电磁诱导势阱半导体禁带下室温光电导探测器件的制作方法

文档序号:11553336阅读:来源:国知局
技术总结
本专利公开一种电磁诱导势阱半导体禁带下室温光电导探测器件,该器件由半导体衬底上依次生长半导体外延层,钝化保护层和正负电极金属层构成。该器件基于电磁诱导势阱、远禁带下室温光电导机制,选用适宜参数(载流子浓度,迁移率等)的半导体材料,通过理论分析,设计合理的器件尺寸,通过前放电路对光电信号进行放大读出,实现高速光信号到电信号转换及探测。具有可室温工作,远小于半导体禁带下产生较强光电导,灵敏度高,响应迅速,结构简单紧凑以及可大规模集成等优点。

技术研发人员:黄志明;周炜;姚娘娟;曲越;吴敬;高艳卿;黄敬国;张飞;尹一鸣;褚君浩
受保护的技术使用者:中国科学院上海技术物理研究所
文档号码:201720067353
技术研发日:2017.01.19
技术公布日:2017.08.15

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