3依据第三视觉定位检测模块49所提供之影像，以吸取位于供应模块40之晶粒60，并将晶粒60放置于转承模块41。转承模块41系进行一往复运动，以调整晶粒60位于转承模块41之位置或角度。
[0083]撷取一晶粒60之底面影像，第二视觉定位检测模块48系撷取位于转承模块41之晶粒60的影像，以进定定位与检测，而该影像亦可为晶粒60之正顶面影像，以进行定位或检测。
[0084]翻转模块42A依据该影像，以吸取位于转承模块41之晶粒60，并将晶粒60翻转一设定角度。
[0085]第二视觉定位检测模块48系再撷取位于翻转模块42A之影像，该影像亦可被视为晶粒之正顶面影像。该影像系提供给第一取放装置46，以供第一取放装置46定位位于翻转模块42A之晶粒60。
[0086]取放单元460依据第二视觉定位检测模块48所提供之影像，以吸取位于翻转模块42A之晶粒60，旋转模块45将晶粒移动至底视觉检测模块50的上方，以使底视觉检测模块50系撷取晶粒60之底面影像。
[0087]撷取晶粒60之一侧面影像，第一摄影单元510系撷取晶粒60之第一侧面影像。当旋转模块45于转动过程中，自转单元461系使取放单元460转动一设定角度，以使晶粒60之第一侧面面对第一摄影单元510。
[0088]撷取晶粒60之其余侧面影像，旋转模块45依序将晶粒60移动至第二摄影单元511至第四摄影单元513的位置。自转单元461系使取放单元460转动，以使晶粒60之第二侧面面对第二摄影单元511，晶粒60之第三侧面面对第三摄影单元512，以及晶粒60之第四侧面面对第四摄影单元513。第二摄影单元511至至第四摄影单元513系分别撷取第二侧面影像至第四侧面影像。
[0089]将晶粒60放置于承接模块44，旋转模块45将晶粒60移动至承接模块44的上方，第一视觉定位模块47可撷取承接模块44顶端之影像。依据该影像，取放单元460将晶粒60放置于承接模块44。
[0090]综合上述，上述第一视觉定位模块、第二视觉定位检测模块、第三视觉定位检测模块、底侧边检测模块与侧边检测模块为一荷親合组件(Charge-coupled Device, CCD)或一摄影机。
[0091]上述第一视觉定位模块、第二视觉定位检测模块、第三视觉定位检测模块、底侧边检测模块与侧边检测模块仅撷取晶粒之单一侧面影像，因此该单一侧面影像的分辨率就得以提升，进而提升表面瑕疵之检测的准确性。
[0092]旋转模块会因应晶粒取放的需要而做必要的暂停移动，该侧面影像的撷取系于晶粒的暂停的过程中，同时撷取多个晶粒之侧面影像，或者各摄影单元系依需求个别撷取所对应之晶粒的侧边影像，或者多个摄影单元系同时撷取多个晶粒的侧边影像，因此不会干扰取放模块的高速取放流程，故能够缩短检测工时，提供一高效率的多面检功能，且不影响晶粒挑检机的尚速运作O
[0093]另外，当晶粒被旋转模块所移动时，晶粒亦被吸取单元所转动，并且吸取单元为多个，各吸取单元皆吸取有一晶粒，因此侧边检测模块就能够同时撷取多个晶粒之侧边影像，如此晶粒的检测工时就能够予以缩减。
[0094]上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种具有多面检测能力的晶粒挑拣装置，其特征在于:其包含有: 一供应模块； 一承接模块，其系相邻于该供应模块； 一旋转模块，其系设于该承接模块的上方； 一第一取放模块，其具有多个取放单元，各该取放单元系转动地设于该旋转模块；以及 一边检测模块，其系设于该第一取放模块的一侧； 其中，该供应模块系供至少一晶粒设置；各该取放单元系吸取一晶粒，各该取放单元系转动一设定角度，以使该边检测模块撷取该晶粒之多个侧边影像，各该取放单元所吸取的晶粒系放置于该承接模块。