技术总结
一种晶圆载运系统包含多个晶圆载具、承载盒体、电子标签模块及多个信息传输装置。承载盒体用以承载多个晶圆。电子标签模块包含供电单元、红外线传输组件及电子纸显示器。电子纸显示器能显示晶圆信息。电子纸显示器能于供电单元提供的电压低于运行电压时，于显示面中显示在低于运行电压前所显示的晶圆信息。多个信息传输装置设置于多个工作站。各个晶圆载具被运送至每一个工作站时，设置于工作站的信息传输装置能传递更新信息，至各个晶圆载具的红外线传输组件，而各个晶圆载具的电子纸显示器，能对应于显示面显示更新信息。借此可以使相关用户于供电单元没电时，仍可于显示面中查看相关信息。
技术研发人员：叶秀珢;郑吉宸;张*杰
受保护的技术使用者：渴飞股份有限公司
技术研发日：2017.08.03
技术公布日：2018.06.12