液帘分叉检测装置的制作方法

本实用新型属于显示器制造技术领域，更具体地，涉及一种液帘分叉检测装置。

背景技术：

薄膜晶体管(TFT)制备技术是采用新材料和新工艺的大规模半导体集成电路技术，在玻璃或塑料基板等非单晶片上制作大规模半导体集成电路，通过溅射、化学沉积工艺形成制造电路必须的各种模。在薄膜晶体管制备工艺中，需要阵列制程、组立制程、模组制程等等步骤。

ITO(锡铟氧化物)蚀刻工艺是其中重要一环。蚀刻工艺是利用化学药品对基板表面的金属进行腐蚀，从而达到去掉部分金属的目的，因此需要用到液刀喷洒化学药液。而在预先对在湿法刻蚀工艺中，需要用到液刀喷洒水进行预湿润。

图1示出了现有技术中液刀装置的结构示意图。所述液刀装置10包括液刀本体11和储液槽12，其中，所述储液槽12与所述液刀本体11通过输液管路13连接，所述储液槽12的出口处设置有泵14，用于将液体从储液槽12通过输液管路13输送至液刀本体11，液刀本体11将所述液体喷射形成液帘15。然而液刀预湿润或者蚀刻其他设备时，由于液刀本体11的出口受到微粒的堵塞或者其他因素的影响下，液刀本体11喷射形成的液帘15会产生分叉16，导致玻璃表面形成横条状白点异常，从而造成后续工艺的刻蚀不均等不良现象发生。现有技术中，在输液管路上设置有流量计17，测量输液管路13的液体流量来监控液刀喷洒状态，但是出现分叉16时输液管路13的液体流量变化不明显，因此，无法检测液刀喷射形成的液帘是否有分叉16。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种液帘分叉检测装置。

根据本实用新型的一方面，提供一种液帘分叉检测装置，用于自动检测液帘分叉，所述液帘包括第一端及第二端，包括：在液帘的第一端和第二端之间运动的探针；控制器，与所述探针经由信号检测线相连，用于获取液帘对探针产生的压力信号，根据所述压力信号判断液帘是否出现分叉。

优选地，所述液帘分叉检测装置还包括：

驱动模块，分别与所述探针和所述控制器连接，用于根据所述控制器发送的控制信号驱动或中断探针在液帘的第一端和第二端之间运动。

优选地，所述驱动模块包括：传动单元，与所述液帘相对设置，并沿液帘的第一端向第二端延伸，用于承载探针；

驱动单元，与所述传动单元连接，用于根据控制信号驱动或中断传动单元。

优选地，所述液帘分叉检测装置还包括：

提示模块，与所述控制器连接用于当所述控制器判断到压力信号的强度发生变化时提示液帘出现分叉优选地，所述提示模块包括：多个提示单元，与所述液帘相对设置，并沿液帘的第一端向第二端延伸的方向间隔设置。

优选地，所述控制器判断到压力信号的强度发生变化时，获取压力信号变化时探针的位置信息，并触发与探针的位置信息对应的提示单元，以提示与所述位置信息对应的液帘出现分叉。

优选地，所述提示单元为LED灯。

优选地，所述液帘分叉检测装置还包括：

触摸传感器，与所述控制器连接，用于检测到触摸信号时触发控制器产生控制信号。

优选地，所述控制信号用于驱动或中断探针在液帘的第一端和第二端之间运动。

本实用新型提供的液帘分叉检测装置，通过控制器获取探针经过液帘时液帘对探针产生的压力信号，并且判断到所述压力信号的强度发生变化时，控制器产生警报以提示液帘出现分叉，从而实现自动检测液帘分叉，提高工作效率。

附图说明

通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中：

图1示出了现有技术中液帘装置的结构示意图；

图2示出了本实用新型实施例中提供的液帘分叉检测装置的结构示意图；

图3示出了根据本实用新型另一实施例中提供的液帘分叉检测装置的结构示意图。

具体实施方式

以下将参照附图更详细地描述本实用新型的各种实施例。在各个附图中，相同的元件采用相同或类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。

本实用新型可以各种形式呈现，以下将描述其中一些示例。在通篇说明书及权利要求书当中所提及的「包含」是为一开放式的用语，故应解释成「包含但不限定于」。此外，「电性连接」一词在此是包含任何直接及间接的电气连接手段。因此，若文中描述一第一装置电性连接于一第二装置，则代表该第一装置可直接连接于该第二装置，或透过其它装置或连接手段间接地连接至该第二装置。

