技术特征：
技术总结
本发明公开了属于微储能器件领域的一种金属氧化物与碳纳米管复合的微梳齿结构储能电极。该储能电极为在玻璃基底上溅射集流体层，并刻蚀出梳齿电极结构，涂覆SU‑8胶形成梳齿微流道，在梳齿结构电极表面制备金属氧化物及金属氧化物与碳纳米管复合电极功能薄膜；制备该电极是首先通过刻蚀得到微梳齿结构；通过阴极共电沉积，在微梳齿电极表面沉积金属氧化物与碳纳米管复合功能薄膜，该电极具有独特的微观结构，碳纳米管形成了疏松多孔的空间网络结构，金属氧化物颗粒均匀的分布在碳纳米管空间网络结构的表面，显著提升电极的储能性能。比容量高达208.5mF/cm2，有效提升电容器能量密度、功率密度，可用于超级电容器电极。
技术研发人员：尤政;王晓峰
受保护的技术使用者：清华大学
技术研发日：2018.12.18
技术公布日：2019.04.19