护，如图1所示，刻蚀腔室2的顶部形成有维护入口，所述刻蚀装置包括盖板9，盖板9覆盖在所述维护入口上，以形成为刻蚀腔室2的顶壁的至少一部分，液滴去除组件10设置在盖板9的朝向刻蚀腔室的表面上，从而将盖板9的朝向刻蚀腔室的表面上的液滴去除。
[0041]液滴去除组件10可以通过不同的方式去除液滴，比如，通过吸附层进行吸附，或者利用刷片将液滴刮落。作为本发明的一种【具体实施方式】，如图2所示，液滴去除组件10包括刷片101，刷片101能够在刻蚀开始前或刻蚀结束后沿盖板9的朝向所述刻蚀腔室的表面与盖板9发生相对移动，以使得盖板9的朝向刻蚀腔室的表面上的液滴被刷落至刻蚀腔室2内。
[0042]由于刷片101的移动是在刻蚀开始前或刻蚀结束后进行的，刻蚀腔室内并不设置基板，因此，即使液滴从盖板上脱落，也不会滴在基板上。当对基板进行刻蚀时，由于盖板上的液滴已经脱落，刻蚀过程中聚集在盖板上的液滴还比较小，滴落的可能性较小。因此，可以减少液滴滴在基板上的现象发生，改善刻蚀效果。
[0043]刷片101上可以设置刷毛、海绵层等柔软的结构，以使得当刷片沿盖板9的朝向刻蚀腔室的表面移动时，可以利用刷毛将液滴刷落，或者利用海绵层将液滴吸附，且不会对盖板底面产生磨损。
[0044]当刷片上不设置上述刷毛、海绵层等结构时，刷片101与盖板之间可以存在一定的间隙，具体地，间隙可以在O?3mm内，以减少刷片101与盖板之间的摩擦，减少盖板和刷片受到的损伤。并且当刷片101与盖板之间的间距在O?3mm时，经刷片101的刷片的去除后，保留在盖板上的液滴体积较小，不会滴落。
[0045]本发明中，可以通过手动带动刷片101的移动，也可以通过电机带动刷片自动移动。优选地，液滴去除组件10还可以包括至少一个传动机构105，传动机构105设置在盖板9的朝向刻蚀腔室的表面上，如图3所示，传动机构105包括主动轮105a、从动轮105b、套在主动轮105a和从动轮105b上的皮带105c，液滴去除组件10还包括用于驱动主动轮105a转动的电机102，刷片101设置在皮带105c上，刷片101的长度方向与皮带105c的延伸方向相交叉。电机102运行时带动主动轮105a转动，从而带动皮带运转，从而带动刷片101移动。
[0046]为了便于刷片的安装以及传动机构的维护，如图2和图3所示，传动机构105还包括安装件105d，安装件105d可拆卸地设置在皮带105c上，例如，将皮带的一端与安装件105d的一端可拆卸地连接，皮带的另一端与安装件105d的另一端可拆卸地连接，从而形成封闭地环状结构。刷片101固定在安装件105d上。当进行传动机构的维护或需要更换刷片时，只需要将安装件105d从皮带上拆卸下来即可。
[0047]进一步地，液滴去除组件10包括两个间隔设置的传动机构105，刷片101的两端分别设置在两个传动机构的安装件105d上，以在电机的带动下稳定移动。其中，两个皮带105c可以平行设置，刷片101与两条皮带105c垂直。
[0048]更进一步地，如图2所示，液滴去除机构10还可以包括传动轴103，传动轴103将电机102输出的动力传递至主动轮105。具体地，可以在电机的输出轴上设置传动齿轮，在传动轴103靠近电机的一端设置有从动齿轮，所述从动齿轮与所述传动齿轮啮合。将主动轮105设置在传动轴103上，电机102运行时通过传动轴103带动两个主动轮105a同时转动。
[0049]更进一步地，所述刻蚀装置还包括用于检测基板位置的基板检测器件和控制器，当所述基板检测器件检测到基板3位于刻蚀腔室2外部时，该基板检测器件能够向所述控制器发送开始信号，所述控制器根据该开始信号控制电机102开始运行，从而带动刷片101开始移动，以将盖板上的液滴刷落，防止液滴滴在基板上。
[0050]更进一步地，电机102可以带动主动轮转动，以带动刷片101在第一预定位置和第二预定位置之间移动。液滴去除组件10还包括用于检测刷片101的位置的刷片检测器件，当所述刷片检测器件检测到刷片101移动到第一移动位置或第二预定位置时，能够向所述控制器发送停止信号，所述控制器根据该停止信号控制电机停止运行，从而保证刷片可以在合适的范围进行移动，防止刷片脱离导轨。例如，开始去除液滴时，刷片101由某一位置开始向第一预定位置移动，当刷片101移动至第一预定位置时，控制器控制电机停止运行。下一次去除液滴时，刷片101由第一预定位置向第二预定位置移动，当刷片101移动至第二预定位置时，控制器控制电机停止运行。
