接合。
[0020]于本实用新型其中之一优选实施例中，所述衬套单元进一步包含多个衬套，其中所述多个衬套分别包含用于与所述第一腔体连接的所述第一连接部和用于与另一腔体连接的所述第二连接部，所述多个衬套的所述第一连接部及第二连接部两者的横向边长尺寸不同。
[0021]于本实用新型其中之一优选实施例中，当所述衬套单元的所述第二连接部与所述第二腔体的所述对接部对接后，所述第二连接部与所述第二腔体之间形成一容置空间，用于容置一气密元件。
[0022]于本实用新型其中之一优选实施例中，所述衬套单元的所述第二连接部形成为一阶梯状，包含一第一阶、一第二阶和一第三阶，当所述衬套单元的所述第二连接部与所述第二腔体的所述对接部对接后，所述第二腔体的所述对接部与所述第一阶的一第一水平阶梯面和所述第三阶的一第三水平阶梯面连接，并且与所述第二阶共同形成容置所述气密元件的所述容置空间。
[0023]本实用新型还提供一种用于等离子反应装置的衬套单元，所述等离子反应装置具有一第一腔体以及多个第二腔体，所述衬套单元包含:一第一连接部，用于与所述第一腔体连接，并且所述第一连接部与所述第一腔体的一内侧壁的结构互补；以及多个第二连接部，用于分别与所述多个第二腔体的一对接部对接，其中所述第一连接部及每一所述第二连接部两者的横向边长尺寸不同。
【附图说明】
[0024]图1绘示一种传统的等离子反应装置。
[0025]图2绘示一种根据本实用新型的第一实施例的衬套单元与等离子反应装置的组装爆炸图。
[0026]图3绘示图2的局部组装视图。
[0027]图4绘示图2的衬套单元与等离子反应装置的剖面爆炸图。
[0028]图5绘示一种根据本实用新型的第二实施例的衬套单元与等离子反应装置的剖面爆炸图。
[0029]图6绘示一种根据本实用新型的第三实施例的衬套单元与等离子反应装置的剖面组装视图。
[0030]图7绘示一种根据本实用新型的第四实施例的衬套单元与等离子反应装置的组装爆炸图。
[0031]图8绘示图7的衬套单元与等离子反应装置的剖面爆炸图。
[0032]图9绘示一种根据本实用新型的第五实施例的衬套单元与等离子反应装置的剖面爆炸图。
[0033]图10绘示图9的剖面组装视图。
[0034]图11绘示一种根据本实用新型的第六实施例的衬套单元与等离子反应装置的剖面爆炸图。
[0035]图12绘示一种根据本实用新型的第七实施例的衬套单元的局部放大视图。
[0036]图13绘示一种根据本实用新型的第八实施例的衬套单元的局部放大视图。
【具体实施方式】
[0037]为了让本实用新型的上述及其他目的、特征、优点能更明显易懂，下文将特举本实用新型优选实施例，并配合附图，作详细说明如下。
[0038]请参照图2、图3及图4，绘示一种根据本实用新型的第一实施例的用于等离子反应装置100的衬套单元110，其中图2绘示所述衬套单元110与所述等离子反应装置100的组装爆炸图，图3绘示图2的所述衬套单元110与所述等离子反应装置100的局部组装视图，以及图4绘示图2的所述衬套单元110与等离子反应装置100的剖面爆炸图。所述等离子反应装置100具有一第一腔体120和一第二腔体130，以及所述衬套单元110包含一第一连接部112和一第二连接部114。
[0039]如图2至图4所示，所述衬套单元110的所述第一连接部112与所述第一腔体120相连接，并且所述第一连接部112的外侧壁与所述第一腔体120的一相连接的内侧壁122彼此的结构互补。如本实用新型的第一实施例所示，所述第一连接部112的外侧壁与所述第一腔体120的内侧壁122皆为环形的结构。可以理解的是，在其他实施例中相互结合的第一连接部的外侧壁和第一腔体120内侧壁彼此可为各种结构互补的几何结构。
[0040]另一方面，为了使所述衬套单元110的所述第一连接部112的外侧壁与所述第一腔体120的内侧壁122之间紧密配合，可以利用例如在所述第一连接部112的外侧壁与所述第一腔体120的所述内侧壁122的连接面分别形成结构互补的螺纹，使得两者间可紧密的锁固，或者是在两者的接面涂覆陶瓷导热硅脂或以真空螺丝等方式，但不限定于此。除此之外，任何可以使所述衬套单元110的所述第一连接部112的外侧壁与所述第一腔体120的所述内侧壁122达到紧密配合的方法亦可适用于本实用新型的其他实施例中。
[0041]如图2至图4所示，当所述衬套单元110的所述第一连接部112通过所述第一腔体120的一第一端口 124装设入所述第一腔体120，并且与所述第一腔体120相结合后，将使所述衬套单元110的所述第二连接部114突伸出所述第一腔体120的所述第一端口 124之外。接着，再将所述衬套单元110与所述第二腔体130进行组装。如图所示，所述衬套单元110的所述第二连接部114用于与所述第二腔体130的一对接部132对接。
[0042]如图2至图4所示，所述衬套单元110的所述第一连接部112的横向边长尺寸Cl与所述第二连接部114的横向边长尺寸C2不同。更明确的说，如本实用新型第一实施例中所示，所述第一连接部112的横向边长尺寸Cl小于所述第二连接部114的横向边长尺寸C2，然而在其他实施例中亦可将第一连接部112的横向边长尺寸Cl设计为大于第二连接部114的横向边长尺寸C2。
[0043]再者，所述衬套单元110的所述第二连接部114和所述第二腔体130相结合前，优选地先在所述第二连接部114的外侧壁周围放置O型环和/或陶瓷环和/或涂布真空脂，使得所述第一腔体120和所述第二腔体130相结合后具有优选的气密度。除此之外，任何可以达成优选气密效果的方法亦可适用于本实用新型的其他实施例中。
[0044]请参照图5，其绘示一种根据本实用新型的第二实施例的衬套单元210与等离子反应装置200的剖面爆炸图。所述等离子反应装置200包含一第一腔体130’和一第二腔体230，以及所述衬套单元210包含一第一连接部212和一第二连接部132’。
[0045]如图5所示，所述衬套单元210的所述第一连接部212位于所述衬套单元210的外侧壁，以及所述衬套单元210的所述第二连接部132’位于所述衬套单元210的内侧壁，其中所述衬套单元210的所述第一连接部212的横向边长尺寸Cl与所述第二连接部132’的横向边长尺寸C2不同。更明确的说，所述第一连接部212的横向边长尺寸Cl大于所述第二连接部132’的横向边长尺寸C2。
[0046]如图5所示，所述衬套单元210的所述第一连接部212与所述第一腔体130’的内侧壁在结构上彼此互补，使得两者可相互结合。因为所述衬套单元210的所述第二连接部132’位于所述衬套单元210的内侧壁，所以当所述衬套单元210的所述第一连接部212与所述第一腔体130’结合后，所述第二腔体230的一对接部232突伸入所述衬套单元210，并且收容于所述衬套单元210之内，其中所述对接部232属于所述第二腔体230外侧壁的一部分。再者，如图所示，所述第二腔体230可利用单一个腔体与一第二衬套