一种环腔纳米线电注入单光子源器件的制作方法

文档序号:11180536阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种环腔纳米线电注入单光子源器件,其特征在于:包括p型电极(1)、pin纳米线(2)、量子点(3)、多层同心环腔(4)、n型电极(5)、下层n型材料(6)和衬底(7);

所述衬底(7)位于最底层,衬底(7)的上面为下层n型材料(6),下层n型材料(6)的上面为pin纳米线(2)、量子点(3)、多层同心环腔(4)、n型电极(5),p型电极(1)位于pin纳米线(2)的上面;

所述多层同心环腔(4)以pin纳米线(2)为圆心位于 pin纳米线(2)的外层;

所述n型电极(5)以pin纳米线(2)为圆心呈环形位于多层同心环腔(4)的外层,且靠近下层n型材料(6)的边缘;

所述pin纳米线(2)位于下层n型材料(6)的中心上,量子点(3)嵌埋于pin纳米线(2)中间。

2.根据权利要求1所述的环腔纳米线电注入单光子源器件,其特征在于:所述pin纳米线(2)由p型材料、本征型、n型材料构成pin结构;其中,p型材料位于最上层,与p型电极(1)形成欧姆接触。

3.根据权利要求1所述的环腔纳米线电注入单光子源器件,其特征在于:所述量子点(3)位于pin纳米线(2)的本征层中,采用禁带宽度小于pin纳米线(2)的材料,与pin纳米线(2)一起构成单量子阱结构。

4.根据权利要求1所述的环腔纳米线电注入单光子源器件,其特征在于:所述多层同心环腔(4)由两种或多种复折射率不同的材质构成,其材质为空气、或介质绝缘材料、或金属材料。

5.根据权利要求1所述的环腔纳米线电注入单光子源器件,其特征在于:所述n型电极(5)与下层n型材料(6)形成n型欧姆接触。

6.根据权利要求1所述的环腔纳米线电注入单光子源器件,其特征在于:所述下层n型材料(6)与pin纳米线(2)中的n型材料材质一致。

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