图2示出了根据本实用新型实施例中提供的液帘分叉检测装置的结构示意图。如图2所示，本实施例提供的液帘15由液刀本体11产生，此处的液帘15可以等效于一个具有一定长度和宽带的平面。在一些实施例中，液帘15还可以是半弧状等其它形状。且液帘15包括第一端151和第二端152。

其中，所述液帘分叉检测装置包括在液帘的第一端151和第二端152之间运动的探针21和控制器22。

控制器22与所述探针21经由信号检测线相连，用于获取液帘15对探针21产生的压力信号，根据所述压力信号判断液帘15是否出现分叉16。

液刀本体11的出口如果遇到微粒的堵塞，在微粒处产生的液帘15会出现分叉16。探针21在经过分叉处的液帘15时，液帘15对探针21的冲击产生的压力不同。因此，控制器22通过探针21输出的压力信号强度，便可以知悉液刀本体11产生的液帘15是否出现分叉16。当控制器22判断到压力信号强度发生变化，则此时的液帘15出现分叉，控制器22产生警报以提示操作员关于液帘出现分叉的情况。如果压力信号的强度未发生变化，则维持正常状态。

在一些实施例中，控制器22还可以采用可编辑逻辑控制器(Programmable Logic Controller，PLC)，还可以采用微处理器。微处理器还可以是通用处理器、数字信号处理器(DSP)、专用集成电路(ASIC)、现场可编程门阵列(FPGA)或其他可编程逻辑器件、分立门或晶体管逻辑、分立的硬件主机或者这些部件的任何组合。还有，此处的微处理器可以说任何传统处理器、控制器、微控制器或状态机。处理器也可以被实现为计算设备的组合，例如，DSP和微处理器的组合、多个微处理器、一个或多个微处理器结合DSP核、或任何其它这种配置。

在本实施例中，通过控制器20获取探针21经过液帘15时液帘15对探针21产生的压力信号，并且判断到所述压力信号的强度发生变化时，控制器20产生警报以提示液帘15出现分叉16，从而实现自动检测液帘15分叉，提高工作效率。

在一个优选地实施例中，所述液帘分叉检测装置还包括驱动模块23，分别与所述探针21和所述控制器22连接，用于根据所述控制器22发送的控制信号驱动或中断探针21在液帘15的第一端151和第二端152之间来回运动。

所述驱动模块23包括传动单元231和驱动单元232。其中传动单元231用于承载探针21，驱动单元232用于根据控制信号驱动或中断传动单元231，即驱动探针21在在液帘15的第一端151和第二端152之间来回运动，或者中断探针21在液帘15的第一端151和第二端152之间来回运动。

在本实施例中，所述传动单元231与所述液帘15相对设置，并沿液帘15的第一端151向第二端152延伸，探针21在液帘15的第一端151 和第二端152之间来回运动时与液帘15接触以检测液帘15对探针21产生的压力信号。可将探针21从液帘15的第一端151运动到第二端152作为一个周期，控制器22根据一个周期内的压力信号是否有变化判断液帘15是否出现分叉。所述驱动单元131可以为伺服马达。

在一个优选地实施例中，所述液帘分叉检测装置还包括提示模块24，与所述控制器22连接，用于当所述控制器22判断到压力信号的强度发生变化时提示压力信号变化时探针所处位置的液帘出现分叉。

具体地，当所述控制器判断到压力信号的强度发生变化，则产生触发信号，触发所述提示模块，以提示压力信号变化时探针所处位置的液帘出现分叉。

在本实施例中，所述提示模块24包括多个提示单元，与所述液帘15相对设置，沿液帘15的第一端151向第二端152延伸的方向间隔设置。当所述控制器22判断到压力信号的强度发生变化时，获取压力信号变化时探针的位置信息，并触发与探针的位置信息对应的提示单元，以提示与所述位置信息对应的液帘出现分叉。所述提示单元可以为LED灯。

本实施例提供的液帘分叉检测装置不仅能够检测液帘出现分叉，还可以检测液帘出现分叉的位置，一方面，操作员可以及时发现液帘出现分叉，另一方面，还可以根据提示单元的位置，精准定位液帘分叉位置，并在该位置进行清理。因此，采用该液帘检测装置，可以提供操作员的工作效率，还能够及时发现液帘分叉进行清理，从而提高液刀装置的成功概率，因此提高工艺的良品率。

图3示出了根据本实用新型另一实施例中提供的液帘分叉检测装置的结构示意图。如图3所示，本实施例提供的液帘15由液刀本体11产生，此处的液帘15可以等效于一个具有一定长度和宽带的平面。在一些实施例中，液帘15还可以是半弧状等其它形状。且液帘15包括第一端151和第二端152。

