晶圆载运系统、晶圆载具及电子标签模块的制作方法

本实用新型涉及一种晶圆载运系统、晶圆载具及电子标签模块，特别是一种用以载运晶圆载具的晶圆载运系统、设置有电子标签模块的晶圆载具及用以设置于晶圆载具的电子标签模块。

背景技术：

在晶圆制造的过程中，晶圆需要在不同的工作站之间被传送。为了避免晶圆运送过程中，受到外在环境影响，相关厂商多会将晶圆设置于晶圆盒中，借此使晶圆于运送过程中不易受到外在环境影响。为了使相关设备或是人员知道晶圆盒中的晶圆的相关信息，晶圆盒的外部多会设置有一显示单元，以对应显示相关信息。然，显示单元容易有电力不足的问题，当显示单元电力不足时，于其画面中将不会显示任何信息，而相关设备或是人员将无从得知该晶圆盒的相关信息。

技术实现要素：

本实用新型的主要目的在于提供一种晶圆载运系统、晶圆载具及电子标签模块，用以改善现有技术中，晶圆载具的相关显示单元容易发生电力不足，而使得相关设备或人员无从得知晶圆载具的相关信息的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种晶圆载运系统，其包含：多个晶圆载具、一承载盒体、一电子标签模块及多个信息传输装置。各个晶圆载具包含有：一承载盒体及一电子标签模块。承载盒体包含有一座体、一外壳体及一承载结构。承载结构与座体或外壳体相连接，承载结构用以承载多个晶圆片，外壳体能与座体相互固定，以于承载盒体中形成一密闭空间，多个晶圆片则对应设置于密闭空间中。电子标签模块设置承载盒体的外侧，而不位于密闭空间中，电子标签模块包含：一供电单元、一红外线传输组件及一电子纸显示器 (Electronic Paper,ePaper)。红外线传输组件包含有一接收单元及一发送单元，接收单元及发送单元能分别独立运作，而红外线传输组件能透过接收单元及发送单元同时进行信息的传输及接收。电子纸显示器电性连接供电单元及红外线传输组件，电子纸显示器包含有一显示面，显示面能对应显示一晶圆信息；电子纸显示器能于供电单元提供的电压低于一运行电压时，于显示面中显示，在低于运行电压前所显示的晶圆信息。多个信息传输装置设置于多个工作站；各个晶圆载具被运送至每一个工作站时，设置于工作站的信息传输装置的一信息传递单元能传递一更新信息，至各个晶圆载具的接收单元，而各个晶圆载具的电子纸显示器，能对应于显示面显示更新信息，且信息传输装置的一信息接收单元能接收发送单元所传递的信息。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种晶圆载具，其包含：一承载盒体及一电子标签模块。承载盒体包含有一座体及一外壳体，座体用以承载多个晶圆片，外壳体能与座体相互固定，以于承载盒体中形成一密闭空间，多个晶圆片则对应设置于密闭空间中。电子标签模块设置承载盒体的外侧，而不位于密闭空间中，电子标签模块包含：一供电单元、一红外线传输组件及一电子纸显示器。红外线传输组件包含有一接收单元及一发送单元，接收单元能与一外部设备无线连接，以接收一更新信息，接收单元及发送单元能分别独立运作，而红外线传输组件能透过接收单元及发送单元同时进行信息的传输及接收。电子纸显示器电性连接供电单元及红外线传输组件，电子纸显示器包含有一显示面，显示面能对应显示一晶圆信息或更新信息；电子纸显示器能于供电单元提供的电压低于一运行电压时，于显示面中显示，在低于运行电压前所显示的晶圆信息或更新信息。

优选地，各个电子标签模块还包含有一处理单元，处理单元电性连接供电单元，处理单元能于供电单元提供电子纸显示器的电压低于运行电压时，控制电子纸显示器于显示面中显示一低电压警示信息。

优选地，各个晶圆载具还包含有一感测单元，感测单元电性连接供电单元，感测单元能感测晶圆载具是否被载运，以选择性地控制供电单元是否供电给电子纸显示器。

优选地，电子标签模块可拆卸地设置于承载盒体，电子标签模块包含有多个操作单元，电子纸显示器能于其中一个操作单元被操作时，对应显示不同的晶圆信息或更新信息。

优选地，各个工作站还包含有一充电装置，各个充电装置能对晶圆载具的供电单元进行充电。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种电子标签模块，其适以设置于一晶圆载具，电子标签模块包含：一供电单元、一红外线传输组件及一电子纸显示器。红外线传输组件包含有一接收单元及一发送单元，接收单元能与一外部设备无线连接，以接收一更新信息，接收单元及发送单元能分别独立运作，而红外线传输组件能透过接收单元及发送单元同时进行信息的传输及接收。电子纸显示器电性连接供电单元及红外线传输组件，电子纸显示器包含有一显示面，显示面能对应显示一晶圆信息或更新信息；电子纸显示器能于供电单元提供的电压低于一运行电压时，于显示面中显示一低电压警示信息，及显示面在低于运行电压前所显示的晶圆信息或更新信息。

