纳米晶可见光探测器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种Au纳米颗粒增强的无机金属卤化物钙钛矿纳米晶可见光探测器，属于光探测器领域。
【背景技术】
[0002]可见光探测器在可见光通讯、成像感应、生物医学传感等军事和工业领域均具有许多重大的应用。随着各领域技术的逐步发展，要求光电探测器具备低成本，高灵敏度，可调谐波长等特点。有机无机杂化钙钛矿材料所具有的高量子效率，可溶液加工，波长易调等突出优势引起了各国研究者的大量关注，使得这种材料在太阳能电池，光电探测器，LED等光电器件中得到广泛应用。然而有机无机杂化钙钛矿材料的稳定性差是限制其实际应用的最大障碍，我们需要既能保留这类材料的优异光电性能，又能具有更好稳定性的材料，全无机钙钛矿纳米晶材料的出现有助于解决这一问题。
[0003]全无机钙钛矿纳米晶把有机无机杂化钙钛矿材料的优异光电性能与无机钙钛矿材料的稳定性结合起来，具有优异的光吸收能力、可调的带隙等优点。这些优势使得其在光电探测器、光通讯等领域具有广阔的前景。
[0004]金属纳米颗粒经常表现出局部表面等离子体共振(LSPR)，它可以作为散射中心，纳入光电器件中来有效提高光的吸收，从而提高器件性能。在光电探测器件领域中被作为一种有效提高光电响应的手段，且方法较为简单可行，在提高器件性能方面具有广泛应用。
【发明内容】
[0005]本发明的目的在于提供一种通过Au纳米颗粒作用、性能提高的无机钙钛矿CsPbX3纳米晶可见光探测器。
[0006]本发明可通过如下技术方案实现，一种Au纳米颗粒增强的高性能无机钛矿CsPbX3纳米晶可见光探测器，由如下步骤制备:
[0007]I)取Au纳米颗粒分散液，在洁净的硅片上按一定转速旋涂；
[0008]2)再取CsPbX3纳米晶的分散液于旋涂后的硅片上进行离心沉积；
[0009]3)于步骤2)离心后的表面沉积一定厚度的电极材料；
[0010]4)刻蚀步骤3)沉积的电极得到一定叉指间距的电极，制得所述的可见光探测器。
[0011]步骤I)中，所述Au纳米颗粒分散液采用的溶剂为正己烷，旋涂的转速为4000r/min0
[0012]步骤2)中，所述CsPbX3纳米晶中的X为Cl、Br、I任意一种或任意两者组合，CsPbX3纳米晶的分散液采用的溶剂为甲苯，溶液的浓度为I.27*10—4mol/L。
[0013]步骤3)中，所述电极材料为Au，沉积厚度为70?lOOnm。
[0014]步骤4)中，所述叉指的间距为3?ΙΟΟμπι。
[0015]本发明的优点是:I)本发明提供了一种Au纳米颗粒增强的高性能无机钙钛矿纳米晶可见光探测器，制备工艺简单；2)本发明对比了有无Au纳米颗粒增强的可见光探测器性能，提供了一种易实现的提升探测器性能的高可行性方案;3)本发明提供了一种性能优异、快速响应的光电探测器，响应时间在微秒级别。
【附图说明】
[0016]图1为本发明实施例1、2、3、4、5所用Au纳米颗粒的TEM透射图。
[0017]图2为本发明实施例1使用的金属卤化物钙钛矿纳米晶的HRTEM透射图。
[0018]图3为本发明实施例1制备的可见光探测器结构示意图。
[0019]图4为本发明实施例1制备的可见光探测器响应度图谱，并附同一条件制备的无Au纳米颗粒的器件响应度对比。
[0020]图5为本发明实施例1制备的可见光探测器的明暗电压-电流(1-V)曲线图，并附同一条件制备的无Au纳米颗粒的器件1-V曲线对比。
[0021]图6为本发明实施例1制备的可见光探测器的电流-时间响应(1-t)曲线图，并附同一条件制备的无Au纳米颗粒的器件I _t曲线对比。
【具体实施方式】
[0022]以下通过具体的实施例对本发明作进一步的描述。
[0023]本发明是在硅衬底上旋涂Au纳米颗粒分散液，然后离心沉积金属卤化物钙钛矿纳米晶，通过热蒸发沉积叉指电极，得到高性能的CsPbX3无机钙钛矿纳米晶可见光探测器。
