技术总结
本实用新型涉及一种晶硅太阳能电池刻蚀水膜匀膜装置，包括超声波雾化器，导流管道，分流管道，喷淋管道；导流管道与超声波雾化器的雾化气体出口连通，分流管道与导流管道连通，多个喷淋管道均与分流管道连通，每个喷淋管道的出口端均设有无驱动匀流扇，该无驱动匀流扇包括通过螺丝固定于喷淋管道的三叉支架和与三叉支架连接的轴承，轴承上还连接有多个曲条状匀流扇叶片，多个曲条状匀流扇叶片以轴承为中心均匀分布且可绕轴承旋转。本实用新型利用超声波雾化后的水分子在无驱动匀流扇的驱动下均匀覆盖到硅片表面，预先湿润硅片表面，在之后水膜喷淋时保证硅片表面均匀、完全被水膜覆盖，避免出现因水膜覆盖不均匀造成的返工和降级。
技术研发人员：支凯飞;杨辉;李伟乐;胡学一;吴而义
受保护的技术使用者：洛阳尚德太阳能电力有限公司
技术研发日：2018.08.28
技术公布日：2019.03.22