提升机构、输送装置及硅片自动输送制造设备的制作方法

文档序号:14677856发布日期:2018-06-12 21:45阅读:287来源:国知局
提升机构、输送装置及硅片自动输送制造设备的制作方法

本实用新型涉及太阳能硅片加工设备领域,尤其涉及一种提升机构、输送装置及硅片自动输送制造设备。



背景技术:

在太阳能硅片自动加工制造设备中,需要对硅片进行搬运输送,例如水平输送、提升输送,因而会使用到提升机构对硅片进行竖直向的输送。现有的硅片提升机构多采用托盘形式实现硅片的花篮上下移动,通常两个花篮为一组,一组内的两个花篮同时上下运动,使用不方便,特别是花篮高度不统一时,不能兼容不同高度的花篮,容错性不好,会导致后续人工上下料不便的问题。



技术实现要素:

本实用新型所要解决的技术问题在于,提供一种提升机构、输送装置及硅片自动输送制造设备,各组内的花篮可以独立上下运动,解决了后续上下料不便的问题,同时容错性较好。

为了解决上述技术问题,一方面,本实用新型的实施例提供了一种提升机构,包括至少两条并排设置的提升流水线,所述提升流水线包括单轴机器人及用于容纳硅片花篮的托架,所述单轴机器人连接于所述托架,用于带动所述托架直线升降移动;所述托架包括固定板、底座、及顶板,所述固定板与所述单轴机器人相连,所述底座及顶板相对设置,且分别固定于所述固定板竖直向的两端处;所述底座内设置有输送带,所述输送带的输送方向为所述提升流水线的排布方向;所述顶板上设置有顶部定位组件,所述顶部定位组件包括顶部驱动件及定位杆,所述定位杆竖直设置,且沿竖直向滑动连接于所述顶板,所述顶部驱动件固定于所述顶板,所述顶部驱动件与所述定位杆传动连接,以驱动所述定位杆竖直移动。

其中,所述顶部驱动件为顶部气缸,所述顶部驱动件固定在所述顶板的上表面,所述顶部驱动件的活塞杆朝上设置,且与所述定位杆平行设置,所述活塞杆的顶部与所述定位杆的顶部通过连接杆固定连接。

其中,所述硅片花篮的顶部设置有锥形槽,所述定位杆的底部设置有定位块,所述定位块的底部为与所述锥形槽相配合的锥台形;当所述定位杆向下移动时,所述定位块的底部插入至所述锥形槽中。

其中,所述底座设置有底部定位组件,所述底部定位组件包括定位板及底部气缸,所述定位板与所述顶板平行设置,用于支撑于所述硅片花篮的下方;所述定位板沿竖直方向滑动连接于所述底座,所述底部气缸与所述底座固定连接,所述底部气缸的活塞杆与所述定位板固定连接,以驱动所述定位板竖直移动。

其中,所述输送带为并排设置的两条,所述底部定位组件位于两条输送带之间。

其中,所述底座上设置有用于检测所述硅片花篮位置的位置检测器。

第二方面,本实用新型提供了一种输送装置,用于输送硅片花篮,其包括前述的提升机构。

其中,所述输送装置还包括水平输送机构,所述水平输送机构的输送方向为所述提升流水线的排布相向,用于将所述硅片花篮水平输送至所述托架中。

第三方面,本实用新型提供了一种硅片自动输送制造设备,其包括前述的输送装置。

本实用新型实施例提供的提升机构、输送装置及硅片自动输送制造设备,各提升流水线可以分别带动硅片花篮移动,方便使用,且利于后期上下料作业;输送带可以方便硅片花篮在托架中的移入和移出;利用顶部定位组件,当硅片花篮移动到托架内后,定位杆在顶部驱动件的驱动下向下移动,抵靠于硅片花篮的顶面,从而可以将硅片花篮定位在托架中,提高提升的稳定性;定位杆在竖直方向移动不同的距离,可以将不同高度的硅片花篮定位,从而可以适用于不同高度的硅片花篮,容差性较好。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型优选实施例提供的输送装置的立体结构示意图;

图2是图1中输送装置的正面结构示意图;

图3是图1中输送装置的左面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

本实用新型中优选实施例提供了一种硅片自动输送制造设备,包括输送装置,通过输送装置可以将带有硅片的硅片花篮输送到指定工艺位置处,以便对硅片进行加工。

如图1-3所示,输送装置用于输送硅片花篮9,其包括提升机构100及水平输送机构200,提升机构100用于实现硅片花篮9在竖向上的移动,水平输送机构200用于实现硅片花篮9在水平方向上的移动。

提升机构100,包括至少两条并排设置的提升流水线10。提升流水线10包括单轴机器人1及用于容纳硅片花篮9的托架2,单轴机器人1连接于托架2,用于带动托架2直线升降移动。各提升流水线10可以分别带动硅片花篮9移动,方便使用,且利于后期上下料作业。

本实施例中,提升机构100包括两条并排设置的提升流水线10,当然在其他实施例中,提升流水线10还可以是三条或者更多条。提升流水线10并排设置是指,如图所示,两条提升流水线10之间,两个单轴机器人1的排布方向与两个托架2的排布方向相同,两个托架2的最低工位位于同一高度,两个托架2 的最高工位位于同一高度。本实用新型采用2组独立的提升流水线10和提升机构100,利用单轴机器人1实现单独的两个硅片花篮9上下运动,每组硅片花篮 9的高度相对于后续工艺来说是相对固定的,解决了人工上下料使用不便的问题,同时容错性更好。