优选地，各个电子标签模块还包含有一处理单元，处理单元电性连接供电单元，处理单元能于供电单元提供电子纸显示器的电压低于运行电压时，控制电子纸显示器于显示面中显示一低电压警示信息。

优选地，各个晶圆载具还包含有一感测单元，感测单元电性连接供电单元，感测单元能感测晶圆载具是否被载运，处理单元能于感测单元感测晶圆载具被载运时，控制供电单元不对电子纸显示器供电，以使电子纸显示器对应显示晶圆载具未被载运前的晶圆信息或更新信息。

优选地，电子标签模块可拆卸地设置于承载盒体，电子标签模块包含有多个操作单元，电子纸显示器能于其中一个操作单元被操作时，对应显示不同的晶圆信息或更新信息；晶圆载具还包含有一无线充电模块，其电性连接供电单元，该无线充电模块能与一外部无线充电模块相互配合，以对供电单元进行充电。

本实用新型的有益效果可以在于：电子纸显示器能于供电单元提供的电压低于一运行电压时，于显示面中显示，在低于运行电压前所显示的晶圆信息或更新信息，借此可以使相关用户于供电单元没电时，仍可于显示面中查看相关信息。

附图说明

图1为本实用新型的晶圆载运系统的示意图。

图2为本实用新型的晶圆载具系统的方块示意图。

图3为本实用新型的晶圆载具的第一实施例示意图。

图4为本实用新型的晶圆载具的第一实施例的局部示意图。

图5为本实用新型的晶圆载具的第二实施例的示意图。

图6、7为本实用新型的晶圆载具的第三实施例的示意图。

具体实施方式

请一并参阅图1及图2，其显示本实用新型的晶圆载运系统的示意图。如图所示，晶圆载运系统1包含有多个晶圆载具10、一传输设备20及多个工作站30。多个晶圆载具10能被传输设备20载运，以于多个工作站30之间移动。所述传输设备20可以是依据实际需求，为机械手臂、传送履带等，于此不加以限制；所述工作站30例如可以是对应对晶圆进行不同制程的工作站30，所述工作站30亦可以是储存晶圆载具10的仓储空间，其可依据需求加以变化。多个工作站30设置有多个信息传输装置31，其用以对各个晶圆载具10进行相关信息的交换。在较佳的应用中，各个工作站30是包含有至少两个信息传输装置31，各个晶圆载具10被运送至工作站30时，信息传输装置31将与晶圆载具10相互交换信息；而后，晶圆载具10被载运而要离开工作站30之前，可以是再次与该工作站30的信息传输装置31进行信息交换。当然，依据实际需求，各个工作站30也可以是仅具有一个信息传输装置31，而可以是在晶圆载具10进入或是离开工作站30时，与晶圆载具10进行信息交换。

各工作站30的信息传输装置31读取各个晶圆载具10的信息后，各工作站30的相关载运设备(例如是机械手臂)将可依据晶圆载具10的相关信息，而对应将晶圆载具10运送至不同的工作站30或是运送至工作站30中特定的位置。换言之，各工作站30的信息传输装置31可以依据晶圆载具10的信息，而对晶圆载具10进行分类，以使不同的晶圆载具10被运送至不同的工作站 30，或是被进行不同的相关处理作业。

请一并参阅图3及图4，各个晶圆载具10可以是包含有一承载盒体11及一电子标签模块12。承载盒体11可以是包含有一座体111、一外壳体112及一承载结构113。承载结构113与外壳体112相连接，承载结构113用以承载多个晶圆片W。外壳体112能与座体111相互固定，以于承载盒体11中形成一密闭空间SP，多个晶圆片W则能对应被设置于密闭空间SP中。在不同的实施例中，承载结构113也可以是与座体111相连接，图中所示仅为示范形式，不以其为限。关于座体111、外壳体112的外型及其彼此间的连接方式，可以是依据需求变化，图中所示仅为其中一种形式。

电子标签模块12设置承载盒体11的外侧，而不位于密闭空间SP中；在实际应用中，电子标签模块12可以是固定设置于座体111或是外壳体112的外侧。电子标签模块12可以包含：一供电单元121、一红外线传输组件122 及一电子纸显示器(Electronic Paper,ePaper)123。供电单元121可以是可反复充电的电池，供电单元121用以提供电子标签模块12的各构件所需的电能。较佳地，供电单元121可以是支持无线充电技术，而可以无线的方式进行充电。

红外线传输组件122用以与各个工作站30的信息传输装置31进行信息交换；在实际应用中，红外线传输组件122包含有一接收单元1221及一发送单元1222，接收单元1221及发送单元1222能分别独立运作，而红外线传输组件122能透过接收单元1221及发送单元1222同时与各个工作站30的信息传输装置31进行信息的传输及接收。相对地，各个工作站30的信息传输装置 31，同样可以是包含有一信息传输单元312及一信息接收单元313，而各个信息传输装置31则能透过信息传输单元312及信息接收单元313，分别与接收单元1221及发送单元1222相互交换信息。

