一种高位加料装置的制作方法

本实用新型涉及到半导体加工加料装置领域，特别是一种高位加料装置。

背景技术：

半导体加工过程中，光刻工艺是不可缺少的一步，光刻工艺离不开光刻胶，在添加光刻胶时，需要人工举升35公斤左右的金属加料桶，举升高度450mm，并需要翻转倾倒粘稠的光刻胶，金属加料桶重量大，需要操作员站在两级的踏步上举升进行操作，由于光刻胶粘度大，流动性不好，在倾倒光刻胶时需要保持倾倒姿势，劳动强度较大,踏步占用操作空间。

为克服以上问题，采用机械取代人工的方式进行加料，通过气缸的伸缩实现加料桶的举升、翻转、卸料与复位。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种高位加料装置，可以实现高位加料机械化，节省人力，减少占地空间。

为达到以上目的，提供以下技术方案：

一种高位加料装置，其特征在于，结构包括固定架、u型支架、旋转篮、双导杆气缸、链条，所述旋转篮、u型支架、双导杆气缸、固定架自上而下依次连接，所述链条一端与旋转篮铰接，另一端与固定架固定连接，所述固定架结构包括固定架本体与可调节脚杯，所述固定架本体为方管柱固定连接组成的长方体架体，所述固定架本体的内部沿对角方向固定连接有一块长方形的固定板，所述固定架本体的底部四角分别固定连接有一个可调节脚杯，所述双导杆气缸位于固定架本体的内部并竖直固定连接到固定板的一侧面，所述u型支架为u型结构，且其顶部两侧分别设有一处半圆形缺口，所述u型支架的底部与双导杆气缸的顶部固定连接，所述旋转篮为方管柱固定连接组成的阶梯型结构，且其一侧设有开口，所述旋转篮的中部两侧各设有一处旋转轴，所述旋转轴活动安装在u型支架的半圆形缺口处，进而实现旋转篮与u型支架的活动连接。

优选地，所述两处旋转轴与两处半圆形缺口的轴线均在同一直线上。

优选地，所述旋转篮的底部还设有限位轴，旋转篮呈竖直状态时，限位轴抵接在u型支架的下部。

优选地，所述旋转篮的上部还设有连接轴，连接轴与链条的一端铰接，进而实现链条与旋转篮铰接。

优选地，所述链条具有一定长度，旋转篮升到一定高度时，链条呈伸直状态，从而对旋转篮的上升高度起到限定作用。

本实用新型的有益效果为：

1.本实用新型通过双导杆气缸驱动来实现高位加料的全过程，节省了人工，减少了劳动强度

2.本实用新型占地面积小，不需要踏步，节省了有限空间。

3.本实用新型加料时，旋转篮的角度可控，方便调节加料的速度与角度。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型中旋转篮的结构示意图；

图3为本实用新型中u型支架的结构示意图；

图4为本实用新型实施例的示意图；

图5为本实用新型实施例使用过程的示意图；

图中所示附图标记为：1-固定架本体，2-双导杆气缸，3-链条，4-u型支架，5-旋转篮，6-可调节脚杯，7-限位轴，8-旋转轴，9-连接轴，10-半圆形缺口。

具体实施方式

以下结合附图对本设计方案进行详细说明。

如图1～3所示，一种高位加料装置，结构包括固定架、u型支架4、旋转篮5、双导杆气缸2、链条3，其中旋转篮5、u型支架4、双导杆气缸2、固定架自上而下依次连接，链条3一端与旋转篮5铰接，另一端与固定架固定连接，固定架结构包括固定架本体1与可调节脚杯6，固定架本体1为方管柱固定连接组成的长方体架体，固定架本体1的内部沿对角方向固定连接有一块长方形的固定板11，固定架本体1的底部四角分别固定连接有一个可调节脚杯6，其中双导杆气缸2位于固定架本体1的内部并竖直固定连接到固定板11的一侧面，u型支架4为u型结构，且其顶部两侧分别设有一处半圆形缺口10，其中u型支架4的底部与双导杆气缸2的顶部固定连接，其中旋转篮5为方管柱固定连接组成的阶梯型结构，且其一侧设有开口，旋转篮5的中部两侧各设有一处旋转轴8，旋转轴8活动安装在u型支架4的半圆形缺口10处，进而实现旋转篮5与u型支架4的活动连接。

其中，两处旋转轴8与两处半圆形缺口10的轴线均在同一直线上，以实现旋转篮的翻转。

其中，旋转篮5的底部还设有限位轴7，旋转篮5呈竖直状态时，限位轴7抵接在u型支架4的下部，防止旋转篮向反方向翻转。

其中，旋转篮5的上部还设有连接轴9，连接轴9与链条3的一端铰接，进而实现链条9与旋转篮5铰接。

其中，链条3具有一定长度，旋转篮5升到一定高度时，链条3呈伸直状态，从而对旋转篮5的上升高度起到限定作用。

其中，双导杆气缸2伸长到极限状态时，旋转篮5的最大翻转角度为120°，以保证加料桶不会因倾斜角度过大而掉落。

实施例

如图4所示，使用前安装整个高位加料装置，首先将可调节脚杯6分别固定安装在固定架本体1的底部四角处，然后将双导杆气缸2与固定架本体1的固定板侧面固定连接，将u型支架4固定连接到双导杆气缸2的顶部，然后将旋转筐5的旋转轴8对准u型支架4的半圆形缺口10，放入旋转篮5，最后将链条3一端与连接轴9铰接，另一端固定到固定板11上，调节可调节脚杯6的高度，使整个装置平稳、不晃动，整体装置连接完毕。

使用时，在双导杆气缸2处于压缩状态时，将加料桶放入旋转篮5内，出料口向上，启动双导杆气缸2的开关后，如图5所示，双导杆气缸2伸长，带动u型支架4、旋转篮5、加料桶共同举升，达到链条3的长度限制，旋转篮5在链条3的牵引下，逆时针进行翻转，达到一定角度，从而使得加料桶达到卸料的状态，物料倾倒完毕，收缩双导杆气缸2，u型支架4、旋转篮5、加料桶共同下降，达到适宜高度，卸下加料桶，使旋转篮5复位，达到如图4所示的待使用状态，整个高位加料的过程结束。