一种压电器件的制作方法

文档序号:13106612阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种压电器件,包括叠置的参考电极层、第一导电层以及第二导电层,其特征在于,所述参考电极层、第一导电层以及第二导电层中的至少之一的表面上设置有保护膜层。

2.根据权利要求1所述的压电器件,其特征在于,所述参考电极层、第一导电层以及第二导电层的每个与外部空间相接触的表面上均设置有保护膜层。

3.根据权利要求2所述的压电器件,其特征在于,所述表面中用于与外部散热装置相接处的表面上设置的保护膜的厚度大于其它表面上设置的保护膜的厚度。

4.根据权利要求2所述的压电器件,其特征在于,所述第一导电层和第二导电层材料与外部空间相接处的表面上的保护膜层均由第一材料构成,所述参考电极层与外部空间相接触的表面上的保护膜层由第二材料构成。

5.根据权利要求1所述的压电器件,其特征在于,所述保护膜设置在所述参考电极层与外部散热装置相接触的表面上。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的压电器件,其特征在于,所述保护膜的膜厚为0.5μm至200μm。

7.根据权利要求6所述的压电器件,其特征在于,所述保护膜的膜厚为21μm。

8.根据权利要求1-5中任一项所述的压电器件,其特征在于,所述保护膜层的材料为聚对二甲苯或石墨烯。

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