干燥装置及干燥方法与流程

本揭示涉及显示制造技术领域，尤其涉及一种干燥装置及干燥方法。

背景技术：

有机电致发光显示器件(organiclight-emittingdevice，oled)被广泛使用在各个领域，在oled的生产制造中，通常会采用喷墨打印等方法形成有机功能层薄膜。

喷墨打印是利用多个喷嘴将功能材料墨水滴入预定的像素区域，之后通过干燥工艺去除多余的溶剂最终获得所需的薄膜。而这一去除溶剂形成干燥薄膜的工艺过程决定了形成薄膜的形貌的均一性。对于光电显示器而言，干燥后形成的薄膜的形貌均一性对显示器件的寿命和显示效果有较大的影响。现有的干燥工艺及干燥装置中，在进行干燥时，将薄膜放置于较低温度的真空干燥装置内，然后通过单一的抽真空的方式带走薄膜上的多余溶剂，但是，通过单一的抽真空的干燥方式无法将溶剂彻底的抽走，薄膜上还会残留许多溶剂，并且，在干燥装置的底部上还会有溶剂凝聚，干燥过程中，这些凝聚的液滴滴落到薄膜上，污染显示器件，干燥效果不理想。

综上所述，现有的oled显示面板在喷墨打印工艺的干燥工艺中，薄膜上的多余溶剂无法被彻底干燥，同时，在干燥过程中，还会有液滴滴落在薄膜上，干燥完成后，薄膜的形貌不均一，影响显示面板的显示效果。

技术实现要素：

本揭示提供一种干燥装置及干燥方法，以解决现有喷墨打印工艺过程中的干燥装置无法彻底去除薄膜上多余的溶剂，干燥效果不理想，干燥后，薄膜的形貌不均一等问题。

为解决上述技术问题，本揭示实施例提供的技术方案如下：

根据本揭示实施例的第一方面，提供了一种干燥装置，包括：

箱体，所述箱体内设置有干燥腔；

冷凝板，所述冷凝板设置在所述干燥腔内，所述冷凝板的表面设置为弧形面；

第一抽气组件，所述第一抽气组件设置在所述冷凝板的顶部，并连通到所述箱体的外部；

托板，所述托板设置在所述干燥腔内，所述托板设置在所述冷凝板下，且所述托板的长度小于所述冷凝板的长度，所述托板用以支撑基板；以及

第二抽气组件，所述第二抽气组件设置在所述箱体的底部上。

根据本揭示一实施例，所述干燥装置还包括导流槽，所述导流槽设置在所述冷凝板上。

根据本揭示一实施例，所述冷凝板包括调节机构，所述冷凝板沿着所述调节机构移动。

根据本揭示一实施例，所述冷凝板内设置有冷却介质，所述冷却介质为冷却水、冷却液或冷却气中的一种或其组合。

根据本揭示一实施例，所述冷凝板的弧面的弧度为0.01弧度～0.2弧度。

根据本揭示一实施例，还包括顶针，所述顶针设置在所述托盘上。

根据本揭示一实施例，还包括调节阀，所述调节阀设置在所述第一抽气组件和所述第二抽气组件内。

根据本揭示一实施例，所述第二抽气组件设置在所述箱体的所述底部的边缘，所述第二抽气组件内的所述调节阀的气体流速相同，所述第二抽气组件的数量为至少4个。

根据本揭示一实施例，所述箱体的长度为1米～2米、宽度为1米～2米、高度为0.2米～0.5米。

本揭示实施例的第二方面，还提供一种干燥方法，包括如下步骤：

s100：调整冷凝板和托板之间的距离，并调整干燥腔内的温度；

s101：将基板放入到干燥腔内，调整冷凝板与托板之间的距离，并保持干燥腔处于真空状态；

s102：打开第一抽气组件和第二抽气组件，同时通入干燥气体，进行干燥。

s103：排出箱体内的所述干燥气体，完成干燥。

综上所述，本揭示实施例的有益效果为：

本揭示提供一种干燥装置及干燥方法，通过设置弧形的冷凝板，并在冷凝板内设置冷却介质，所述冷凝板的温度可调节，同时，还在干燥装置内设置抽气装置，当进行干燥时，通过抽气装置来控制干燥装置内的气压使溶剂蒸发，凝聚在冷凝板上的液滴会沿着弧形面滴落的干燥箱内，而不会污染到待干燥的薄膜，从而提高干燥效果，保证薄膜的质量。

