权利要求1所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一固定装置与所述第二固定装置两者之一或者两者可翻转地设置；所述第一固定装置或所述第二固定装置翻转后倾斜。
3.根据权利要求2所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一固定装置与所述第二固定装置均可翻转地设置；所述第一固定装置与所述第二固定装置的翻转轴线靠近两者相近的两端。
4.根据权利要求2所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第一支架；所述第一固定装置通过第一转轴可翻转地安装于第一支架上；所述第一支架上安装有第一驱动装置，所述第一驱动装置驱动所述第一固定装置翻转或者通过第一传动装置驱动所述第一固定装置翻转；所述第二固定装置通过第二转轴可翻转地安装于第一支架上；所述第一支架上安装有第二驱动装置，所述第二驱动装置驱动所述第二固定装置翻转或者通过第二传动装置驱动所述第二固定装置翻转。
5.根据权利要求4所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一传动装置包括相配合的第一导向杆和第一滑块；所述第一导向杆安装在第一固定装置上；所述第一滑块可沿第一导向杆移动地设置在第一导向杆上；所述第一驱动装置与所述第一滑块连接。
6.根据权利要求4所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第二传动装置包括相配合的第二导向杆和第二滑块；所述第二导向杆安装在第一固定装置上；所述第二滑块可沿第二导向杆移动地设置在第二导向杆上；所述第二驱动装置与所述第二滑块连接。
7.根据权利要求4所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一驱动装置为第一气缸，所述第一气缸的第一活塞杆与所述第一固定装置连接，所述第一活塞杆伸缩时驱动所述第一固定装置绕所述第一转轴翻转；所述第二驱动装置为第二气缸，所述第二气缸的第二活塞杆与所述第二固定装置连接，所述第二活塞杆伸缩时驱动所述第二固定装置绕所述第二转轴翻转。
8.根据权利要求1所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一固定装置包括第一吸附板；所述第一吸附板下表面设置有第一吸附开口，所述第一吸附开口与抽真空装置连通；所述抽真空装置通过所述第一吸附开口将薄膜吸附在第一吸附板上。
9.根据权利要求8所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一固定装置还包括第一夹持板；所述第一夹持板位于所述第一吸附板下方，与所述第一吸膜板相对设置；所述第一吸附板与所述第一夹持板共同夹持薄膜的一部分。
10.根据权利要求9所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第一夹持板上表面设置有吹气孔，所述吹气孔与吹气装置连通。
11.根据权利要求9所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第三驱动装置，所述第一夹持板可相对所述第一吸附板翻转地设置，所述第三驱动装置驱动所述第一夹持板或者通过第三传动装置驱动所述第一夹持板相对于所述第一吸附板翻转。
12.根据权利要求11所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第三驱动装置为第一电机，所述第一电机的输出轴与所述第一夹持板连接。
13.根据权利要求8至12任一权利要求所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第二固定装置与所述第一固定装置结构相同。
14.根据权利要求1所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第一支架、第二支架和第五驱动装置；所述第一固定装置安装于所述第一支架上；所述第二支架可左右移动地安装于所述第一支架上；所述抵压装置可升降地安装于所述第二支架上；所述第二固定装置安装于所述第二支架上；所述第五驱动装置驱动所述第二支架或者通过第四传动装置驱动所述第二支架左右移动。
15.根据权利要求14所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第四传动装置为第一丝杠螺母；所述第一丝杠螺母包括螺纹配合的第一丝杆和第一螺母；所述第一丝杆和所述第一螺母其中之一受所述第五驱动装置驱动旋转，另一个所述第二支架连接。