[0024]实施例1
[0025]本实施例所述Au纳米颗粒增强的高性能无机钛矿CsPbX3纳米晶可见光探测器，具体包括如下步骤:
[0026]I)在清洗好的娃衬底上旋涂Au纳米颗粒分散液，转速为4000r/min，在常温下瞭干，采用的Au纳米颗粒TEM透射图见图1;
[0027]2)离心沉积CsPbBr3纳米晶的分散液，离心机转速为6000r/min，采用的CsPbBr3纳米晶HRTEM透射图见图2;
[0028]3)通过热蒸发法蒸镀Au电极，电极厚度为80nm;
[0029]4)通过刻蚀得到ΙΟμπι指间距的叉指电极，制得CsPbX3无机钙钛矿纳米晶可见光探测器，其结构示意图见图3，响应度见图4，其明暗电压-电流关系见图5，电流-时间响应见图6，由图可见其响应速度很快，可适用于快速响应的探测领域。
[0030]实施例2
[0031]与实施例1类似，区别在于，将实施例1的步骤2)中的CsPbBr3改为CsPbIxBr3-x(x的取值范围为O?3)，其他条件保持一致，制得CsPbX3无机钙钛矿纳米晶可见光探测器。
[0032]实施例3
[0033]与实施例1类似，区别在于，将实施例1的步骤2)中的CsPbBr3改为CsPbClxBr3-X(x的取值范围为O?3)，其他条件保持一致，制得CsPbX3无机钙钛矿纳米晶可见光探测器。
[0034]实施例4
[0035]与实施例1类似，区别在于，将实施例1的步骤3)中的电极厚度改为lOOnm，其他条件保持一致，制得CsPbX3无机钙钛矿纳米晶可见光探测器。
[0036]实施例5
[0037]与实施例1类似，区别在于，将实施例1的步骤4)中的叉指间距改为20μπι，其他条件保持一致，制得CsPbX3无机钙钛矿纳米晶可见光探测器。
【主权项】
1.一种CsPbX3纳米晶可见光探测器，其特征在于，由如下步骤制备: 1)取Au纳米颗粒分散液，在洁净的硅片上旋涂； 2)再取CsPbX3纳米晶的分散液于旋涂后的硅片上进行离心沉积； 3)于步骤2)离心后的表面沉积电极材料； 4)刻蚀步骤3)沉积的电极得到所需叉指间距的电极，制得所述的可见光探测器。2.如权利要求1所述的CsPbX3纳米晶可见光探测器，其特征在于，步骤I)中，所述Au纳米颗粒分散液采用的溶剂为正己烷，旋涂的转速为4000r/min。3.如权利要求1所述的CsPbX3纳米晶可见光探测器，其特征在于，步骤2)中，所述CsPbX3纳米晶中的X为Cl、Br、I任意一种或任意两者组合，CsPbX3纳米晶的分散液采用的溶剂为甲苯，溶液的浓度为1.27* I O—4m01 /L。4.如权利要求1所述的CsPbX3纳米晶可见光探测器，其特征在于，步骤3)中，所述电极材料为Au，沉积厚度为70?lOOnm。5.如权利要求1所述的CsPbX3纳米晶可见光探测器，其特征在于，步骤4)中，所述叉指间距为3?ΙΟΟμπι。
【专利摘要】本发明公开了一种Au纳米颗粒增强的高性能CsPbX3无机钙钛矿纳米晶可见光探测器。通过旋涂制备Au纳米颗粒增强层，运用离心制膜的方法组装无机钙钛矿感光活性层，然后通过热蒸发沉积以及刻蚀工艺制备叉指电极组装成可见光探测器。本发明所述的可见光探测器的探测波长范围可通过改变量子点发光层材料的卤素配比进行调节，能够覆盖整个可见光谱范围；且其探测速度快，响应时间小于毫秒，可用于快速响应的光探测以及光通讯领域。
【IPC分类】H01L31/09, H01L31/18, H01L31/032
【公开号】CN105609588
【申请号】CN201610046489
【发明人】宋继中, 董宇辉, 李建海, 许蕾梦, 薛洁, 王涛, 曾海波
【申请人】南京理工大学
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2016年1月22日