附图说明

为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是揭示的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本揭示实施例提供的干燥装置内部结构示意图；

图2为本揭示实施例提供的冷凝板的俯视图；

图3为本揭示实施例提供的又一冷凝板的俯视图；

图4为本揭示实施例提供的干燥装置的俯视图；

图5为本揭示实施例的干燥流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本揭示实施例中的附图，对本揭示实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本揭示一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本揭示中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本揭示保护的范围。

在本揭示的实施例中，如图1所示，图1为本揭示实施例提供的干燥装置内部结构示意图。所述干燥装置包括箱体100以及内部的干燥器件。箱体100内为真空干燥腔，具体的，干燥器件包括：设置在箱体100内的冷凝板101、托板102、基板106、调节机构107、第一抽气组件104以及第二抽气组件105。上述干燥器件都设置在箱体100的干燥腔内，冷凝板101设置在干燥腔的最上部，托板102设置在冷凝板101下方，冷凝板101与托板102之间的距离预留在3毫米～200毫米之间，为了保证干燥的效果，设置调节机构107，调节机构107设置在冷凝板101的中心，并与箱体100相连接固定，冷凝板101沿着调节机构107可上下移动，根据具体的干燥产品进行设定，以此调节冷凝板101与托板102之间的距离。进一步的，冷凝板101还可在调节机构107的作用下，相对托板102进行左右移动，达到最佳的干燥效果。

在干燥时，基板106放置在冷凝板101与托板102之间，可放置在托板102上。同时，在冷凝板101的顶部还设置有第一抽气组件104，第一抽气组件104上开设有通气孔，并且第一抽气组件104与箱体100的外部相连接，这样以便进行抽气。在箱体100的底部边缘区域还设置有多个第二抽气组件105，保证对箱体100内部的气流及压强准确的控制。

所述干燥装置还包括顶针103，顶针103设置在托板102上，在放置待干燥的基板106时，所述顶针103用以支撑基板106，使其下表面露出，以保证干燥的效果。

如图5所示，图5为本揭示实施例的干燥流程示意图。本揭示实施例提供的干燥装置进行干燥时，其干燥流程包括如下步骤：

s100：调整冷凝板和托板之间的距离，并调整干燥腔内的温度；

s101：将基板放入到干燥腔内，调整冷凝板与托板之间的距离，并保持干燥腔处于真空状态；

s102：打开第一抽气组件和第二抽气组件，同时通入干燥气体，进行干燥。

s103：排出箱体内的所述干燥气体，完成干燥。

具体的，首先进行预调节：调整冷凝板101与托板102之间的距离，调整合适后，再将箱体100内的温度调节到指定温度范围内，此时第一抽气组件104和第二抽气组件105均处于关闭状态。

准备工作完成后，打开箱体100的腔门，将基板106放置在托板102的顶针103上，并再次调节托板102与冷凝板101之间的距离，此时，保持腔内低温真空状态，并关闭第一抽气组件104和第二抽气组件105。

待干燥的基板106放置完成后，打开第一抽气组件104和第二抽气组件105，依制程要求通入氮气或者其他气体，在进行具体操作时，先打开第二抽气组件105，这样，冷凝在冷凝板101微弧形结构的液滴会在气流的引流作用下冷凝至冷凝板101的四周端部，避免了滴落至基板106上。

