一种用于承载衬底基片的装置的制作方法

本实用新型实施例涉及LED芯片制造技术领域，具体涉及一种用于承载衬底基片的装置。

背景技术：

外延片生长技术处于LED产业链中的上游环节，是半导体照明产业技术含量最高、对最终产品品质、成本控制影响最大的环节。在MOCVD工艺过程中，为了达到外延片均匀的的要求，需要承载衬底基片的装置旋转，现有用于承载衬底基片的装置包括石墨支撑环和设置在石墨支撑环上并和石墨支撑环同体旋转的石墨基座，石墨支撑环通过连接件和传动件与驱动装置连接，衬底基片放置在石墨基座上。

现有石墨支撑环和石墨基座分别通过若干长方形卡头插入若干卡口内实现同体旋转，由于在高温恶劣的环境中旋转，用于承载衬底基片的装置存在石墨支撑环和石墨基座的连接部强度低而发生变形甚至断裂无法使用，造成旋转不稳定和使用寿命短的问题，从而导致外延片的不均匀和加工成本的提高。

技术实现要素：

为此，本实用新型实施例提供一种用于承载衬底基片的装置，以解决现有的墨支撑环和石墨基座的连接部强度低而导致的石墨基座旋转不稳定和使用寿命短的问题。

为了实现上述目的，本实用新型的实施方式提供如下技术方案：

本实用新型的一个实施中提供一种用于承载衬底基片的装置，所述用于承载衬底基片的装置包括石墨基座和石墨支撑环，石墨基座的顶部设有多个用于放置衬底基片的圆形凹槽，多个圆形凹槽间隔均匀地环形排列，石墨基座的底部设有用于和石墨支撑环连接的环形插头，环形插头设有多个卡头，石墨支撑环的顶部设有用于支撑石墨基座且对石墨基座限位的环形台阶部，环形台阶部的侧壁上设有多个卡口，环形插头正好伸入侧壁内且环形插头的卡头伸入卡口内，环形台阶部的底壁和环形插头的底面接触并支撑石墨基座。

作为优选的，所述卡头和卡口均为三个并间隔均匀排列。

作为优选的，所述卡头为等腰梯形状，所述卡口为和卡头配合的喇叭口状。

作为优选的，所述石墨基座和石墨支撑环的表面均设有碳化硅涂层。

本实用新型的另一个实施中，所述卡头为等腰倒三角形状，所述卡口为和卡头配合的“V”形状。

本实用新型的又一个实施中，所述卡头和卡口均为“W”形状。

根据本实用新型的实施方式，具有如下优点：

本实用新型实施例提供的用于承载衬底基片的装置的石墨基座和石墨支撑环，通过等腰梯形状卡头插入相适配的卡口的配合以及环形插头放置在环形台阶部上，由于等腰梯形状卡头的上底边与石墨基座的连接面积增大，卡头侧面为斜面应力小，实现了增强卡头的强度的效果，在高温恶劣的环境中旋转不易破损或断裂，达到了旋转稳定，使用寿命长的效果。另外，环形插头和环形台阶部的配合起到对石墨基座进一步限位从而使石墨基座旋转稳定的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。

本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

图1为本实用新型的一实施例提供的一种用于承载衬底基片的装置的立体分解结构示意图；

图2为本实用新型的一实施例提供的一种用于承载衬底基片的装置的A-A和B-B的剖视结构示意图；

图3为本实用新型的另一实施例提供的一种用于承载衬底基片的装置的侧视结构示意图；

图4为本实用新型的又一实施例提供的一种用于承载衬底基片的装置的侧视结构示意图；

图中：1-石墨基座；11-圆形凹槽；12-环形插头；121-卡头；2-石墨支撑环；21-环形台阶部；211-侧壁；212-卡口212；213-底壁。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图1和图2所示，为本实施例提供的一种用于承载衬底基片的装置，所述用于承载衬底基片的装置包括石墨基座1和石墨支撑环2，石墨基座1的顶部设有多个用于放置衬底基片的圆形凹槽11，多个圆形凹槽11间隔均匀地环形排列，石墨基座1的底部设有用于和石墨支撑环2连接的环形插头12，环形插头12设有多个卡头121，本实施例中设置了三个卡头121，石墨支撑环2的顶部设有用于支撑石墨基座1且对石墨基座1限位的环形台阶部21，环形台阶部21的侧壁211上设有多个卡口212，本实施例中设置了三个卡口212，环形插头12正好伸入侧壁211内且环形插头12的卡头121伸入卡口212内，环形台阶部21的底壁213和环形插头12的底面接触并支撑石墨基座1。

优选的，所述卡头121和卡口212均为三个并间隔均匀排列。

优选的，所述卡头121为等腰梯形状，所述卡口212为和卡头121配合的喇叭口状。

当然，如图3所示，卡头121也可以为等腰倒三角形状，所述卡口212为和卡头121配合的“V”形状。或如图4所示，卡头121和卡口212均为“W”形状。

优选的，所述石墨基座和石墨支撑环的表面均设有碳化硅涂层，碳化硅涂层起到使石墨基座和石墨支撑环的表面紧致、无空隙、耐高温、抗溶蚀和抗氧化的作用。

虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本实用新型作了详尽的描述，但在本实用新型基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本实用新型精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本实用新型要求保护的范围。