本发明涉及一种平板涂布设备，具体是一种衬底吸附平台。
背景技术：
基于挤压式涂布方法对涂布薄膜厚度和厚度均匀性的高度可控性特点，该涂布方式被广泛利用于新型薄膜太阳能电池，新型显示材料，光学功能膜，环保渗透膜等新型行业领域。平板涂布是其中一种方式，高精度涂布薄膜需要涂布平台上放置的衬底表面与涂布模唇间的间距保持相对稳定。所以除了平台自身稳定性外，衬底在平台上定位、固定及衬底表面平整度至关重要。
技术实现要素：
为了克服上述现有技术的不足，本发明的目的是提供了一种衬底吸附平台。
为达到上述目的，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种衬底吸附平台，包括平台本体，所述平台本体内部设有多道相互隔离的环状吸气管路，所述吸气管路由内向外依次扩展排布，每道所述环状吸气管路上开有多个通向所述平台本体上表面的气孔，每道吸气管路均经通气管与吸气装置连接。
本发明相较于现有技术，可以分别控制各吸气管路上气孔的通断气，可以针对不同材质、尺寸的衬底，选择不同的吸气管路进行吸附；特别是厚度极薄的柔性衬底，可以整面齐平地加以吸附，同时可以避免衬底表面因吸附而产生的微形变。
进一步地，同一道所述吸气管路上的气孔成方形排布。
进一步地，同一道所述吸气管路上的气孔口径相同。
进一步地，所述气孔包括大气孔、小气孔口径两种规格，所述大气孔口径为小气孔的3-5倍，相邻所述吸气管路上的气孔为大气孔组合、小气孔组合交替设置。
采用上述优选的方案，吸附平台加工有大小气孔，针对不同材质、不同厚度的衬底，启动不同的吸气管路进行吸附固定；在使用柔性衬底时，启动相应小气孔的吸气管路进行吸附；对中型尺寸的衬底可以同时启动相应的大、小气孔，通过吸气管路的切换，提高吸附平台对各种衬底的适应性。
进一步地，所述吸气装置包括分别连接在每道吸气管路通气管的多个真空电磁阀、真空发生器，所述真空电磁阀通过带有多个接口的中继连接块与真空发生器吸气口相连。
采用上述优选的方案，通过真空电磁阀自动完成吸气管路的通断气切换，提高使用便利性。
进一步地，还包括一控制器，所述平台本体上设有检知衬底尺寸的尺寸检知传感器，所述真空电磁阀、尺寸检知传感器与所述控制器相连接，所述控制器根据尺寸检知传感器信号处理后发出控制所述真空电磁阀通断的信号。
进一步地，还包括一用于选择衬底柔性的档位开关，所述档位开关与所述控制器相连接，所述控制器根据尺寸检知传感器、档位开关信号处理后发出控制所述真空电磁阀通断的信号。
采用上述优选的方案，可以根据衬底尺寸、柔性程度自动选择相适应的吸气管路，提高了智能程度。
进一步地，吸气装置包括气流通道选择圆盘、真空发生器，所述气流通道选择圆盘包括外盘、内盘，所述内盘中心经管路与所述真空发生器连通，所述内盘内部设有从中心通向内盘外侧壁的内盘通气管路；所述外盘内部设有多个从外盘内侧壁通向外盘外侧壁的外盘通气管路，所述外盘通气管路分别与平台本体上的通气管相连通；随着内盘的转动，所述内盘通气管路依次与所述外盘通气管路单独连通。
采用上述优选的方案，通过转动内盘来接通吸附平台相应的吸气管路，切换便捷。
进一步地，所述内盘通气管路内设有一推杆，所述推杆为中空结构，所述推杆杆身套设有弹簧，所述推杆可伸出内盘通气管路，并进入所述外盘通气管路。
进一步地，所述外盘通气管路设有台阶面，台阶面上设有密封圈，所述推杆前端可与所述密封圈相抵触。
采用上述优选的方案，提高了内盘与外盘间的密封性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明一种实施方式的结构示意图；
图2是本发明另一种实施方式的结构示意图；
图3是本发明另一种实施方式的结构示意图；
图4是本发明另一种实施方式的结构示意图。
图中数字和字母所表示的相应部件的名称：
