立式瓦片舟的制作方法

1.本实用新型涉及晶片加工领域，尤其涉及一种立式瓦片舟。


背景技术：

2.目前生产过程中使用的舟，包含针对不同晶圆尺寸不同的舟，由于生产产品多样性及不同时段不同需求量，生产过程需配置多于正常使用的舟，且不便于生产产品的搭配（如不同直径的晶片同时生产工作），导致治具的浪费和较大的投入，同时受作业环境特定要求，治具的存放还需增加更多的投入便于有效保持清洁，导致更大的投入，且不便于生产管理。


技术实现要素：

3.本实用新型针对以上问题，提供了一种结构简单，方便加工，提高适应性的立式瓦片舟。
4.本实用新型的技术方案为：包括瓦形舟体，所述舟体的两侧均间隔设有定位槽，两侧定位槽内设有挡板，相邻挡板之间用于放置晶片；
5.所述舟体的底面为平面，所述舟体的中间设有水平底槽。
6.所述舟体的一端设有推拉孔，所述推拉孔位于底槽的底部，
7.所述推拉孔位于最外端挡板的外侧。
8.所述定位槽为长条形槽，所述定位槽内设有嵌块一和嵌块二，所述挡板位于嵌块一和嵌块二之间。
9.还包括连接块，所述连接块可拆卸连接在定位槽内，所述连接块用于封闭定位槽。
10.本实用新型在工作中，通过在舟体上设置定位槽，将挡板放置在定位槽内，这样，相邻挡板之间用于放置晶片，而且，不同尺寸规格的晶片可放置在不同位置的相邻挡板之间，提高适应性。
11.将舟体的底面设置成平面，便于舟体水平稳定放置；同时，在舟体中间设置底槽，便于在扩散（如磷扩散）加工时，排出磷酸。
12.本实用新型方便加工，操作可靠。
附图说明
13.图1是本实用新型的结构示意图一，
14.图2是本实用新型的结构示意图二，
15.图3是本实用新型的工作状态图，
16.图4是嵌块一和嵌块二的连接结构示意图，
17.图中1是舟体，2是定位槽，3是挡板，4是晶片，5是平面，6是底槽，7是推拉孔，8是嵌块一，9是嵌块二。
具体实施方式
18.本实用新型如图1
‑
4所示，包括瓦形舟体1，所述舟体1的两侧均间隔设有定位槽2，两侧定位槽内设有挡板3，相邻挡板之间用于放置晶片4；
19.所述舟体的底面为平面5，所述舟体的中间设有水平底槽6。
20.本实用新型在工作中，通过在舟体上设置定位槽，将挡板放置在定位槽内，这样，相邻挡板之间用于放置晶片，而且，不同尺寸规格的晶片可放置在不同位置的相邻挡板之间，提高适应性。
21.将舟体的底面设置成平面，便于舟体水平稳定放置；同时，在舟体中间设置底槽，便于在扩散（如磷扩散）加工时，排出磷酸。
22.所述舟体的一端设有推拉孔7，所述推拉孔位于底槽的底部，
23.所述推拉孔7位于最外端挡板的外侧。
24.设置推拉孔便于推拉舟体；同时，推拉孔与底槽连通，便于后续排出作业。
25.所述定位槽2为长条形槽，所述定位槽内设有嵌块一8和嵌块二9，所述挡板位于嵌块一和嵌块二之间。
26.由于嵌块一、二的尺寸规格不同，通过设置嵌块一、二的连接形式，便于调整挡板的位置，适应晶片加工数量的要求。
27.还包括连接块，所述连接块可拆卸连接在定位槽内，所述连接块用于封闭定位槽。
28.通过设置连接块，便于根据工作需要进行选择封闭相应的定位槽，提高晶片排片量。
29.对于本案所公开的内容，还有以下几点需要说明：
30.（1）、本案所公开的实施例附图只涉及到与本案所公开实施例所涉及到的结构，其他结构可参考通常设计；
31.（2）、在不冲突的情况下，本案所公开的实施例及实施例中的特征可以相互组合以得到新的实施例；
32.以上，仅为本案所公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，本案所公开的保护范围应以权利要求的保护范围为准。