技术总结
本实用新型实施例公开了一种用于承载衬底基片的装置，包括石墨基座和石墨支撑环，石墨基座的顶部设有多个用于放置衬底基片的圆形凹槽，石墨基座的底部设有用于和石墨支撑环连接的环形插头，环形插头设有多个卡头，石墨支撑环的顶部设有环形台阶部，环形台阶部的侧壁上设有多个卡口，环形插头正好伸入侧壁内且环形插头的卡头伸入卡口内，环形台阶部的底壁支撑石墨基座。石墨基座和石墨支撑环通过卡头插入相适配的卡口的配合以及环形插头放置在环形台阶部上，由于卡头的上底边与石墨基座的连接面积增大，卡头侧面为斜面应力小，实现了增强卡头的强度的效果，在高温恶劣的环境中旋转不易破损或断裂，达到了旋转稳定使用寿命长。
技术研发人员：李西维;黄建明;詹国彬
受保护的技术使用者：上海东洋炭素有限公司
技术研发日：2018.12.21
技术公布日：2019.07.05