一种激光器混合气体的制备装置的制作方法

文档序号:12005827阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种激光器混合气体的制备装置,包括混合气体气罐,混合气体气罐的入口与控制阀的出口通过管路相连通,控制阀的入口与主管路相连通,所述主管路与气体流量计的出口通过管路相连通,气体流量计的入口与减压阀的出口通过管路相连通,减压阀的入口与纯气体气罐出口相连通;其中,所述主管路上连接有真空泵;所述的控制阀与混合气体气罐之间的管路连接有压力表。混合气体气罐为三层罐体结构,有效保证了气罐的耐压、耐温、隔热、耐腐蚀性能;而且气罐设有搅拌装置,保证了不同密度的气体在气罐中均匀混合,从而保证在混合气体使用过程中,各组分气体比例始终保持均匀稳定。

技术研发人员:邹强
受保护的技术使用者:龙口科锐激光科技有限公司
文档号码:201720035980
技术研发日:2017.01.12
技术公布日:2017.07.11

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