2.根据权利要求1所述具有多面检测能力的晶粒挑拣装置，其特征在于:其更具有一底视觉检测模块，该底视觉检测模块设于该第一取放模块的下方，该底视觉检测模块系撷取位于各该取放单元之该晶粒之底面影像。3.根据权利要求1所述具有多面检测能力的晶粒挑拣装置，其特征在于:其更具有一第一视觉定位模块，该第一视觉定位模块系位于该承接模块的上方，该第一视觉定位模块系分别或同时垂直撷取位于该取放单元的晶粒与该承接模块顶端之影像。4.根据权利要求1所述具有多面检测能力的晶粒挑拣装置，其特征在于:其更具有一第三视觉定位检测模块，该第三视觉定位检测模块系位于该供应模块的上方。5.根据权利要求1所述具有多面检测能力的晶粒挑拣装置，其特征在于:其更具有一转承模块，该转承模块系位于该供应模块与该承接模块之间，该转承模块系进行一 X轴向往复运动、一 Y轴向往复运动或一 Z轴向往复运动。6.一种具有多面检测能力的晶粒挑拣方法，其特征在于:其步骤为: 撷取一晶粒之多个侧面影像，该晶粒移动至一侧边检测模块，该侧边检测模块系撷取该晶粒之各侧边影像；以及 将该晶粒放置于一承接模块。7.根据权利要求6所述具有多面检测能力的晶粒挑拣方法，其特征在于:其步骤为撷取一晶粒之底侧面影像，一晶粒移动至一底视觉检测模块的上方，该底视觉检测模块系撷取该晶粒之底侧面影像。8.根据权利要求7所述具有多面检测能力的晶粒挑拣方法，其特征在于:其步骤为以一旋转模块将一第一取放模块之一取放单元所吸取之晶粒移动至该底视觉检测模块的上方，以使该底视觉检测模块撷取该晶粒之底面影像。9.根据权利要求8所述具有多面检测能力的晶粒挑拣方法，其特征在于:所述取放单元系转动一设定角度，以使该侧边检测模块之多个摄影单元撷取该晶粒之多个侧边影像。10.根据权利要求6所述具有多面检测能力的晶粒挑拣方法，其特征在于:所述晶粒系由一供应模块所提供，一第二取放单元系吸取位于该供应模块之晶粒；所述第二取放模块系将该晶粒放置于一转承模块，该转承模块系调整该晶粒之角度或位置，该第一取放模块系吸取位于该转承模块之晶粒；或者该第二取放模块系将该晶粒移交给一翻转模块，该翻转模块系将该晶粒翻转一设定角度，再将该晶粒放置于该转承模块，该转承模块系调整该晶粒之角度或位置，该第一取放模块系吸取位于该转承模块之晶粒；或者该第二取放模块系将该晶粒放置于一转承模块，该转承模块系调整该晶粒之角度或位置，该翻转模块系吸取位于该转承模块之晶粒，并将该晶粒翻转一设定角度，该第一取放模块系吸取位于该翻转模块之晶粒。
【专利摘要】一种具有多面检测能力之晶粒挑拣装置及其方法，晶粒挑拣装置包含有：一供应模块；一承接模块，其系相邻于该供应模块；一旋转模块，其系设于该承接模块的上方；一第一取放模块，其具有多个取放单元，各取放单元系转动地设于该旋转模块；以及一边检测模块，其系设于该第一取放模块的一侧；其中，该供应模块系供至少一晶粒设置；各取放单元系吸取一晶粒，各取放单元系转动一设定角度，以使该边检测模块撷取该晶粒之多个侧边影像，各取放单元所吸取的晶粒系放置于该承接模块。晶粒挑拣方法，包含有：撷取一晶粒之多个侧面影像，该晶粒移动至一侧边检测模块，该侧边检测模块系撷取该晶粒之各侧边影像；以及将该晶粒放置于一承接模块。
【IPC分类】H01L21/67
【公开号】CN105225991
【申请号】CN201510720506
【发明人】石敦智, 黄良印, 杨天德, 林逸伦, 胡文清
【申请人】苏州均华精密机械有限公司
【公开日】2016年1月6日
【申请日】2015年10月30日