最后，打开第一抽气组件104，使箱体100内通入的气体从第一抽气组件104的通气孔处快速排出。完成整个干燥流程。

冷凝板101的材质可为不锈钢、陶瓷材料、高分子材料或者其他，在干燥时，其温度调节范围为-10℃～60℃；托板102的材料为不锈钢或陶瓷等材料，在进行干燥时，托板102的温度调节范围为25℃～80℃。

具体的，所述冷凝板101的表面可设置为一弧形面。如图1所示，冷凝板101的下表面向其上表面凹陷，形成一微凹形结构。在对薄膜进行干燥时，薄膜上的多余溶剂蒸发到所述冷凝板101上并聚集成液滴，由于冷凝板101具有一定的倾斜弧度，液滴沿着冷凝板101的下表面的弧度向其四周端部流动，最终滴落到箱体的边缘位置上，而不会直接滴落到被干燥的基板106上，不会对基板106二次污染。冷凝板101的上下表面的弧度可为0.01弧度～0.2弧度，弧度的大小可根据干燥腔的大小进行具体调节。

为了保证冷凝的效果，冷凝板101内还设置有冷却介质，所述冷却介质可为冷却水、冷却液或者冷却气体中的一种或者其几种混合物，以加速蒸汽的凝结速率，所述箱体100的整体尺寸可为：长度为1米～2米、宽度为1米～2米、高度为0.2米～0.5米。

具体的，冷凝板101的轮廓形状可为圆形或者方形结构。如图2所示，图2为本揭示实施例提供的冷凝板的俯视图。此时，冷凝板200为一具有弧度的圆形板，第一抽气组件202设置在冷凝板200的中间位置，以便与外部的通气孔相连接。

如图3所示，图3为本揭示实施例提供的又一冷凝板的俯视图。此时，冷凝板300的轮廓为一方形结构，冷凝板300的上下面均具有一定的微弧度，以便冷凝的蒸汽流出。第一抽气组件302也设置在冷凝板300的中间区域上。

同时，冷凝板300还设置有导流槽301，所述导流槽301设置在冷凝板300的表面上，与托板相对，导流槽301能对冷凝板300上凝聚的水汽进行疏通导流，使水汽沿着导流槽301向冷凝板300的边缘区域流动，而不至于再在滴落到干燥的基板上，影响干燥效果。在设置导流槽301时，沿着冷凝板300的中心向冷凝板300的边缘区域设置，导流槽301可设置多条，还可呈中心对称的方式进行设置，为了提高导流的效果，每个导流槽301内的宽度可以相同，或者每个导流槽301从中心到边缘的宽度逐渐增大，根据干燥需要进行具体设置。

如图4所示，图4为本揭示实施例提供的干燥装置的俯视图。结合图1所示的干燥装置整体视图，所述干燥装置内包括：箱体的底部400、冷凝板401、托板402、第一抽气组件403以及第二抽气组件404。为了保证干燥效果，托板402的长度小于冷凝板401的长度，即冷凝板401向下投影时，托板402完全处于其投影区域内，这样，凝聚在冷凝板401端部区域的液滴不至于滴落到托板402上的基板上。优选的，冷凝板401与托板402相比，冷凝板401的四周长度比托板402的长度长2厘米～15厘米。

底部400上还设置有第二抽气组件403，第二抽气组件403设置在底部400的四周边缘区域，至少设置为4个，优选的，可沿着底部400的中心呈对称偶数个设置。其中，第一抽气组件404以及第二抽气组件403还包括调节阀，所述调节阀可调控气体流速的大小，以便对箱体内的气压进行调控。其调节阀的孔径的直径为10毫米～100毫米，优选的为10毫米～50毫米，底部的第二抽气组件403与冷凝板上的第一抽气组件形成一个气路控制调节系统，该系统在工作时，通过抽气动作以及调节阀的控制，使内部溶液能快速均匀的挥发。

以上对本揭示实施例所提供的一种干燥装置及干燥方法进行了详细的介绍，以上实施例的说明只是用于帮助理解本揭示的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本揭示各实施例的技术方案的范围。