一种改进的背电极沉积设备的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及薄膜太阳能电池制造技术领域，具体是一种改进的背电极沉积设备。
【背景技术】
[0002]目前沉积设备在发生故障或者正常PM时，在4人同时手动作业情况下，完全开启或关闭多个腔室的上盖需要花费至少数个小时时间，加上故障处理或PM时间及复机时间，整个过程耗时更多，严重影响生产产能，人员工作量大，无法很好的正常作息，人力成本高。而较常用的起吊上盖的方式虽然能够减轻劳动强度，但工人维修非常不便。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的技术目的在于提供一种改进的背电极沉积设备，解决开关盖体费时费力、效率低下的问题。
[0004]本实用新型的具体技术方案如下:一种改进的背电极沉积设备，包括真空腔体和设于所述真空腔体上的腔体盖板，还包括设于所述真空腔体与所述腔体盖板之间的连接合页、用于配合所述连接合页将所述腔体盖板翻起或回落的开合装置、用于调节所述真空腔体内气压的抽送气装置和用于监测所述真空腔体气压的真空计，通过所述真空计的气压监测控制所述抽送气装置从而控制所述开合装置。
[0005]作为优选，所述开合装置包括设于所述腔体盖板上的连接筋、固定连接于所述连接筋的固定片、安装在所述固定片上且连接于所述连接筋的伸缩气缸和铰接于所述固定片的活动支撑杆。
[0006]作为优选，所述连接筋上设有若干处用于与所述固定片固定连接的固定部和若干处用于与所述伸缩气缸活动连接的拉动部。
[0007]作为优选，所述连接筋上具有用于设置所述拉动部的拉动区域，所述拉动区域为所述连接筋的中心至所述连接筋的远离所述连接合页的端部。
[0008]作为优选，所述真空腔体和/或所述腔体盖板上设有用于缓和开合时的相互摩擦与撞击的缓冲垫圈和用于使所述真空腔体被隔绝的密封圈。
[0009]作为优选，所述真空腔体上设有用于支撑并限制所述腔体盖板翻起时的限位支撑件。
[0010]作为优选，所述抽送气装置包括与所述真空腔体连通的的尾气泵及充气泵，所述尾气泵与所述充气泵共同连接有保护气源，所述真空腔体、所述尾气泵、所述充气泵及所述保护气源之间通过循环管道相连通，循环管道上设有用于分别控制所述尾气泵与所述保护气源、所述充气泵与所述保护气源的第一控制阀、第二控制阀。
[0011]作为优选，所述真空计包括粗侧真空计与精测真空计。
[0012]作为优选，所述真空计、所述抽送气装置及所述开合装置共同连接有信号中枢，通过所述信号中枢使得所述抽送气装置与所述开合装置根据所述真空计的监测信息进行启停动作。
[0013]本实用新型的技术优点在于所述改进的背电极沉积设备结构紧凑、使用方便，能够代替传统手动方式或吊起方式，省时省力，维修方便，大大提高了生产效率，降低运维成本。
【附图说明】
[0014]图1为本实用新型实施例的结构示意图；
【具体实施方式】
[0015]下面将结合附图，通过具体实施例对本实用新型作进一步说明:
[0016]见图1，一种改进的背电极沉积设备，包括真空腔体I和设于真空腔体I上的腔体盖板2，还包括设于真空腔体I与腔体盖板2之间的连接合页3、用于配合连接合页3将腔体盖板2翻起或回落的开合装置、用于调节真空腔体I内气压的抽送气装置和用于监测真空腔体I气压的真空计，通过真空计的气压监测控制抽送气装置从而控制开合装置。
[0017]开合装置包括设于腔体盖板2上的连接筋21、固定连接于连接筋21的固定片22、安装在固定片22上且连接于连接筋21的伸缩气缸23和铰接于固定片22的活动支撑杆24。连接筋21上设有若干处用于与固定片22固定连接的固定部和若干处用于与伸缩气缸23活动连接的拉动部。连接筋21上具有用于设置拉动部的拉动区域，拉动区域为连接筋21的中心至连接筋21的远离连接合页3的端部。
[0018]真空腔体I和/或腔体盖板2上设有用于缓和开合时的相互摩擦与撞击的缓冲垫圈和用于使真空腔体I被隔绝的密封圈。真空腔体I上设有用于支撑并限制腔体盖板2翻起时的限位支撑件25，限位支撑件25可以为活动杆，在活动杆的顶部可以设置便于抵住腔体盖板2的支撑斜面。翻转角度为腔体盖板2所在平面与真空腔体I所在平面的夹角，翻转角度的范围为0~120°。
