖,使得耗尽区扩散时边缘曲面结的曲率效应大大降低,BVcbo耐压急剧变大,从而使得相应的BVceo变大,而对于正向增益无任何损失,本发明很好的解决了纵向NPN管中增益和BVceo耐压的折中实现问题。本发明的横向高压双极结型晶体管在其余参数影响不大,且增益基本维持不变的情况下,BVcbo提高20%以上、BVceo提高10%以上。

技术研发人员:刘建;刘青;税国华;张剑乔;陈文锁;张培健;易前宁
受保护的技术使用者:重庆中科渝芯电子有限公司
技术研发日:2017.04.20
技术公布日:2017.09.15
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