一种横向高压双极结型晶体管的制作方法

文档序号:11762321阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型公开了一种横向高压双极结型晶体管;包括P型衬底、N型埋层、P型埋层、N型外延层、P型隔离穿透区、N型穿通区、P型体区、N型重掺区、N型重掺环区、预氧层、场氧层、TEOS金属前介质层、发射区金属、集电极金属和基极金属;本实用新型是在常规横向双极结型集体管的基础上,在集电区与发射区之间加入了N型环状注入,再通过优化第一层金属的布局,使金属全覆盖于集电区之上,尺寸超出集电区结深的两倍。通过仿真以及实际流片结果得出本实用新型的横向高压双极结型晶体管在其余参数影响不大的情况下,BVcbo提高40%以上、BVceo提高30%以上、漏电能力提升一个量级。本实用新型提供的一种横向高压双极结型晶体管。

技术研发人员:刘建;刘青;税国华;张剑乔;易前宁;陈文锁
受保护的技术使用者:重庆中科渝芯电子有限公司
文档号码:201720194591
技术研发日:2017.03.02
技术公布日:2017.10.20

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