1.一种用于承载衬底基片的装置，其特征在于，所述用于承载衬底基片的装置包括石墨基座(1)和用于与驱动装置连接的石墨支撑环(2)，石墨基座(1)的顶部设有多个用于放置衬底基片的圆形凹槽(11)，多个圆形凹槽(11)间隔均匀地环形排列，石墨基座(1)的底部设有用于和石墨支撑环(2)连接的环形插头(12)，环形插头(12)设有多个卡头(121)，石墨支撑环(2)的顶部设有用于支撑石墨基座(1)且对石墨基座(1)限位的环形台阶部(21)，环形台阶部(21)的侧壁(211)上设有多个卡口(212)，环形插头(12)正好伸入侧壁(211)内且环形插头(12)的卡头(121)伸入卡口(212)内，环形台阶部(21)的底壁(213)和环形插头(12)的底面接触并支撑石墨基座(1)。
2.根据权利要求1所述的一种用于承载衬底基片的装置，其特征在于，所述卡头(121)为等腰梯形状，所述卡口(212)为和卡头(121)配合的喇叭口状。
3.根据权利要求1所述的一种用于承载衬底基片的装置，其特征在于，所述卡头(121)为等腰倒三角形状，所述卡口(212)为和卡头(121)配合的“V”形状。
4.根据权利要求1所述的一种用于承载衬底基片的装置，其特征在于，所述卡头(121)和卡口(212)均为“W”形状。
5.根据权利要求1所述的一种用于承载衬底基片的装置，其特征在于，所述卡头(121)和卡口(212)均为三个并间隔均匀排列。
6.根据权利要求1所述的一种用于承载衬底基片的装置，其特征在于，所述石墨基座(1)和石墨支撑环(2)的表面均设有碳化硅涂层。