由各个工作站30的信息传输装置31取得一更新信息311，所述更新信息 311可以是晶圆载具10于此工作站30中，所进行的相关处理的信息、时间等。电子纸显示器123电性连接红外线传输组件122及供电单元121，电子纸显示器123包含有一显示面1231，显示面1231能对应显示一晶圆信息1232或是所述更新信息311。特别说明的是，各红外线传输组件122与各信息传输装置 31的信息传输，是兼容半导体通讯协议(SECS/GEM)。在不同的应用中，电子标签模块12也可以是整合设置于座体111或外壳体112中。

电子纸显示器123能于供电单元121提供的电压低于一运行电压时，于显示面1231中显示，在低于运行电压前所显示的晶圆信息1232或更新信息311。换言之，电子纸显示器123可以于显示面1231中显示被断电前的画面，而不会如同一般的LCD屏幕，在断电后画面即呈现为空白。如此，相关用户或是设备在供电单元121提供的电压过低时，仍可于显示面1231中观看晶圆载具10 的相关晶圆信息1232或更新信息311，而不会无从得知晶圆载具10的相关信息。在具体的应用中电子纸显示器123可以是固定于壳体中，但不以此为限；所述电子纸显示器123例如可以是应用微胶囊(Microcapsules)电泳技术、微杯(Microcup)电泳技术、电子粉流体QR-LPD(Quick Response Liquid Powder Display)技术、E-Ink电子纸技术、胆固醇液晶(Cholesteric Liquid Crystal) 技术、电化学反应显示技术、柔性液晶显示技术、色粉显示技术、电润湿

(electrowetting)显示技术和有机发光显示(organic light-emitting diode) 技术等，于此不加以限制。

在较佳的应用中，电子标签模块12可以是包含有一处理单元124，其电性连接供电单元121、电子纸显示器123及红外线传输组件122，处理单元124 可以是于供电单元121提供电子纸显示器123的电压低于所述运行电压时，对应控制电子纸显示器123于其显示面1231中显示一低电压警示信息1233，借此让相关用户或设备可以于显示面1231中得知该晶圆载具10的供电单元121 的电能过低的信息。

在不同实施例中，处理单元124在侦测供电单元121的电能不足时，可以是透过红外线传输组件122传输一充电讯号1241至工作站30，藉以使工作站 30的相关设备能将晶圆载具10运送至特定的位置，以对晶圆载具10的供电单元121进行充电；较佳地，供电单元121及工作站30可以是对应具有无线充电的相关装置，而工作站30接收充电讯号1241时，即可透过能无线充电的充电装置32对晶圆载具10进行充电。在另一实施例中，晶圆载具10于各个工作站30中被载运时或是在工作站30中等待进行相关处理时，工作站30的能无线充电的充电装置32即可对晶圆载具10的供电单元121进行充电，以避免各晶圆载具10的供电单元121发生电能过低的问题。在另一实施例中，用以载运各个晶圆载具10的传输设备20，也可以是设置有相关的无线充电装置，而可以在将载运各个晶圆载具10的过程中，对各个晶圆载具10进行充电。

在不同的应用中，各个晶圆载具10还可以包含有一感测单元125，感测单元125电性连接供电单元121，感测单元125能感测晶圆载具10是否被载运(移动)。当感测单元125感测晶圆载具10被载运(或是载运的速度高于预定速度)时，可以使对应控制供电单元121不对电子纸显示器123供电，以使电子纸显示器123对应显示晶圆载具10未被载运(移动)前的晶圆信息1232或更新信息311。换言之，供电单元121可以仅在电子纸显示器123不被载运(或是载运的速度高于预定速度)的时候提供电能给电子纸显示器123，而电子纸显示器123可以仅在显示面1231更换显示不同信息时才耗费电能，其余时间皆不耗费电能。

请参阅图5，其为本实用新型的晶圆载具的第二实施例的示意图。如图所示，本实施例的晶圆载具10与上述第一实施例最大不同之处在于，各个晶圆载具10的外壳体112可以是具有一卡合结构1121，而电子标签模块12是可拆卸地与卡合结构1121相互卡合。亦即，电子标签模块12可以是可拆卸地设置于承载盒体11。所述卡合结构1121的外型可以是依据需求加以变化，图中所示的仅为其中一示范形式。图中是利用机械结构使电子标签模块12可拆卸地设置于承载盒体11，但不以此为限，在不同的实施例中，电子标签模块12 也可以是利用磁吸或是其他方式，而可拆卸地固定设置承载盒体11。

请一并参阅图6及图7，其为本实用新型的晶圆载具的第三实施例的示意图。如图所示，本实施例与前述实施例最大不同之处在于，各个晶圆载具10 的座体111可以是对应设置于外壳体112的一侧，而非限定设置于外壳体112 的下侧。值得一提的是，前述各实施例中的各晶圆载具10的电子标签模块12 还可以是包含有多个操作单元126，所述电子纸显示器能于其中一个所述操作单元126被操作时，对应显示不同的所述晶圆信息或所述更新信息。