半导体器件及其封装方法与流程

文档序号:15353482发布日期:2018-09-04 23:37阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供了一种半导体器件及其封装方法。封装方法包括:镀金属层过程:提供芯片和衬底,在芯片的其中一面镀上金属层,在衬底上与芯片预粘合的区域镀上金属层;预烧结过程:利用低温低压烧结工艺,将金属薄膜与芯片的金属层、衬底的金属层预烧结在一起;金属薄膜、芯片的金属层和衬底的金属层的金属为同一金属;烧结过程:利用高温高压烧结工艺,烧结由芯片、金属薄膜和衬底预烧结而成的整体;引线封装过程:将烧结完成的芯片、金属薄膜和衬底连接至引线框架上;模封切筋过程:进行模封,并对模封后的引线框架进行切筋,以得到半导体器件封装结构。

技术研发人员:揭丽平;周福鸣;赵清清;朱贤龙
受保护的技术使用者:深圳赛意法微电子有限公司
技术研发日:2018.03.30
技术公布日:2018.09.04
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