单元210’相互组装而形成。
[0047]另一方面，本实用新型的单一个衬套单元亦可与多个等离子反应装置的腔体相结合。举例来说，在一优选实施例中，等离子反应装置可包含一第一腔体和多个第二腔体，以及衬套单元可包含一第一连接部和多个第二连接部，其中所述第一连接部用于与所述第一腔体连接，并且所述第一连接部与所述第一腔体的一内侧壁的结构互补。另外，所述多个第二连接部用于分别与所述多个第二腔体的一对接部对接。为了更清楚说明上述实施例的技术方案，请参照下述第三实施例的具体描述。
[0048]请参照图6，其绘示一种根据本实用新型的第三实施例的衬套单元310与等离子反应装置300组合后的局部剖面图。所述等离子反应装置300包含一第一腔体320、一第二腔体330及一第三腔体340，以及所述衬套单元310包含一第一连接部312、第二连接部314及第三连接部316。应当注意的是，本实施例中的所述第二腔体330及所述第三腔体340相当于上述的多个第二腔体，以及本实施例中的所述第二连接部314及第三连接部316相当于上述的多个第二连接部。并且，虽然在图6中所出示的所述第二腔体330和所述第三腔体340具有相同的构型和尺寸，然而，在其他优选实施例中亦可包含具有不同构型和尺寸的多个第二腔体，并且相应的多个第二连接部亦设置为具有不同构型和尺寸。
[0049]如图6所示，所述衬套单元310的所述第二连接部314和第三连接部316分别位于所述第一连接部312的相对的两侧，并且所述第一连接部312、所述第二连接部314和第三连接部316皆形成于所述衬套单元310的外侧壁，所述第一连接部312用于与所述第一腔体320的一内侧壁322相结合。并且，所述衬套单元310通过将所述第二连接部314与所述第二腔体330的一对接部332相结合，使得所述衬套单元310连贯所述第二腔体330，以及进一步利用所述第三连接部316与所述第三腔体340的一对接部342相结合。所述对接部332属于所述第三腔体340内侧壁的一部分。
[0050]如图6所示，所述衬套单元310的两相对端外侧壁同样设计为公头的构型。艮P，将所述衬套单元310的所述第一连接部312外侧壁与所述第一腔体320的所述内侧壁322相结合后，使所述衬套单元310的所述第二连接部314和所述第三连接部316分别突伸出所述第一腔体320的相对的两端口。值得注意的是，在另一实施例中，可根据等离子工艺原理，依照所述等离子反应装置300在运作上所产生的磁力线方向，将相似于本实施例的所述衬套单元310的所述第二连接部314和所述第三连接部316的其中之一设计为母头的构型。之后，再将与其对接的腔体装设一第二衬套单元，其一端突伸出所述腔体的端口(如图5所示的第二实施例的第二腔体230)。也就是说，所述衬套单元的其中之一连接部设置在所述衬套单元的内侧壁部，用于收容对接腔体的对接部。
[0051]如图6所示，所述衬套单元310的所述第一连接部310的横向边长尺寸Cl与所述第二连接部314及第三连接部316的横向边长尺寸C2不同。更明确的说，所述第一连接部310的横向边长尺寸Cl大于所述第二连接部314及第三连接部316的横向边长尺寸C2。应当注意的是，本实用新型第三实施例中所出示的第二腔体和第三腔体的数量仅作为示例，更进一步，应配合等离子反应装置的种类与型式，衬套单元所连接的腔体数可为多个，且并非用于限定本实用新型。
[0052]请参照图7和图8，图7绘示一种根据本实用新型的第四实施例的衬套单元410与等离子反应装置400的组装爆炸图，以及图8绘示图7的等离子反应装置400的剖面爆炸图。所述等离子反应装置400包含具有一内侧壁422的一第一腔体420，以及所述衬套单元410包含一第一连接部412和一第二连接部414，其中所述一第一连接部412用于与所述第一腔体420相结合以及所述第二连接部414用于与一第二腔体(未出示)相结合。
[0053]如图7和图8所示，用于与所述衬套单元410的所述第一连接部412相结合的所述第一腔体420的所述内侧壁422呈现长盘型结构，有别于前述实施例中的环型结构。并且，所述第一连接部412的最大的横向边长Cl的尺寸大于所述衬套单元410的所述第二连接部414的横向边长C2的尺寸。
[0054]请参照图9和图10，图9绘示一种根据本实用新型的第五实施例的衬套单元510与等离子反应装置500的剖面爆炸图，以及图10绘示图9的剖面组装视图。所述等离子反应装置500包含具有一内侧壁522的一第一腔体520，以及所述衬套单元510包含一第一衬套501和一第二衬套505，分设于所述第一腔体520的两相对端，其中所述第一衬套501和所述第二衬套505分别包含用于与所述第一腔体520连接的一第一连接部512和512’和用于与另一腔体(未出示)连接的所述第二连接部514和514’。
[0055]如图9和图10所示，所述衬套单元510的所述第一衬套501和所述第二衬套505皆为不规则的几何构型。所述第一衬套501和所述第二衬套505分别包含结构互补的第三连接部516和516’，并且当所述第一衬套501和所述第二衬套505分别与所述第一腔体520上下结合后，进一步使所述第一衬套501和所述第二衬套505的所述数个第三连接部516和516’互相接合。值得注意的是，所述数个第三连接部516和516’包含各种结构互补的构型，例如倒钩状、斜角状或者是诸如此类。
[0056]如图9和图10所示，所述第一衬套501的所述第一连接部512的最大横向边长尺寸定义为Cl，所述第一衬套501的所述第二连接部514的横向边长尺寸定义为C2，以及所述第一衬套501的所述第三连接部516的横向边长尺寸定义为C3，其中C1、C2及C3的尺寸皆不同。同理，所述第二衬套505的所述第一连接部512’的横向边长尺寸Cl’分别与所述第二连接部514’的横向边长尺寸C2’和所述第三连接部516’的横向边长尺寸C3’不同。
[0057]请参照图11，绘示一种根据本实用新型的第六实施例的衬套单元610与等离子反应装置600的剖面爆炸图。所述等离子反应装置600包含具有一内侧壁622的一第一腔体620，以及所述衬套单元610包含一第一衬套602、一第二衬套604及一第三衬套606，其中所述第一衬套602与第二衬套604设于所述第一腔体620的一端，以及所述第三衬套606设于所述第一腔体620的相对另一端。所述第一衬套602、所述第二衬套604及所述第三衬套606分别包含用于与所述第一腔体620连接的第一连接部6022、6042、6062和用于与另一腔体(未出示)连接的第二连接部6024、6044、6064。
[0058]如图11所示，所述第一衬套602的所述第一连接部6022的最大横向边长尺寸定义为Cl，所述第二连接部6024的横向边长尺寸定义为C2，以及所述第三连接部6026的横向边长尺寸定义为C3，其中Cl的尺寸与C2及C3的尺寸不同。同理，所述第二衬套604的所述第一连接部6042的横向边长尺寸Cl’分别与所述第二连接部6044的横向边长尺寸C2’和所述第三连接部6046的横向边长尺寸C3’不同；以及所述第二衬套606的所述第一连接部6062的横向边长尺寸Cl”