[0051]具体地，如图2所示，所述位置检测器件包括设置在所述第一预定位置的第一传感器106和设置在所述第二预定位置的第二传感器107。当第一传感器106检测到刷片101到达第一预定位置时，第一传感器106能够向所述控制器发送停止信号，当第二传感器107检测到刷片101检测到刷片101到达第二预定位置时，第二传感器107能够向所述控制器发送停止信号，第一传感器106和第二传感器107所发送的停止信号可以相同，所述控制器根据所述停止信号控制电机102停止运行。
[0052]如图1所示，所述刻蚀装置还包括传输组件4，用于将基板3输入至刻蚀腔室2中的预定区域，所述第一预定位置和所述第二预定位置所限定的区域(即，刷片的可移动区域)的正投影至少覆盖所述预定区域的正投影。从而使得刷片101至少可以将基板3上方的液滴去除，防止液滴滴落在基板上。所述正投影是指在竖直方向上的投影。
[0053]需要说明的是，本发明中的刷片、主动轮、从动轮等结构都可以采用耐腐蚀的材料制作，防止在长时间的湿法刻蚀中，腐蚀液对液滴去除组件的各个部件的腐蚀。
[0054]如图1所示，所述刻蚀装置还可以包括:
[0055]喷淋单元1，所述喷淋单元I包括喷淋管11和设置在喷淋管11下方的多个喷嘴12，用于向刻蚀腔室内的基板喷洒刻蚀液；
[0056]储液罐8，用于储存刻蚀液；
[0057]供液管路5和供液泵7，该供液泵将储液罐8中的刻蚀液抽出，抽出的刻蚀液通过供液管路2输送至喷淋单元I ;
[0058]回收管路6，该回收管路设置在刻蚀腔室和储液罐8之间，以将刻蚀腔室2内的刻蚀液回收至储液罐8内，进行回收使用。
[0059]作为本发明的第二个方面，提供一种上述刻蚀装置的使用方法，所述使用方法包括:
[0060]利用所述液滴去除组件去除附着在所述刻蚀腔室顶壁上的液滴。
[0061]具体地，所述刻蚀腔室的顶部形成有维护入口，所述刻蚀装置包括盖板，所述盖板覆盖在所述维护入口上，以形成为所述刻蚀腔室的顶壁的至少一部分，所述液滴去除组件设置在所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面上，利用所述液滴去除组件去除附着在所述刻蚀腔室顶壁上的液滴的步骤包括:
[0062]利用液滴去除组件去除所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面上的液滴。
[0063]如上文中所述，所述液滴去除组件包括刷片，利用液滴去除组件去除所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面上的液滴的步骤包括:
[0064]在刻蚀开始前或刻蚀结束后，控制所述刷片沿所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面与所述盖板发生相对移动，以使得所述盖板上的液滴被刷落至所述刻蚀腔室内。
[0065]由于刻蚀开始前或刻蚀开始后，刻蚀腔室内没有设置基板，因此，液滴被刷落后也不会滴在基板上，防止对刻蚀效果产生影响。
[0066]控制刷片移动的方式可以为手动的方式，或利用电机带动刷片移动的方式。为了提高工作效率，如上文中所述，所述液滴去除组件还包括至少一个传动机构，所述传动机构设置在所述盖板的朝向刻蚀腔室的表面上，所述传动机构包括主动轮、从动轮、套在所述主动轮和所述从动轮上的皮带，所述液滴去除组件还包括用于驱动所述主动轮转动的电机，所述刷片设置在所述皮带上，所述刷片的长度方向与所述皮带的延伸方向相交叉，
[0067]控制所述刷片沿所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面与所述盖板发生相对移动的步骤包括:
[0068]控制所述电机运行，以带动刷片沿所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面移动。
[0069]当电机运行时，带动所述主动轮转动，从而带动从动轮转动以及皮带传动，进而带动刷片沿所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面移动。
[0070]