线圈元件的制造方法【
技术领域：
】[0001]本发明涉及一种线圈元件的制造方法，尤其涉及一种使用能以有机溶剂溶解的树脂模具来制造线圈(COil)元件的方法。【
背景技术：
】[0002]近年来，伴随智能电话(smartphone)或平板(tablet)终端等移动(mobile)设备的多功能化，小型且能够处理高额定电流的线圈零件(电感器(inductor))的必要性提高。[0003]作为此种线圈零件的制造方法，已知有使用转印用金属模具的方法，该方法是使用在表面刻印有反转线圈元件图案(pattern)的金属模具，通过电镀而在该金属模具内形成线圈元件之后，从该金属模具剥离线圈元件并转印至零件基板。[0004]作为不使用金属模具的方法，已知有下述方法，即:在基板上形成镀敷抗蚀剂(resist)图案后，通过电镀形成线圈元件图案，去除镀敷抗蚀剂图案后，转印至片材(sheet)状磁性体层上。[0005]由于所述方法均是通过转印来形成线圈元件，因此存在下述问题，S卩，容易产生伴随线圈元件的剥离/转印引起的导体图案的颠倒或脱落。[0006]另一方面，在专利文献I中也公开了不使用金属模具而使用树脂模具的方法。该方法不转印而是直接使用形成在该树脂模具内的线圈元件。[0007]而且，在专利文献2中公开了:在金属基板上形成线圈导电体后，剥离该金属板，由此来制造线圈导体，所述线圈导电体包含埋设在感光性绝缘树脂部内的导电体主部与导电体盖部。[0008]现有技术文献[0009]专利文献[0010]专利文献1:日本专利特开2005-191408号公报[0011]专利文献2:日本专利特开2006-332147号公报【
发明内容】[0012][发明所要解决的问题][0013]所述专利文献1、2中公开的线圈零件的制造方法均未伴随线圈元件图案的剥离/转印，因此不会产生导体图案的颠倒或脱落的问题。[0014]但是，专利文献I所公开的方法中，在线圈零件形成后直接使用树脂模具，因此单个线圈零件的厚度变厚，尤其在制作层叠的线圈零件的情况下，有零件体积变大的问题。[0015]而且，专利文献2所公开的方法中，由于要在绝缘性树脂部的内层部形成埋设于感光性绝缘部中的导电体主部，因此仍存在单个线圈零件的厚度变厚的问题。[0016]本发明是为了解决所述问题而完成，其目的在于提供一种线圈元件的制造方法，其使用树脂模具，无须伴随剥离/转印便能够制作线圈元件，且能够使线圈元件的厚度较薄。[0017][解决问题的技术手段][0018]所述问题可通过以下的本发明而达成。[0019]本发明的第I方案涉及使用能以有机溶剂溶解的树脂模具来制造线圈元件的方法，所述方法的特征在于包括如下步骤:准备树脂模具，所述树脂模具在表面刻印有反转线圈元件图案；在所述树脂模具的表面形成金属种子(seed)膜；去除未形成有所述反转线圈元件图案的区域的所述金属种子膜；将所述金属种子膜作为基底，通过第I电镀形成中心导体膜，所述中心导体膜填埋刻印有所述反转线圈元件图案的区域；以及使所述树脂模具溶解而取出所述中心导体膜。[0020]本发明的第2方案涉及使用能以有机溶剂溶解的树脂模具来制造线圈元件的方法，所述方法的特征在于包括如下步骤:准备树脂模具，所述树脂模具在表面刻印有反转线圈元件图案；在所述树脂模具的表面形成金属种子膜；在未形成有所述反转线圈元件图案的区域形成绝缘膜；将所述金属种子膜作为基底，通过第I电镀，以填埋刻印有所述反转线圈元件图案的区域且停留于所述绝缘膜内的方式而形成中心导体膜；去除所述绝缘膜；使所述树脂模具溶解，取出所述中心导体膜与所述金属种子膜；以及去除所述金属种子膜。[0021]本发明的第3方案涉及使用能以有机溶剂溶解的树脂模具来制造线圈元件的方法，所述方法的特征在于包括如下步骤:在金属基板上准备树脂模具，所述树脂模具在表面，以反转线圈元件图案的底面不会到达所述金属基板的深度而刻印有所述反转线圈元件图案；进行蚀刻而去除所述底面下的树脂，直至所述反转线圈元件图案的所述底面到达所述金属基板为止；将所述金属基板作为基底，通过第I电镀，以填埋刻印有所述反转线圈元件图案的区域且停留于所述树脂模具内的方式而形成中心导体膜；使所述树脂模具溶解；以及从所述金属基板剥离所述中心导体膜。[0022]本发明的第4方案涉及使用能以有机溶剂溶解的树脂模具来制造线圈元件的方法，所述方法的特征在于包括如下步骤:准备第2模具，所述第2模具是将刻印有线圈元件图案的第I模具密接载置于金属基板上；向所述第2模具内注入树脂，使所述树脂填充至所述第I模具内并使所述树脂固化；去除所述第I模具，制作形成有反转线圈元件图案的树脂模具；将所述金属基板作为基底，通过第I电镀，以填埋形成有所述反转线圈元件图案的区域的方式而形成中心导体膜；使所述树脂模具溶解；以及从所述金属模具剥离所述中心导体膜。