一种自动升降扫描电镜样品座系统的制作方法

文档序号:16281906发布日期:2018-12-14 22:57阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种自动升降扫描电镜样品座系统,其特征在于:包括升降装置、保护装置,升降装置包括样品台(1)、样品台轴承端盖(2)、升降丝杠(3)、蜗轮蜗杆升降机延伸套筒Ⅰ(4)、蜗轮蜗杆升降机延伸套筒Ⅱ、蜗轮蜗杆升降机(5)、转台(7)、电机支架(9)、减速伺服电机(10)、联轴器(11)、输入蜗杆(13),样品台(1)设置在扫描电镜样品室的下部,样品台(1)下端固定设置有样品台轴承端盖(2),升降丝杠(3)的顶端固定设置有丝杠轴承,丝杠轴承与样品台轴承端盖(2)固定连接,蜗轮蜗杆升降机延伸套筒Ⅰ(4)固定设置在蜗轮蜗杆升降机(5)顶端,蜗轮蜗杆升降机延伸套筒Ⅱ固定设置在蜗轮蜗杆升降机(5)的底端,蜗轮蜗杆升降机延伸套筒Ⅰ(4)、蜗轮蜗杆升降机(5)的内部涡轮、蜗轮蜗杆升降机延伸套筒Ⅱ同轴,升降丝杠(3)的下端依次穿过蜗轮蜗杆升降机延伸套筒Ⅰ(4)、蜗轮蜗杆升降机(5)的内部涡轮中心、蜗轮蜗杆升降机延伸套筒Ⅱ,蜗轮蜗杆升降机延伸套筒Ⅱ的底端固定设置在转台(7)上,蜗轮蜗杆升降机(5)的输入蜗杆(13)通过联轴器(11)与减速伺服电机(10)的输出轴连接,减速伺服电机(10)通过电机支架(9)设置在蜗轮蜗杆升降机(5)的一侧,

保护装置包括激光发射器(16)、激光接收器(15),激光发射器(16)、激光接收器(15)分别设置在扫描电镜样品室的左右侧壁上,激光发射器(16)发射的激光束穿过扫描电镜样品室内部照射到激光接收器(15)上。

2.根据权利要求1所述自动升降扫描电镜样品座系统,其特征在于:还包括控制装置,控制装置包括单片机(14)、计算机(17),激光发射器(16)、激光接收器(15)分别通过数据线与单片机(14)连接,减速伺服电机(10)、单片机(14)通过数据线与计算机(17)连接。

3.根据权利要求1所述自动升降扫描电镜样品座系统,其特征在于:蜗轮蜗杆升降机延伸套筒Ⅱ的底端通过套筒连接法兰(6)固定设置在转台(7)上,电机支架(9)通过支架紧固螺栓(8)固定设置在蜗轮蜗杆升降机(5)的一侧,输入蜗杆(13)、减速伺服电机(10)的输出轴均通过紧定螺钉(12)与联轴器(11)固定连接。

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