电机的运行和停止同样可以通过手动控制，也可以通过控制器来自动控制。进一步地，如上文中所述，所述刻蚀装置还包括基板检测器件和控制器，控制所述电机运行的步骤还包括:
[0071]利用所述基板检测器件检测基板的位置，当所述基板检测检测器件检测到基板位于所述刻蚀腔室外部时，向所述控制器发送开始信号；
[0072]利用所述控制器根据所述开始信号控制所述电机开始运行。
[0073]当所述基板检测器件检测到基板位于刻蚀腔室内部时，向所述控制器发送停止信号，控制器根据所述停止信号控制电机停止运行。因此，在控制器的控制作用下，可以使得液滴的刷落可以自动进行，提高工艺效率。当刻蚀腔室内没有基板时，开始刷落盖板上的液滴，防止液滴滴落在基板上，当刻蚀腔室内有基板时，由于已经将盖板上的液滴刷落，因此，刻蚀时再次聚集在盖板的朝向刻蚀腔室的表面上的液滴还比较小，不足以滴落在基板上。
[0074]进一步地，所述液滴去除组件还包括用于检测所述刷片的位置的刷片检测器件，所述使用方法还包括:
[0075]利用所述刷片检测器件检测所述刷片的位置，当所述刷片检测器件检测到所述刷片移动至所述第一预定位置或第二预定位置时，向所述控制器发送停止信号；
[0076]利用所述控制器根据所述控制信号控制所述电机停止运行。
[0077]例如，对液滴进行去除之前，刷片位于第一预定位置，开始对液滴进行去除时，所述控制器控制所述电机开始运行，带动刷片移动，当刷片到达第二预定位置时，所述刷片检测器向所述控制器发送停止信号，所述控制器根据所述停止信号控制电机停止；这时可以将基板传送至刻蚀腔室内进行刻蚀，刻蚀完毕后，将基板输出刻蚀腔室，当基板检测器件检测到基板位于刻蚀腔室外部时，向所述控制器发送开始信号，所述控制器控制所述电机开始运行，刷片从第二预定位置开始移动，当刷片达到第一预定位置时，所述刷片检测器件向所述控制器发送停止信号，所述控制器控制所述电机停止运行。以此类推。每进行一次液滴的去除过程，只需要刷片在第一预定位置和第二预定位置之间移动一次，可以将液滴刷落即可，不需要刷片来回移动，提高工作效率。
[0078]可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。
【主权项】
1.一种刻蚀装置，包括刻蚀腔室，其特征在于，所述刻蚀装置还包括设置在所述刻蚀腔室内的液滴去除组件，所述液滴去除组件用于去除附着在所述刻蚀腔室顶壁上的液滴。2.根据权利要求1所述的刻蚀装置，其特征在于，所述刻蚀腔室的顶部形成有维护入口，所述刻蚀装置包括盖板，所述盖板覆盖在所述维护入口上，以形成为所述刻蚀腔室的顶壁的至少一部分，所述液滴去除组件设置在所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面上。3.根据权利要求2所述的刻蚀装置，其特征在于，所述液滴去除组件包括刷片，所述刷片能够在刻蚀开始前或刻蚀结束后沿所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面与所述盖板发生相对移动，以使得所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面上的液滴被刷落至所述刻蚀腔室内。4.根据权利要求3所述的刻蚀装置，其特征在于，所述液滴去除组件还包括至少一个传动机构，所述传动机构设置在所述盖板的朝向刻蚀腔室的表面上，所述传动机构包括主动轮、从动轮、套在所述主动轮和所述从动轮上的皮带，所述液滴去除组件还包括用于驱动所述主动轮转动的电机，所述刷片设置在所述皮带上，所述刷片的长度方向与所述皮带的延伸方向相交叉。5.根据权利要求4所述的刻蚀装置，其特征在于，所述传动机构还包括安装件，所述安装件可拆卸地设置在所述皮带上，所述刷片固定在所述安装件上。6.根据权利要求5所述的刻蚀装置，其特征在于，所述液滴去除组件包括两个间隔设置的所述传动机构，所述刷片的两端分别设置在两个传动机构的安装件上。7.根据权利要求4所述的刻蚀装置，其特征在于，所述刻蚀装置还包括基板检测器件和控制器，所述基板检测器件用于检测基板位置，当所述基板检测器件检测到所述基板位于所述刻蚀腔室外部时，该基板检测器件能够向所述控制器发送开始信号，所述控制器根据所述开始信号控制所述电机开始运行。8.