链式扩散非制绒面涂磷装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及硅片链式扩散设备技术领域，尤其涉及一种链式制绒槽非制绒面涂憐设备。
【背景技术】
[0002]扩散是晶硅太阳能电池制造的关键步骤之一，常用的扩散方式有管式扩散和链式扩散，管式扩散通过通入三氯氧磷和氧气，在硅片表面生成磷单质后再向内扩散形成PN结。链式扩散通过在制绒面喷涂磷酸，磷酸分解后和硅反应生成磷单质。
[0003]多晶硅中有大量的缺陷和金属杂质，这些缺陷和金属杂质会形成一些深能级，并成为载流子的复合中心，影响电池的效率，因此减少杂质的影响能一定程度上提高载流子寿命，从而提高电池的效率。生产中常用的吸杂方式有铝吸杂和磷吸杂，铝吸杂是通过在硅片上印刷铝背场达到吸杂效果，磷吸杂是通过在硅片背表面扩磷原子达到吸杂作用，吸杂效果和磷原子的浓度有关。
【发明内容】
[0004]为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种链式扩散非制绒面涂磷装置，使用该设备可以在硅片非制绒面涂上磷酸，扩散后使硅片背面形成一定浓度磷原子，达到磷吸杂的目的。
[0005]本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是:一种链式扩散非制绒面涂磷装置，包括转动轴，吸液外圈和储酸槽，所述吸液外圈固定在转动轴的中间，所述转动轴的两端转动设于储酸槽的上方，所述储酸槽一侧设有进酸口，储酸槽的下方设有出酸口，储酸槽内还设有一液位传感器，所述液位传感器连接控制进酸口开关的进酸控制器。
[0006]作为本实用新型的进一步改进，所述吸液外圈的材料为耐酸腐蚀性吸水材料。
[0007]作为本实用新型的进一步改进，所述吸液外圈的材料为耐酸腐蚀性海绵、纱布和带有螺纹的滚轮中的一种或几种的组合。
[0008]作为本实用新型的进一步改进，所述吸液外圈的内径为1-10厘米，吸液外圈的外径为2-20厘米。
[0009]作为本实用新型的进一步改进，所述的吸液外圈长度为10-200厘米。
[0010]作为本实用新型的进一步改进，所述的储酸槽为长方体槽体，长度为10-200厘米，宽度为3-100厘米，高度为3-50厘米。
[0011]作为本实用新型的进一步改进，所述的转动轴两端有传动齿轮，传动齿轮受传动链带动转动。
[0012]作为本实用新型的进一步改进，所述的出酸口设在储酸槽的底部
[0013]作为本实用新型的进一步改进，所述的进酸口设在储酸槽侧面，进酸口上有控制阀门。
[0014]作为本实用新型的进一步改进，所述液位传感器由压力传感器，电容式液位传感器和电动浮筒液位传感器组成。
[0015]本实用新型的有益效果是:本实用新型使硅片在扩散的时候能够在非制绒面也掺入磷原子，使非制绒面形成磷吸杂效应，提高了载流子的寿命，增加了电池的效率，本设备简单易改造，具有良好的可操作性。
【附图说明】
[0016]图1为本实用新型的实施例一的主视图；
[0017]图2为本实用新型的实施例一的侧视图；
[0018]图3为本实用新型的实施例二的主视图；
[0019]图4为本实用新型的实施例二的侧视图；
【具体实施方式】
[0020]为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
[0021]实施例一
[0022]图1为本实用新型的设备结构，吸液外圈2的材料为耐酸腐蚀性海绵，吸液外圈2的内径为3厘米，吸液外圈2的外径为5厘米，吸液外圈2的长度为100厘米，储酸槽3为长方体槽体，长度为110厘米，宽度为20厘米，高度为30厘米，转动轴I两端有传动齿轮，传动齿轮受传动链带动转动，储酸槽3上有进酸口，进酸口 4在储酸槽3的侧面，位置接近底部，储酸槽3上有出酸口 5，出酸口 5在储酸槽3的底部，储酸槽3槽内底部有液位传感器7，液位传感器7由压力传感器，电容式液位传感器和电动浮筒液位传感器组成。
[0023]液位传感器用于测量磷酸6的液位并通过电脑控制进酸口的开关，当液位过低时进酸口打开，磷酸6从外围进入储酸槽3，当液位达到一定高度时，进酸口 4的阀门闭合。控制液位能使吸液外圈2 —部分浸泡在磷酸6溶液中，当滚轮转动起来的时候，整个吸液外圈3都能吸满磷酸6溶液。硅片从滚轮上方移动时，吸液外圈2与硅片接触，受到硅片重量的挤压，吸液外圈3内吸收的液体会向外溢出，沾到硅片的底部，达到在硅片非制绒面涂上磷酸6的目的。
