一种压电器件的制作方法

文档序号:13106612阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供一种压电器件,所述压电器件包括叠置的参考电极层、第一导电层以及第二导电层,所述参考电极层、第一导电层以及第二导电层中的至少之一的表面上设置有保护膜层。通过设置保护膜层,提高压电器件表面金属电极的抗腐蚀性和耐磨损性,利于压电器件的保存;此外,通过给不同电极加工不同厚度不同材料的保护膜层,能够使表面电极与外界绝缘,降低外界对压电器件工作的影响,提高压电器件工作的稳定性,实现不同的应用需求。

技术研发人员:邵维维;张萌;韩志乐;崔崤峣;苗源民
受保护的技术使用者:苏州国科昂卓医疗科技有限公司
文档号码:201720457369
技术研发日:2017.04.27
技术公布日:2017.12.05

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