一种漏极共用的沟槽式双MOS管器件的制作方法

文档序号:16863338发布日期:2019-02-15 19:58阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种漏极共用的沟槽式双MOS管器件,包括衬底(19)以及衬底(19)上方的漂移区(18),在漂移区(18)的表面开设有若干沟槽(13),在沟槽(13)的侧壁以及底部分别设置有沟槽侧壁绝缘层(15)和沟槽底部绝缘层(11),在沟槽(13)内还填充有多晶硅,其特征在于:在所述的沟槽(13)内中部还竖直设置有沟槽中部绝缘层(10),所述的多晶硅包括分别位于沟槽中部绝缘层(10)两侧的第一多晶硅(12)和第二多晶硅(14),自第一多晶硅(12)和第二多晶硅(14)分别引出双MOS管的两个栅极;

在相邻两个沟槽(13)之间自上而下依次形成源区(16)和基区(17),在两个沟槽(13)之间还开设有底层接触孔(6),底层接触孔(6)填充导电材料并自上而下穿过源区(16)进入基区(17)形成MOS结构,在MOS结构的表面设有连接层,连接层与MOS结构连接分别引出双MOS管的两个源极。

2.根据权利要求1所述的漏极共用的沟槽式双MOS管器件,其特征在于:在相邻的两个所述沟槽(13)内,第一多晶硅(12)和第二多晶硅(14)的设置位置相反。

3.根据权利要求2所述的漏极共用的沟槽式双MOS管器件,其特征在于:在相邻的两个所述沟槽(13)中,相对设置的第一多晶硅(12)或第二多晶硅(14)相连。

4.根据权利要求1所述的漏极共用的沟槽式双MOS管器件,其特征在于:所述的连接层包括位于MOS结构表面的底层绝缘层(4)和位于底层绝缘层(4)表面的底层金属层,所述的底层接触孔(6)同时穿过底层绝缘层(4),底层金属层通过底层接触孔(6)接入相对应的MOS结构,并分别引出双MOS管的源极。

5.根据权利要求4所述的漏极共用的沟槽式双MOS管器件,其特征在于:所述的底层金属层包括与底层接触孔(6)一一对应的多段第一底层金属(5)和多段第二底层金属(7),第一底层金属(5)和第二底层金属(7)间隔设置,多段第一底层金属(5)和多段第二底层金属(7)分别引出双MOS管的两个源极。

6.根据权利要求5所述的漏极共用的沟槽式双MOS管器件,其特征在于:所述的连接层还包括顶层金属层,在所述的第一底层金属(5)和第二底层金属(7)之间以及上部填充有顶层绝缘层(3),顶层金属层位于顶层绝缘层(3)的表面,顶层金属层包括第一顶层金属(1)和第二顶层金属(9),第一顶层金属(1)和第二顶层金属(9)通过贯穿顶层绝缘层(3)的顶层接触孔(2)分别与第一底层金属(5)和第二底层金属(7)相连。

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