如图1及图2所示,输送装置还包括水平输送机构200,水平输送机构200 的输送方向为提升流水线10的排布相向,用于将硅片花篮9水平输送至托架2 中。当托架2在单轴机器人1的驱动下移动至较低位置处时,托架2内的输送带 221与水平输送机构200平齐,即处于同一水平面上。同一组的两个硅片花篮9 在输送过程中,前一硅片花篮9可以首先输送至靠近水平输送机构200的提升流水线10的托架2中,再移动到远离水平输送机构200的提升流水线10的托架2 中。两个硅片花篮9分别输送至两个托架2内后,单轴机器人1带动托架2移动,使得硅片花篮9向上提升。

托架2包括固定板21、底座22、及顶板23,固定板21与单轴机器人1相连,底座22及顶板23相对设置,且分别固定于固定板21竖直向的两端处;底座22内设置有输送带221,输送带221的输送方向为提升流水线10的排布方向,利用个输送带221可以将硅片花篮9从一托架2中移动到另一托架2中,或者从托架2中移出。顶板23上设置有顶部定位组件24,顶部定位组件24包括顶部驱动件241及定位杆242,定位杆242竖直设置,且沿竖直向滑动连接于顶板23,顶部驱动件241固定于顶板23,顶部驱动件241与定位杆242传动连接,以驱动定位杆242竖直移动。利用顶部定位组件24,当硅片花篮9移动到托架2内后,定位杆242在顶部驱动件241的驱动下向下移动,抵靠于硅片花篮9的顶面,从而可以将硅片花篮9定位在托架2中,提高提升的稳定性,且利于上下料作业。定位杆242在竖直方向移动不同的距离,可以将不同高度的硅片花篮9定位,从而可以适用于不同高度的硅片花篮9,容差性较好。

作为优选,顶板23上设置的顶部定位组件24为两组,以便将托架2有效定位不会移动。

结合图1及图3所示,顶部驱动件241为顶部气缸,顶部驱动件241固定在顶板23的上表面,顶部驱动件241的活塞杆朝上设置,且与定位杆242平行设置,活塞杆的顶部与定位杆242的顶部通过连接杆243固定连接。利用顶部气缸与连接杆243的配合,可以带动定位杆242竖直移动,结构简单,且便于控制。顶部驱动件241的活塞杆朝上设置,且与定位杆242的顶部相连,可以增加定位杆242的长度,以适应更大高度范围的硅片花篮9。此处,在其他实施方式中,顶部驱动件241还可以为电机,通过滚珠丝杆的传动结构带动定位杆242上下移动。

如图1所示,硅片花篮9的顶部设置有锥形槽90,定位杆242的底部设置有定位块244,定位块244的底部为与锥形槽90相配合的锥台形;当定位杆242 向下移动时,定位块244的底部插入至锥形槽90中。利用定位块244的锥台形底部与锥形槽90的配合,能够有效实现硅片花篮9的定位,当定位块244与锥形槽90之间稍有错位时,亦可以利用二者之间的作用力使得硅片花篮9在水平面进行微小移动,从而可以将硅片花篮9定位在预设位置处,以利于后期的上下料作业等工序的进行。

结合图1及图3所示,底座22设置有底部定位组件25,底部定位组件25 包括定位板251及底部气缸252,定位板251与顶板23平行设置,用于支撑于硅片花篮9的下方;定位板251沿竖直方向滑动连接于底座22,底部气缸252与底座22固定连接,底部气缸252的活塞杆与定位板251固定连接,以驱动定位板251竖直移动。利用底部定位组件25,可以实现硅片花篮9底部的定位,使得硅片花篮9不会再随输送带221移动;底部定位组件25与顶部定位组件24相配合,可以提高硅片花篮9定位的可靠性。

定位板251的上表面设置有定位柱253,当定位板251移动至较高位置处时,在输送带221的输送方向上,定位柱253挡在硅片花篮9的一侧处,以进一步避免硅片花篮9底部的移动,提高定位可靠性。

输送带221为并排设置的两条,底部定位组件25位于两条输送带221之间,以方便底部定位组件25的设置。此处,在其他实施方式中,输送带221也可以为一条,底部定位组件25的定位板251中间位置可以开设避空槽,输送带221 设置在避空槽中,定位板251向下移动后,输送带221可以与硅片花篮9的底部相接触。

如图1所示,底座22上设置有用于检测硅片花篮9位置的位置检测器26。位置检测器26可以为红外检测器、光电检测器、接近开关、霍尔开关等,当硅片花篮9移动到指定位置处时,可以触发位置检测器26,使得位置检测器26发出信号。例如,当硅片花篮9移动到托架2中后,位置检测器26产生感应信号,输送装置的控制系统可以根据感应信号向顶部定位组件24及底部定位组件25 发出控制指令,使得二者动作将硅片花篮9定位在托架2中。

以上的实施方式,并不构成对该技术方案保护范围的限定。任何在上述实施方式的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等,均应包含在该技术方案的保护范围之内。

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