其中，所述液帘分叉检测装置包括在液帘的第一端151和第二端152之间运动的探针21、控制器22以及触摸传感器25。

控制器22与所述探针21经由信号检测线相连，用于获取液帘15 对探针21产生的压力信号，根据所述压力信号判断液帘15是否出现分叉16。

触摸传感器25与所述控制器22连接，用于检测到触摸信号时触发控制器22产生控制信号，其中，所述控制信号用于驱动或中断探针21在液帘的第一端151和第二端152之间运动。

液刀本体11的出口如果遇到微粒的堵塞，在微粒处产生的液帘15会出现分叉16。探针21在经过分叉处的液帘15时，液帘15对探针21的冲击产生的压力不同。因此，控制器22通过探针21输出的压力信号强度，便可以知悉液刀本体11产生的液帘15是否出现分叉16。当控制器22判断到压力信号强度发生变化，则此时的液帘15出现分叉，控制器22产生警报以提示操作员关于液帘15出现分叉16的情况。如果压力信号的强度未发生变化，则维持正常状态。

在一些实施例中，控制器22还可以采用可编辑逻辑控制器(Programmable Logic Controller，PLC)，还可以采用微处理器。微处理器还可以是通用处理器、数字信号处理器(DSP)、专用集成电路(ASIC)、现场可编程门阵列(FPGA)或其他可编程逻辑器件、分立门或晶体管逻辑、分立的硬件主机或者这些部件的任何组合。还有，此处的微处理器可以说任何传统处理器、控制器、微控制器或状态机。处理器也可以被实现为计算设备的组合，例如，DSP和微处理器的组合、多个微处理器、一个或多个微处理器结合DSP核、或任何其它这种配置。

在本实施例中，通过控制器20获取探针21经过液帘15时液帘15对探针21产生的压力信号，并且判断到所述压力信号的强度发生变化时，控制器20产生警报以提示液帘15出现分叉，从而实现自动检测液帘15分叉，提高工作效率。

在一个优选地实施例中，所述液帘分叉检测装置还包括驱动模块23，分别与所述探针21和所述控制器22连接，用于根据所述控制器22发送的控制信号驱动或中断探针21在液帘15的第一端151和第二端152之间来回运动。

所述驱动模块23包括传动单元231和驱动单元232。其中传动单元231用于承载探针21，驱动单元232用于根据控制信号驱动或中断传动 单元231，即驱动探针21在在液帘15的第一端151和第二端152之间来回运动，或者中断探针21在液帘15的第一端151和第二端152之间来回运动。

在本实施例中，所述传动单元231与所述液帘15相对设置，并沿液帘15的第一端151向第二端152延伸，探针21在液帘15的第一端151和第二端152之间来回运动时与液帘15接触以检测液帘15对探针21产生的压力信号。可将探针21从液帘15的第一端151运动到第二端152作为一个周期，控制器22根据一个周期内的压力信号是否有变化判断液帘15是否出现分叉16。所述驱动单元131可以为伺服马达。

在一个优选地实施例中，所述液帘分叉检测装置还包括提示模块24，与所述控制器22连接，用于当所述控制器22判断到压力信号的强度发生变化时提示压力信号变化时探针所处位置的液帘15出现分叉16。

具体地，当所述控制器22判断到压力信号的强度发生变化，则产生触发信号，触发所述提示模块24，以提示压力信号变化时探针所处位置的液帘出现分叉。

在本实施例中，所述提示模块24包括多个提示单元，与所述液帘15相对设置，沿液帘15的第一端151向第二端152延伸的方向间隔设置。当所述控制器22判断到压力信号的强度发生变化时，获取压力信号变化时探针的位置信息，并触发与探针的位置信息对应的提示单元，以提示与所述位置信息对应的液帘出现分叉。所述提示单元可以为LED灯。

本实施例提供的液帘分叉检测装置不仅能够检测液帘出现分叉，还可以检测液帘出现分叉的位置，一方面，操作员可以及时发现液帘出现分叉，另一方面，还可以根据提示单元的位置，精准定位液帘分叉位置，并在该位置进行清理。因此，采用该液帘检测装置，可以提供操作员的工作效率，还能够及时发现液帘分叉进行清理，从而提高液刀装置的成功概率，因此提高工艺的良品率。

依照本实用新型的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术 领域技术人员能很好地利用本实用新型以及在本实用新型基础上的修改使用。本实用新型的保护范围应当以本实用新型权利要求所界定的范围为准。