一种自动升降扫描电镜样品座系统的制作方法

文档序号:16281906发布日期:2018-12-14 22:57阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及一种自动升降扫描电镜样品座系统,属于精密仪器技术领域。该系统包括升降装置、保护装置,升降装置包括样品台、样品台轴承端盖、升降丝杠、蜗轮蜗杆升降机延伸套筒Ⅰ、蜗轮蜗杆升降机延伸套筒Ⅱ、蜗轮蜗杆升降机、转台、电机支架、减速伺服电机、联轴器、输入蜗杆,保护装置包括激光发射器、激光接收器,激光发射器、激光接收器分别设置在扫描电镜样品室的左右侧壁上,激光发射器发射的激光穿过扫描电镜样品室内部照射到激光接收器上。本实用新型的自动升降扫描电镜样品座系统可以实现扫描电镜样品的自动升降和限位保护。

技术研发人员:刘洪喜;张璐璐;张晓伟;刘子峰;赵艳爽
受保护的技术使用者:昆明理工大学
技术研发日:2018.04.26
技术公布日:2018.12.14

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