1-平台本体；2-吸气管路；3-气孔；31-大气孔；32-小气孔；4-通气管；5-吸气装置；51-真空电磁阀；52-真空发生器；53-中继连接块；6-气流通道选择圆盘；61-外盘；611-外盘通气管路；62-内盘；621-内盘通气管路；63-推杆；64-弹簧。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1-2所示，本发明的一种实施方式为：一种衬底吸附平台，包括平台本体1，平台本体1内部设有多道相互隔离的环状吸气管路2，吸气管路2由内向外依次扩展排布，每道环状吸气管路2上开有多个通向平台本体1上表面的气孔3，每道吸气管路2均经通气管4与吸气装置5连接。
采用上述技术方案的有益效果是：可以分别控制各吸气管路2上气孔3的通断气，可以针对不同材质、尺寸的衬底，选择不同的吸气管路2进行吸附；特别是厚度极薄的柔性衬底，可以整面齐平地加以吸附，同时可以避免衬底表面因吸附而产生的微形变。
在本发明的另一些实施方式中，为了达到提升吸附平台适应性的目的，同一道吸气管路2上的气孔3成方形排布；同一道吸气管路2上的气孔3口径相同；气孔3包括大气孔31、小气孔32口径两种规格，大气孔31口径为小气孔32的3-5倍，相邻吸气管路2上的气孔3为大气孔31组合、小气孔32组合交替设置。采用上述技术方案的有益效果是：吸附平台加工有大小气孔，针对不同材质、不同厚度的衬底，启动不同的吸气管路进行吸附固定；在使用柔性衬底时，启动相应小气孔的吸气管路进行吸附；对中型尺寸的衬底可以同时启动相应的大、小气孔，通过吸气管路的切换，提高吸附平台对各种衬底的适应性。
如图2所示，在本发明的另一些实施方式中，为了达到自动通断气的目的，吸气装置5包括分别连接在每道吸气管路通气管4的多个真空电磁阀51、真空发生器52，真空电磁阀51通过带有多个接口的中继连接块53与真空发生器52吸气口相连。采用上述技术方案的有益效果是：通过真空电磁阀51自动完成吸气管路2的通断气切换，提高使用便利性。
在本发明的另一些实施方式中，为了达到自动接通与衬底类型匹配的吸气管路的目的，还包括一控制器，所述平台本体上设有检知衬底尺寸的尺寸检知传感器，所述真空电磁阀、尺寸检知传感器与所述控制器相连接，所述控制器根据尺寸检知传感器信号处理后发出控制所述真空电磁阀通断的信号；还包括一用于选择衬底柔性的档位开关，所述档位开关与所述控制器相连接，所述控制器根据尺寸检知传感器、档位开关信号处理后发出控制所述真空电磁阀通断的信号。采用上述技术方案的有益效果是：可以根据衬底尺寸、柔性程度自动选择相适应的吸气管路，提高了智能程度。
如图3-4所示，在本发明的另一些实施方式中，为了达到便捷切换吸气管路的目的，吸气装置5包括气流通道选择圆盘6、真空发生器52，气流通道选择圆盘6包括外盘61、内盘62，内盘62中心经管路与真空发生器52连通，内盘62内部设有从中心通向内盘外侧壁的内盘通气管路621；外盘61内部设有多个从外盘内侧壁通向外盘外侧壁的外盘通气管路611，外盘通气管路611分别与平台本体1上的通气管4相连通；随着内盘的转动，内盘通气管路621依次与外盘通气管路611单独连通。采用上述技术方案的有益效果是：通过转动内盘来接通吸附平台相应的吸气管路，切换便捷。
在本发明的另一些实施方式中，为了达到提高内盘、外盘间密封性的目的，内盘通气管路621内设有一推杆63，推杆63为中空结构，推杆63杆身套设有弹簧64，推杆63可伸出内盘通气管路621，并进入外盘通气管路611；外盘通气管路611设有台阶面，台阶面上设有密封圈，推杆63前端可与所述密封圈相抵触。采用上述技术方案的有益效果是：提高了内盘与外盘间的密封性。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让本领域普通技术人员能够了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。