一种带有SRAM的驱动IC金属层结构的制作方法

文档序号:14859793发布日期:2018-07-04 06:25阅读:来源:国知局
一种带有SRAM的驱动IC金属层结构的制作方法

技术特征:

1.一种带有SRAM的驱动IC金属层结构,包括:

第一导电层;

第二导电层,与所述第一导电层间隔开,所述第二导电层形成在所述第一导电层上方;

第三导电层,与所述第二导电层间隔开,所述第三导电层形成在所述第二导电层上方;

所述第一导电层和所述第二导电层之间以及所述第二导电层和所述第三导电层之间均形成信号通道。

2.根据权利要求1所述的金属层结构,其特征在于,所述第一导电层和所述第二导电层之间以及所述第二导电层及所述第三导电层之间分别由二氧化硅填充。

3.根据权利要求1所述的金属层结构,其特征在于,在所述第三导电层上方形成钝化层。

4.据权利要求3所述的金属层结构,其特征在于,在所述钝化层上形成引脚框。

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