[0023]根据本发明的第I方案至第4方案中的任一方案，其特征在于还包括如下步骤:将取出的所述中心导体膜作为基底，通过第2电镀而形成包覆所述中心导体膜的表面导体膜，形成包含所述中心导体膜与所述表面导体膜的线圈元件。[0024]根据本发明的第I方案至第3方案中的任一方案，其特征在于，通过压印(imprint)或热压制(press)来制作所述表面刻印有反转线圈元件图案的树脂模具。[0025]而且，根据本发明的第I方案或第2方案，其特征在于，所述树脂模具是由热塑性树脂所制作，所述热塑性树脂是聚甲基丙稀酸甲醋(PolymethylMethacrylate，PMMA)、聚碳酸醋(Polycarbonate，PC)或环稀径聚合物(CycloolefinPolymer,COP)中的任一种。[0026]根据本发明的第I方案或第2方案，其特征在于，所述金属种子膜包含Cu、N1、Sn或Al中的任一种，所述金属种子膜是通过蒸镀、派镀(sputter)或化学气相沉积(ChemicalVaporDeposit1n，CVD)中的任一种而形成。[0027]而且，根据本发明的第I方案至第4方案中的任一方案，其特征在于，所述第I电镀为镀铜，所述第2电镀为镀铜。[0028]根据本发明的第I方案，其特征在于，所述未形成有反转线圈元件图案的区域中的所述金属种子膜的去除是通过镶嵌(damascene)法或研磨来进行。[0029]而且，根据本发明的第3方案，其特征在于，所述蚀刻为干式蚀刻(dryetching)，所述蚀刻为湿式蚀刻(wetetching)，所述树脂模具是在层叠成两层的上层侧的第I树脂与下层侧的第2树脂中制作，所述第I树脂包含聚丙稀(Polypropylene，PP)，所述第2树脂包含聚甲基丙稀酸甲醋或聚对苯二甲酸乙二醇醋(PolyethyleneTerephthalate,PET)ο[0030]进而，根据本发明的第3方案或第4方案，其特征在于，所述金属基板包含N1、不锈钢(SteelUseStainless，SUS)或Ni合金。[0031]而且，根据本发明的第4方案，其特征在于，所述第I模具包含Si。[0032](发明的效果)[0033]根据本发明，在线圈元件形成后，通过有机溶剂来溶解去除用于制造线圈元件的树脂模具，因此能够使所制作的线圈元件的厚度较薄，且能够容易地制造。【附图说明】[0034]图1是表示本发明的第I实施例的线圈元件的制作工序的图。[0035]图2是表示本发明的第2实施例的线圈元件的制作工序的图。[0036]图3是表示本发明的第3实施例的线圈元件的制作工序的图。[0037]图4是表示本发明的第4实施例的线圈元件的制作工序的图。[0038]图5是表示本发明的第5实施例的线圈元件的制作工序的图。[0039]图6是本发明的使用消耗型模具基板而制作的线圈元件集合体的平面图。[0040]图7是表示将多片线圈元件集合体层叠的状态的图。[0041]图8是将多片线圈元件集合体层叠，并将各层的线圈元件彼此连接而形成线圈的说明图。[0042]图9是表示使用上部芯材(core)与下部芯材来密封线圈的状态的图。[0043]图10是表示线圈内填充有绝缘物质的状态的图。[0044]图11是表示以线圈为单位来切断层叠的线圈元件集合体的切割(dicing)的图。[0045]图12是表示在电极引出部安装外部电极而形成线圈零件的工序的图。【具体实施方式】[0046]以下，按照附图来详细说明本发明。[0047]实施例1[0048]图1是表示本发明的第I实施例的线圈元件的制作工序的图。[0049]本发明中，使用能以有机溶剂溶解的树脂模具来制造线圈元件。形成在该树脂模具内的线圈元件在其形成后，通过使树脂模具溶解而被取出。因而，此种树脂模具可称作消耗型模具。[0050]首先，如图1a所示，准备表面刻印有反转线圈元件图案102的树脂模具100。作为树脂模具100的材料，只要是能以有机溶剂溶解的材料即可，可使用PMMA、PC、COP等热塑性树脂。[0051]而且，反转线圈元件图案102是在树脂模具100的表面通过压印或热压制而制作。[0052]接下来，如图1b所示，以覆盖树脂模具100表面的方式形成金属种子膜104，以备后续工序中的电铸(电镀)处理。作为用于金属种子膜104的金属，使用Cu、Sn、N1、Ag当前第1页1 2 3