16.根据权利要求15所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第一导向装置；所述第一导向装置用于限制所述第二支架的移动轨迹；所述第一丝杆可转动地安装在第一支架上，受所述第五驱动装置驱动旋转；所述第一螺母与所述第二支架连接；所述第一导向装置包括至少一个第一导轨；所述第一导轨设置在第一支架上；所述第一螺母设置在第一导轨上，且可沿第一导轨移动。
17.根据权利要求14所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第六驱动装置；所述抵压装置包括滚轮；所述滚轮可转动地安装于滚轮支架上；所述第六驱动装置驱动所述滚轮支架上升和下降；所述第六驱动装置安装于所述第二支架上。
18.根据权利要求17所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第五驱动装置为第三电机；所述第六驱动装置为第三气缸。
19.根据权利要求14所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括支撑臂和第七驱动装置；所述第一支架可升降地安装于所述支撑臂上；所述第七驱动装置驱动所述第一支架或通过第五传动装置驱动所述第一支架升降。
20.根据权利要求19所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第五传动装置为第二丝杠螺母；所述第二丝杠螺母包括螺纹配合的第二丝杆和第二螺母；所述第二丝杆和所述第二螺母其中之一受所述第七驱动装置驱动旋转，另一个所述第一支架连接。
21.根据权利要求20所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第二导向装置；所述第二导向装置用于限制所述第一支架的升降轨迹；所述第二丝杆可转动地安装在所述支撑臂上，受所述第七驱动装置驱动旋转；所述第二螺母与所述第一支架连接；所述第二导向装置包括至少一个第二导轨；所述第二导轨设置在支撑臂上；所述第二螺母设置在第二导轨上，且可沿第二导轨移动。
22.根据权利要求19所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括支撑架和第八驱动装置；所述支撑臂可左右移动地安装于所述支撑架上；所述第八驱动装置驱动所述支撑臂或通过第六传动装置驱动所述支撑臂左右移动。
23.根据权利要求22所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，所述第六传动装置为第三丝杠螺母；所述第三丝杠螺母包括螺纹配合的第三丝杆和第三螺母；所述第三丝杆和所述第三螺母其中之一受所述第八驱动装置驱动旋转，另一个所述支撑臂连接。
24.根据权利要求23所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第三导向装置；所述第三导向装置用于限制所述支撑臂的移动轨迹；所述第三丝杆可转动地安装在所述支撑架上，受所述第八驱动装置驱动旋转；所述第三螺母与所述支撑臂连接；所述第三导向装置包括至少一个第三导轨；所述第三导轨设置在支撑架上；所述第三螺母设置在第三导轨上，且可沿第三导轨移动。
25.根据权利要求11所述的晶圆贴膜装置，其特征在于，还包括第一位置检测装置和控制主机，所述第一位置检测装置包括第一凸片和两个第一接近开关，所述第一凸片与所述第一夹持板同步转动；所述第一接近开关间隔设置，位于所述第一凸片的转动路线上；所述第一接近开关根据所述第一凸片是否位于所述第一接近开关的检测范围内发送不同的信号；所述控制主机根据第一接近开关的信号不同，决定第三驱动装置的是否工作及工作方向。
【专利摘要】本实用新型公开了一种晶圆贴膜装置，其特征在于，包括：第一固定装置，所述第一固定装置可左右移动地设置；第二固定装置，所述第二固定装置可左右移动地设置；所述第二固定装置与所述第一固定装置其中之一或两者左右运动时相互靠近及远离；所述第一固定装置与所述第二固定装置用于共同夹持一片薄膜；抵压装置，所述抵压装置左右移动地设置；所述抵压装置随所述第一固定装置或第二固定装置左右移动时可抵压薄膜，使薄膜粘贴在晶圆上。本实用新型中的晶圆贴膜装置，可实现贴膜工艺的全自动化，大大提高了贴膜效率和贴膜稳定性，贴膜效果也同样得到了改善。
【IPC分类】H01L21-677, H01L21-68, H01L21-687, H01L21-67, H01L21-66
【公开号】CN204271047
【申请号】CN201420606229
【发明人】刘永丰
【申请人】上海技美电子科技有限公司
【公开日】2015年4月15日
【申请日】2014年10月20日