一种通用型直热式六硼化镧阴极的制作方法

文档序号:94440阅读:734来源:国知局
专利名称:一种通用型直热式六硼化镧阴极的制作方法
本发明涉及电子源领域,与电照明有关。
附图1为已有的直热式六硼化镧阴极,其结构分为六硼化镧晶体〔1〕、热介石墨〔2〕、金属支架〔3〕、紧固螺钉〔4〕、〔7〕、陶瓷绝缘架〔5〕、引出电极〔6〕等七部份。六硼化镧晶体及热介石墨用两个凹形的不锈钢夹住,两侧用两个螺钉〔4〕紧固。此种阴极由于凹形不锈钢支架的结构复杂,加工难度大,成本较高;热容量大,加热功率较大。而且与发叉式钨丝阴极直接互换使用困难。
本发明针对上述缺点作了改进。附图2是改进后的六硼化镧阴极。图中1为六硼化镧晶体,2为热介石墨,3为金属支架,4为耐热绝缘垫,5为紧固螺钉,6为陶瓷绝缘架,7为引出电极。
本发明可用任何没有钨丝的发叉式阴极支架改制而成。要点在于金属支架为两个L形金属件并列成
形,用耐高温金属材料制成。金属支架底部连接在由陶瓷绝缘架〔6〕和引出电极〔7〕组成的常规发叉式钨丝阴极支架上,六硼化镧晶体以及其两侧之热介石墨,通过一枚紧固螺钉夹紧在两个L形金属件上部间隙之间,紧固螺钉与其中一个L形金属件之间用耐热绝缘体(如陶瓷)绝缘。
改进后的六硼化镧阴极结构简单,易于加工,成本低,加热功率较小。同时,由于借用了常规发叉式钨丝阴极支架,因此可以与各种钨丝阴极互换使用,通用性强,因而具有显著的优点及较高的经济效益。
本发明可用于各种电子显微镜及电子束仪器。
权利要求
一种直接加热式六硼化镧阴极,由六硼化镧晶体[1]、热介石墨[2]、金属支架[3]、紧固螺丝[5]、陶瓷绝缘架[6]、引出电极[7]等七部份组成。其特征在于金属支架为两个L形金属件并列成
形,底部连接在由陶瓷绝缘架[6]和引出电极[7]组成的常规发叉式钨丝阴极支架上。一枚紧固螺钉把置于两个L形金属件上部间隙之间的六硼化镧晶体及其两侧的热介石墨夹紧。紧固螺钉与其中一个L形金属件之间用耐热绝缘体(如陶瓷)绝缘。
专利摘要
一种通用型直热式六硼化镧阴极,本实用新型属于电子源领域,与电照明有关;其特点是两个L形耐高温金属件紧固在常规发叉式钨丝阴极支架上,用一枚螺钉将六硼化镧晶体及热介石墨紧固在两个L形金属件上部间隙之间,螺钉通过绝缘体与其中一L形金属件绝缘。本装置具有结构简单,易于加工,成本低、通用性强等优点,适用于各种电子显微镜及电子束仪器。
文档编号H01J1/13GK85200368SQ85200368
公开日1985年11月10日 申请日期1985年4月1日
发明者曾朝伟, 李文恩 申请人:中国科学院科学仪器厂导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan
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