[0019]抽送气装置包括与真空腔体I连通的的尾气泵5及充气泵6，尾气泵5与充气泵6共同连接有保护气源7，真空腔体1、尾气泵5、充气泵6及保护气源7之间通过循环管道相连通，循环管道上设有用于分别控制尾气泵5与保护气源7、充气泵6与保护气源7的第一控制阀71、第二控制阀61。保护气源7 —般为氮气，氮气可作为稀释气体、防止尾气泵5或充气泵6内部转子卡死的吹扫气体或将真空腔体I内残余或有害气体、尘埃挤出的恢复气体。
[0020]真空计包括粗侧真空计4与精测真空计5。真空计、抽送气装置及开合装置共同连接有信号中枢，通过信号中枢使得抽送气装置与开合装置根据真空计的监测信息进行启停动作。信号中枢可利用传感器及PLC控制回路来完成。
【主权项】
1.一种改进的背电极沉积设备，包括真空腔体(I)和设于所述真空腔体(I)上的腔体盖板(2)，其特征在于:还包括设于所述真空腔体(I)与所述腔体盖板(2)之间的连接合页(3)、用于配合所述连接合页(3)将所述腔体盖板(2)翻起或回落的开合装置、用于调节所述真空腔体(I)内气压的抽送气装置和用于监测所述真空腔体(I)气压的真空计，通过所述真空计的气压监测控制所述抽送气装置从而控制所述开合装置。
2.根据权利要求1所述的一种改进的背电极沉积设备，其特征在于:所述开合装置包括设于所述腔体盖板(2)上的连接筋(21)、固定连接于所述连接筋(21)的固定片(22)、安装在所述固定片(22)上且连接于所述连接筋(21)的伸缩气缸(23)和铰接于所述固定片(22)的活动支撑杆(24)。
3.根据权利要求2所述的一种改进的背电极沉积设备，其特征在于:所述连接筋(21)上设有若干处用于与所述固定片(22)固定连接的固定部和若干处用于与所述伸缩气缸(23)活动连接的拉动部。
4.根据权利要求3所述的一种改进的背电极沉积设备，其特征在于:所述连接筋(21)上具有用于设置所述拉动部的拉动区域，所述拉动区域为所述连接筋(21)的中心至所述连接筋(21)的远离所述连接合页(3)的端部。
5.根据权利要求1所述的一种改进的背电极沉积设备，其特征在于:所述真空腔体(I)和/或所述腔体盖板(2)上设有用于缓和开合时的相互摩擦与撞击的缓冲垫圈和用于使所述真空腔体(I)被隔绝的密封圈。
6.根据权利要求5所述的一种改进的背电极沉积设备，其特征在于:所述真空腔体(I)上设有用于支撑并限制所述腔体盖板(2 )翻起时的限位支撑件(25 )。
7.根据权利要求1所述的一种改进的背电极沉积设备，其特征在于:所述抽送气装置包括与所述真空腔体(I)连通的的尾气泵(5)及充气泵(6)，所述尾气泵(5)与所述充气泵(6)共同连接有保护气源(7)，所述真空腔体(1)、所述尾气泵(5)、所述充气泵(6)及所述保护气源(7)之间通过循环管道相连通，循环管道上设有用于分别控制所述尾气泵(5)与所述保护气源(7)、所述充气泵(6)与所述保护气源(7)的第一控制阀(71)、第二控制阀(61)。
8.根据权利要求1所述的一种改进的背电极沉积设备，其特征在于:所述真空计包括粗侧真空计(4)与精测真空计(5)。
9.根据权利要求8所述的一种改进的背电极沉积设备，其特征在于:所述真空计、所述抽送气装置及所述开合装置共同连接有信号中枢，通过所述信号中枢使得所述抽送气装置与所述开合装置根据所述真空计的监测信息进行启停动作。
【专利摘要】一种改进的背电极沉积设备，包括真空腔体和设于所述真空腔体上的腔体盖板，还包括设于所述真空腔体与所述腔体盖板之间的连接合页、用于配合所述连接合页将所述腔体盖板翻起或回落的开合装置、用于调节所述真空腔体内气压的抽送气装置和用于监测所述真空腔体气压的真空计，通过所述真空计的气压监测控制所述抽送气装置从而控制所述开合装置。本实用新型结构紧凑、使用方便，能够代替传统手动方式或吊起方式，省时省力，维修方便，大大提高了生产效率，降低运维成本。
【IPC分类】H01L31-18
【公开号】CN204558504
【申请号】CN201520170678
【发明人】屈良钱, 沈一清, 李帅锋, 赵振国, 王飞
【申请人】浙江长兴汉能光伏有限公司
【公开日】2015年8月12日
【申请日】2015年3月25日