根据权利要求7所述的刻蚀装置，其特征在于，所述传动机构能够带动所述刷片在第一预定位置和第二预定位置之间移动，所述液滴去除组件还包括用于检测所述刷片的位置的刷片检测器件，当所述刷片检测器件检测到所述刷片移动至所述第一预定位置或第二预定位置时，能够向所述控制器发送停止信号，所述控制器根据该停止信号控制所述电机停止运行。9.根据权利要求8所述的刻蚀装置，其特征在于，所述位置检测器件包括设置在所述第一预定位置的第一传感器和设置在所述第二预定位置的第二传感器，当所述第一传感器检测到所述刷片到达所述第一预定位置时，所述第一传感器能够向所述控制器发送停止信号，当所述第二传感器检测到所述刷片到达所述第二预定位置时，所述第二传感器能够向所述控制器发送停止信号。10.根据权利要求8所述的刻蚀装置，其特征在于，所述刻蚀装置还包括传输组件，用于将所述基板输入至所述刻蚀腔室中的预定区域，所述第一预定位置和所述第二预定位置所限定的区域的正投影至少覆盖所述预定区域的正投影。11.一种刻蚀装置的使用方法，其特征在于，所述刻蚀装置为权利要求1至10中任意一项所述的刻蚀装置，所述使用方法包括: 利用所述液滴去除组件去除附着在所述刻蚀腔室顶壁上的液滴。12.根据权利要求11所述的使用方法，其特征在于，所述刻蚀腔室的顶部形成有维护Λ口，所述刻蚀装置包括盖板，所述盖板覆盖在所述维护入口上，以形成为所述刻蚀腔室的顶壁的至少一部分，所述液滴去除组件设置在所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面上，利用所述液滴去除组件去除附着在所述刻蚀腔室顶壁上的液滴的步骤包括: 利用液滴去除组件去除所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面上的液滴。13.根据权利要求12所述的使用方法，其特征在于，所述液滴去除组件包括刷片，利用液滴去除组件去除所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面上的液滴的步骤包括: 在刻蚀开始前或刻蚀结束后，控制所述刷片沿所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面与所述盖板发生相对移动，以使得所述盖板上的液滴被刷落至所述刻蚀腔室内。14.根据权利要求13所述的使用方法，其特征在于，所述液滴去除组件还包括至少一个传动机构，所述传动机构设置在所述盖板的朝向刻蚀腔室的表面上，所述传动机构包括主动轮、从动轮、套在所述主动轮和所述从动轮上的皮带，所述液滴去除组件还包括用于驱动所述主动轮转动的电机，所述刷片设置在所述皮带上，所述刷片的长度方向与所述皮带的延伸方向相交叉， 控制所述刷片沿所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面与所述盖板发生相对移动的步骤包括: 控制所述电机运行，以带动刷片沿所述盖板的朝向所述刻蚀腔室的表面移动。15.根据权利要求14所述的使用方法，其特征在于，所述刻蚀装置还包括基板检测器件和控制器，控制所述电机运行的步骤包括: 利用所述基板检测器件检测基板的位置，当所述基板检测检测器件检测到基板位于所述刻蚀腔室外部时，向所述控制器发送开始信号； 利用所述控制器根据所述开始信号控制所述电机开始运行。16.根据权利要求15所述的使用方法，其特征在于，所述液滴去除组件还包括用于检测所述刷片的位置的刷片检测器件，所述使用方法还包括: 利用所述刷片检测器件检测所述刷片的位置，当所述刷片检测器件检测到所述刷片移动至所述第一预定位置或第二预定位置时，向所述控制器发送停止信号； 利用所述控制器根据所述控制信号控制所述电机停止运行。
【专利摘要】本发明提供一种刻蚀装置，包括刻蚀腔室，所述刻蚀装置还包括设置在所述刻蚀腔室内的液滴去除组件，所述液滴去除组件用于去除附着在所述刻蚀腔室顶壁上的液滴。相应地，本发明还提供一种所述刻蚀装置的使用方法。本发明能够通过液滴去除组件去除刻蚀腔室顶壁上的液滴，减少液滴滴落在基板上而产生的刻蚀不均现象，从而改善了刻蚀效果。
【IPC分类】H01L21/306, H01L21/67
【公开号】CN104966690
【申请号】CN201510441683
【发明人】薛大鹏
【申请人】京东方科技集团股份有限公司
【公开日】2015年10月7日
【申请日】2015年7月24日