[0024]实施例二
[0025]图3为本实用新型的设备结构，吸液外圈12为带有单头螺纹滚轮，吸液外圈12的内径为2厘米，吸液外圈12的外径为6厘米，吸液外圈2的长度为160厘米，单头螺纹之间的间距为5厘米，单头螺纹的高度为0.5厘米，单头螺纹的倾角为60度，储酸槽13为长方体槽体，长度为150厘米，宽度为30厘米，高度为40厘米，转动轴11两端有传动齿轮，传动齿轮受传动链带动转动，储酸槽13上有进酸口，进酸口 14在储酸槽13的侧面，位置接近底部，储酸槽13上有出酸口 15，出酸口 15在储酸槽13的底部，储酸槽13槽内底部有液位传感器17，液位传感器17由压力传感器，电容式液位传感器和电动浮筒液位传感器组成。
[0026]液位传感器用于测量磷酸16的液位并通过电脑控制进酸口的开关，当液位过低时进酸口打开，磷酸16从外围进入储酸槽13，当液位达到一定高度时，进酸口 14的阀门闭合。控制液位能使吸液外圈12 —部分浸泡在磷酸16溶液中，当滚轮转动起来的时候，单头螺纹随着转动轴11滚动，螺纹的纹理结构将磷酸16带动起来，使单头螺纹的表面会沾满磷酸16，单头螺纹表面起伏的纹理起着带动和临时储蓄液体的作用。硅片从滚轮上方移动时，螺纹纹理与硅片接触，从储酸槽13带上来的磷酸16就会沾到硅片的下表面，达到在硅片非制绒面涂上磷酸16的目的。
【主权项】
1.一种链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于:包括转动轴、吸液外圈和储酸槽，所述吸液外圈固定在转动轴的中间，所述转动轴的两端转动设于储酸槽的上方，所述储酸槽一侧设有进酸口，储酸槽的下方设有出酸口，储酸槽内还设有一液位传感器，所述液位传感器连接控制进酸口开关的进酸控制器。2.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于:所述吸液外圈的材料为耐酸腐蚀性吸水材料。3.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于:所述吸液外圈的材料为耐酸腐蚀性海绵、纱布和带有螺纹的滚轮中的一种或几种的组合。4.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于:所述吸液外圈的内径为1-10厘米，吸液外圈的外径为2-20厘米。5.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于:所述的吸液外圈长度为10-200厘米。6.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于:所述的储酸槽为长方体槽体，长度为10-200厘米，宽度为3-100厘米，高度为3-50厘米。7.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于:所述的转动轴两端有传动齿轮，传动齿轮受传动链带动转动。8.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于:所述的出酸口设在储酸槽的底部。9.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于:所述的进酸口设在储酸槽侧面，进酸口上有控制阀门。10.根据权利要求1所述的链式扩散非制绒面涂磷装置，其特征在于:所述液位传感器由压力传感器，电容式液位传感器和电动浮筒液位传感器组成。
【专利摘要】本实用新型提供一种链式扩散非制绒面涂磷装置，包括转动轴、吸液外圈和储酸槽，所述吸液外圈固定在转动轴的中间，所述转动轴的两端转动设于储酸槽的上方，所述储酸槽一侧设有进酸口，储酸槽的下方设有出酸口，储酸槽内还设有一液位传感器，所述液位传感器连接控制进酸口开关的进酸控制器。本实用新型充分利用了滚轮吸收磷酸，并将磷酸带到硅片上的事实从而实现链式扩散非制绒面涂磷的目的，使得在扩散中实现和提高磷吸杂的作用，最终提高电池的转化效率。
【IPC分类】H01L21/225, H01L31/18
【公开号】CN204614803
【申请号】CN201520217996
【发明人】陶龙忠, 王学正, 李海波, 杨灼坚, 张尧
【申请人】苏州润阳光伏科技有限公司
【公开日】2015年9月2日
【申请日】2015年4月13日